ເຊລາມິກ SiC

ເຊລາມິກ SiC ຖືກນຳໃຊ້ຫຼາຍຂຶ້ນໃນອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຍ້ອນວ່າມັນທົນທານໄດ້ດີກວ່າໃນສະພາບທີ່ຫຍຸ້ງຍາກ. ເມື່ອອຸນຫະພູມສູງ ຫຼື ຂະບວນການມີຄວາມເຄັ່ງຕຶງຫຼາຍຂຶ້ນ, ວັດສະດຸເຊັ່ນ: quartz ຫຼື silicon ສາມາດເລີ່ມສະແດງຂໍ້ຈຳກັດ, ແລະນັ້ນມັກຈະເປັນບ່ອນທີ່ SiC ເຂົ້າມາ. ໃນຂະບວນການເຕົາອົບເຊັ່ນ: ການຜຸພັງ ຫຼື ການແຜ່ກະຈາຍ, ຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເຮືອ wafer ຫຼື ໄມ້ພາຍທີ່ເຮັດຈາກ SiC ມັກຈະໃຊ້ໄດ້ດົນກວ່າ. ພວກມັນຮັກສາຮູບຮ່າງຂອງມັນໄວ້ ແລະ ບໍ່ເຮັດໃຫ້ເກີດການປົນເປື້ອນຫຼາຍ, ເຖິງແມ່ນວ່າຫຼັງຈາກແລ່ນໄດ້ດົນແລ້ວກໍຕາມ. ຄົນເຮົາມັກຈະປ່ຽນຈາກ quartz ຍ້ອນເຫດຜົນນີ້, ໂດຍສະເພາະເມື່ອການບຳລຸງຮັກສາກາຍເປັນເລື້ອຍໆເກີນໄປ.

ສຳລັບການແກະສະຫຼັກ, SiC ມັກຈະຖືກເລືອກພຽງແຕ່ຍ້ອນວ່າມັນຢູ່ລອດໃນ plasma ໄດ້ດົນກວ່າ. ຄວາມແຕກຕ່າງຕະຫຼອດຊີວິດເມື່ອທຽບກັບຊິ້ນສ່ວນຊິລິໂຄນແມ່ນສັງເກດເຫັນໄດ້ໃນຫຼາຍໆການຕັ້ງຄ່າ, ເຖິງແມ່ນວ່າມັນຍັງຂຶ້ນກັບຂະບວນການທີ່ແນ່ນອນ. ມັນຍັງຊ່ວຍໄດ້ໜ້ອຍໜຶ່ງໃນການຄວບຄຸມອະນຸພາກ, ເຊິ່ງກາຍເປັນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຫຼາຍຂຶ້ນເມື່ອໂຫນດຫົດຕົວ. ທ່ານຍັງຈະເຫັນ SiC ຖືກໃຊ້ເປັນຕົວຮັບຄວາມອ່ອນໄຫວໃນ MOCVD ຫຼື CVD. ໃນກໍລະນີເຫຼົ່ານັ້ນ, ມັນກ່ຽວກັບ "ຄວາມເຂັ້ມແຂງ" ໜ້ອຍກວ່າ ແລະກ່ຽວກັບການຮັກສາພຶດຕິກຳອຸນຫະພູມໃຫ້ໝັ້ນຄົງ. ນອກຈາກນັ້ນ, ມັນສະແດງຢູ່ໃນຊິ້ນສ່ວນຂອງຫ້ອງເຊັ່ນ: ຊັ້ນໃນ ຫຼື ຫົວຝັກບົວ, ແລະບາງຄັ້ງໃນການຈັດການອົງປະກອບເຊັ່ນກັນ.