ເຮືອ SiC Wafer ຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ວິທີແກ້ໄຂພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນທີ່ດີທີ່ສຸດສຳລັບການຜະລິດຂະໜາດ 4-12 ນິ້ວ

ເປັນຫຍັງ Fabs ຊັ້ນນໍາຈຶ່ງປ່ຽນຈາກເຮືອ Quartz ໄປເປັນເຮືອ SiC?

ດີກວ່າຫີນ quartz ທີ່ລົ້ມເຫຼວຢ່າງຫຼີກລ່ຽງບໍ່ໄດ້ທີ່ອຸນຫະພູມ 1150∘C ເນື່ອງຈາກການແຍກທາດແຫຼວ, ເຮືອ SiC ຂອງພວກເຮົາຮັກສາຄວາມແມ່ນຍໍາທາງເລຂາຄະນິດຢ່າງແທ້ຈິງພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງ. ຍ້ອນຄວາມໜາແໜ້ນສູງຂອງມັນ, ແມັດທຣິກ SiC CVD ຈະຢຸດການຫຼົ່ນຂອງອະນຸພາກໃນຮ່ອງຂອງມັນ. ມັນຖືກສ້າງຂຶ້ນໂດຍສະເພາະເພື່ອຮັບມືກັບຄວາມຕ້ອງການ 'ສູນການອອກໄປ' ຂອງຂະບວນການຜະລິດ sub-micron ໃນປະຈຸບັນ.

ອົງປະກອບຂອງພວກເຮົາຮັບມືກັບການທຳຄວາມສະອາດ HF/HNO3 ທີ່ຮຸນແຮງໄດ້ດີກ່ວາ quartz ຫຼາຍ, ໃຊ້ໄດ້ດົນກວ່າ ແລະ ຫຼຸດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການທົດແທນ. ດ້ວຍການຈັດການຄວາມຮ້ອນທີ່ດີທີ່ສຸດເພື່ອໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໄວ ແລະ ສະໝໍ່າສະເໝີ, ພວກມັນໃຫ້ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການສຳລັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 4 ນິ້ວ ຫາ 12 ນິ້ວໃນການຜະລິດໃນປະລິມານສູງ.

ຄວາມເຂົ້າໃຈຂອງຜູ້ຊ່ຽວຊານ

ບໍ່ເຫມືອນກັບເຮືອແກຣໄຟດ໌ແບບດັ້ງເດີມທີ່ອີງໃສ່ການເຄືອບລະດັບໜ້າດິນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ສະຖາປັດຕະຍະກຳ SiC-on-SiC ທີ່ເປັນກ້ອນດຽວຂອງ Semixlab ຊ່ວຍລົບລ້າງ "ຄວາມບໍ່ກົງກັນ" ທາງໂຄງສ້າງລະຫວ່າງຊັ້ນຮອງພື້ນ ແລະ ຜິວໜັງ. ໂດຍການລວມສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວໃນທົ່ວໜ່ວຍທັງໝົດ, ພວກເຮົາໄດ້ແກ້ໄຂບັນຫາທີ່ຫຍຸ້ງຍາກຊຳເຮື້ອຂອງອຸດສາຫະກຳກ່ຽວກັບການແຍກສ່ວນ. ສຳລັບການຜະລິດປະລິມານສູງຂະໜາດ 8 ນິ້ວ ແລະ 12 ນິ້ວ, ນີ້ບໍ່ແມ່ນພຽງແຕ່ການຍົກລະດັບວັດສະດຸເທົ່ານັ້ນ - ມັນເປັນການປະຕິວັດ TCO. ດ້ວຍອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ສູງກວ່າ quartz ມາດຕະຖານ 5 ເທົ່າ, ເຮືອ SiC ທີ່ແຂງແກ່ນຂອງພວກເຮົາປ່ຽນຕົ້ນທຶນທີ່ບໍລິໂພກໃຫ້ກາຍເປັນຊັບສິນການຜະລິດໄລຍະຍາວ.

Specs ດ້ານວິຊາການ & ການປັບແຕ່ງ

ພວກເຮົາສາມາດປັບແຕ່ງທຸກຢ່າງໃຫ້ເໝາະສົມກັບການຕັ້ງຄ່າເຕົາອົບສະເພາະຂອງທ່ານ - ບໍ່ວ່າຈະເປັນແນວນອນ ຫຼື ແນວຕັ້ງ - ແລະ ປັບຕົວໃຫ້ເຂົ້າກັບຄວາມຕ້ອງການດ້ານການຈັດການເວເຟີທີ່ແນ່ນອນຂອງທ່ານ.

ການປະຍຸກໃຊ້ທົ່ວໄປ 

ເຮືອ SiC ຂອງພວກເຮົາຖືກສ້າງຂຶ້ນສຳລັບສະພາບການຜະລິດທີ່ແຂງແກ່ນທີ່ສຸດ. ພວກມັນຮັກສາຮູບຮ່າງຂອງມັນໄດ້ຢ່າງສົມບູນແບບໃນລະຫວ່າງ Si/SiC Epitaxy ເຖິງວ່າຈະມີການແກະສະຫຼັກ H2, ແລະຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງມັນແມ່ນຕົວຊ່ວຍຊີວິດສຳລັບຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍບ່ອນທີ່ການປົນເປື້ອນມີຄວາມສ່ຽງ. ສຳລັບ ALD ແລະ LPCVD, ພວກມັນເຮັດໜ້າທີ່ເປັນມວນຄວາມຮ້ອນທີ່ໝັ້ນຄົງເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຟິມຈະສະສົມຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃນທົ່ວແຜ່ນເວເຟີທັງໝົດ.

ແຜນວາດຂອງຂະບວນການ CVD ສຳລັບການເຄືອບເຮືອ SiC, ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດ 7N ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນເປັນເອກະພາບ

1) ຄວາມບໍລິສຸດສູງພິເສດ 7N (ການຫຸ້ມຫໍ່ CVD) ແທນທີ່ຈະເຄືອບພື້ນຖານ, ພວກເຮົາໃຊ້ການຫຸ້ມຫໍ່ SiC CVD ທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງເພື່ອລັອກຄວາມບໍລິສຸດທົ່ວໂລກໄວ້ທີ່ 99.99999%. ສຳລັບອຸປະກອນພະລັງງານແຮງດັນສູງເຊັ່ນ IGBTs ແລະ MOSFETs, ນີ້ບໍ່ແມ່ນທາງເລືອກ - ມັນເປັນວິທີດຽວທີ່ຈະຢຸດສິ່ງເຈືອປົນໂລຫະ (Fe, Ni, Cu) ຈາກການກະຕຸ້ນກະແສໄຟຟ້າຮົ່ວໄຫຼທີ່ຮ້າຍແຮງ.

2) ຮູບຮ່າງຂອງຊ່ອງທີ່ວິສະວະກຳດ້ວຍຄວາມໄວແມ່ນຍຳ ພວກເຮົາບໍ່ໄດ້ເຮັດ "ຂະໜາດດຽວເໝາະກັບທຸກຄົນ." ບໍ່ວ່າທ່ານຕ້ອງການຮ່ອງ V ມາດຕະຖານ ຫຼື ຮ່ອງ U ພິເສດສຳລັບການຈັດການແຜ່ນບາງ ແລະ ບອບບາງ, ສູນ CNC ຂອງພວກເຮົາມີຄ່າຄວາມທົນທານທີ່ແໜ້ນໜາເຖິງ ±0.05 ມມ. ຄວາມແມ່ນຍຳສູງສຸດນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນຂອງແຜ່ນຢູ່ແຫຼ່ງກຳເນີດ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຂອງຂອບໃນລະຫວ່າງການໂອນຍ້າຍດ້ວຍຫຸ່ນຍົນຄວາມໄວສູງ.

3) ຮອບວຽນໜ້າທີ່ ແລະ ການຈັບຄູ່ CTE ທີ່ດີທີ່ສຸດ ຈຸດລົ້ມເຫຼວທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດໃນເຮືອທີ່ເຄືອບແມ່ນການແຍກສ່ວນ. ພວກເຮົາໄດ້ແກ້ໄຂບັນຫານີ້ໂດຍການປັບຄວາມແຮງຂອງການຍຶດຕິດຂອງການເຄືອບໃຫ້ສະທ້ອນກັບຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE) ຂອງຊັ້ນວາງຢ່າງສົມບູນ. ຜົນໄດ້ຮັບ? ເຮືອທີ່ລອດຊີວິດຈາກວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນເຕົາອົບອົກຊິເດຊັນ ແລະ ການແຜ່ກະຈາຍໂດຍບໍ່ມີການເຄືອບລອກ ຫຼື ລອກອອກຈາກວັດສະດຸພື້ນຖານ.