ສິ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້ເຍື່ອເຊລາມິກ SiC ເໝາະສຳລັບການກັ່ນຕອງທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ ແລະ ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີໃນການຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ?

ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ ແມ່ນແຕ່ອະນຸພາກທີ່ນ້ອຍທີ່ສຸດ ຫຼື ສິ່ງເຈືອປົນທາງເຄມີກໍສາມາດທຳລາຍແຜ່ນເວເຟີໄດ້ ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ຄວາມລ່າຊ້າ ແລະ ຂໍ້ບົກຜ່ອງທີ່ມີລາຄາແພງ. ນັ້ນແມ່ນເຫດຜົນທີ່ການກັ່ນຕອງມີບົດບາດສຳຄັນຫຼາຍໃນການຮັກສາຂະບວນການໃຫ້ສະອາດເປັນພິເສດ. ເຍື່ອເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ໄດ້ກາຍເປັນທາງເລືອກທີ່ນິຍົມສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕ້ອງການເຫຼົ່ານີ້. ພວກມັນສະເໜີການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຄວາມທົນທານ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີທີ່ວັດສະດຸອື່ນໆສ່ວນໃຫຍ່ບໍ່ສາມາດທຽບເທົ່າໄດ້. ຕັ້ງແຕ່ການຈັດການກົດທີ່ຮຸນແຮງຈົນເຖິງການຢູ່ລອດໃນອຸນຫະພູມສູງ, ແຂງ SiC ຮັກສານໍ້າໃຫ້ບໍລິສຸດ ແລະ ລະບົບຕ່າງໆໃຫ້ໜ້າເຊື່ອຖືໄດ້. ການເຂົ້າໃຈວ່າເປັນຫຍັງເຍື່ອເຫຼົ່ານີ້ຈຶ່ງເຮັດວຽກໄດ້ດີສາມາດຊ່ວຍໃຫ້ວິສະວະກອນ ແລະ ຊ່າງເຕັກນິກຕັດສິນໃຈໄດ້ດີຂຶ້ນເພື່ອຮັກສາຜົນຜະລິດ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ.

ໂຄງສ້າງເຍື່ອ SiC ເຮັດໃຫ້ມີຄວາມໝັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ເຄມີແນວໃດ?

ເຍື່ອເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ຖືກສ້າງຂຶ້ນເພື່ອຮັບມືກັບສະພາບການທີ່ຈະທຳລາຍວັດສະດຸກອງອື່ນໆສ່ວນໃຫຍ່ຢ່າງໄວວາ. ຄວາມລັບແມ່ນຢູ່ໃນໂຄງສ້າງຂອງມັນ. SiC ແມ່ນເຮັດມາຈາກເຄືອຂ່າຍຂອງພັນທະໂຄວາເລນທີ່ແຂງແຮງເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມແຂງແລະຄວາມໝັ້ນຄົງທີ່ສຸດ. ໂຄງສ້າງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ເຍື່ອຕ້ານທານການແຕກຫຼືບິດເບືອນເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງຫຼາຍເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບຂະບວນການເຊັ່ນ: ການຕົກຕະກອນໄອນ້ຳເຄມີ ຫຼື ການແກະສະຫຼັກປຽກບ່ອນທີ່ຂອງແຫຼວສາມາດບັນລຸຫຼາຍຮ້ອຍອົງສາເຊນຊຽດ. ຮູຂຸມຂົນໃນເຍື່ອ SiC ມີຄວາມເປັນເອກະພາບຫຼາຍ ແລະ ຖືກຄວບຄຸມຢ່າງແນ່ນອນ. ຄວາມເປັນເອກະພາບນີ້ຊ່ວຍຮັກສາອັດຕາການໄຫຼທີ່ສອດຄ່ອງໃນຂະນະທີ່ຮັກສາອະນຸພາກເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນຄວາມກົດດັນສູງ. ເນື່ອງຈາກວ່າວັດສະດຸບໍ່ໃຄ່ບວມ, ລະລາຍ ຫຼື ປະຕິກິລິຍາກັບສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງມັນສາມາດກັ່ນຕອງກົດ, ເບສ, ແລະ ຕົວລະລາຍອິນຊີໂດຍບໍ່ມີການເສື່ອມສະພາບ. ໃນການປຽບທຽບ, ເຍື່ອໂພລີເມີມັກຈະລົ້ມເຫຼວພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂດຽວກັນບໍ່ວ່າຈະເປັນການແຕກຫັກ ຫຼື ໂດຍການລ້າງສິ່ງປົນເປື້ອນເຂົ້າໄປໃນນ້ຳ. ເຍື່ອ SiC ຍັງໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນຂອງມັນ. ຄວາມຮ້ອນຖືກແຈກຢາຍຢ່າງເທົ່າທຽມກັນທົ່ວເຍື່ອປ້ອງກັນຈຸດຮ້ອນທີ່ອາດຈະເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸອ່ອນແອລົງ ຫຼື ເຮັດໃຫ້ເກີດການເປື້ອນ. ໃນທາງປະຕິບັດນີ້ໝາຍເຖິງອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານກວ່າ ແລະ ມີການຂັດຂວາງໜ້ອຍລົງສຳລັບການທຳຄວາມສະອາດ ຫຼື ການທົດແທນ. ຕົວຢ່າງ, ໃນໂຮງງານຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ຈັດການກັບກົດໄນຕຣິກທີ່ແຂງແຮງ, ແຂງ SiC ສາມາດກັ່ນຕອງສານລະລາຍຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເປັນເວລາຫຼາຍເດືອນ ບ່ອນທີ່ຕົວກອງໂພລີເມີທຳມະດາອາດຈະຕ້ອງການປ່ຽນໃໝ່ທຸກໆສອງສາມມື້. ຂໍ້ໄດ້ປຽບອີກອັນໜຶ່ງແມ່ນຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກ. ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ອັດຕາການໄຫຼສູງ ຫຼື ຄວາມດັນທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຍື່ອ SiC ຍັງຮັກສາຮູບຮ່າງ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງມັນໄວ້ໄດ້. ຄວາມໝັ້ນຄົງນີ້ຮັບປະກັນວ່າປະສິດທິພາບຂອງການກັ່ນຕອງບໍ່ຫຼຸດລົງຕາມການເວລາ ແລະ ແຜ່ນເວເຟີໄດ້ຮັບການປົກປ້ອງຈາກອະນຸພາກທີ່ອາດຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຜົນຜະລິດ. ໂດຍການລວມເອົາຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມທົນທານທາງກົນຈັກ, ເຍື່ອ SiC ໃຫ້ການກັ່ນຕອງທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ແຂງແກ່ນທີ່ສຸດ.

ເປັນຫຍັງເຍື່ອ SiC ຈຶ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການນຳໃຊ້ UPW, CMP, ແລະ ການກັ່ນຕອງທາງເຄມີ?

ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ນ້ຳທີ່ບໍລິສຸດພິເສດ (UPW) ສານເຄມີຂັດກົນຈັກ (CMP) ແລະ ສານລະລາຍທາງເຄມີທີ່ຮຸນແຮງແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນຕໍ່ທຸກຂັ້ນຕອນຂອງຂະບວນການ. ສານປົນເປື້ອນ, ເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນລະດັບນາໂນແມັດກໍ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງໃນແຜ່ນເວເຟີ, ຫຼຸດຜ່ອນຜົນຜະລິດ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ. ນີ້ແມ່ນບ່ອນທີ່ເຍື່ອເຊລາມິກ SiC ພິສູດຄຸນຄ່າຂອງມັນ. ໂຄງສ້າງຮູຂຸມຂົນທີ່ຊັດເຈນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີຂອງມັນເຮັດໃຫ້ພວກມັນເໝາະສົມສຳລັບການກັ່ນຕອງທັງອະນຸພາກ ແລະ ໄອອອນທີ່ບໍ່ຕ້ອງການໂດຍບໍ່ມີການນຳເອົາສິ່ງປົນເປື້ອນໃໝ່ເຂົ້າມາ. ສຳລັບລະບົບ UPW, ການຮັກສາປະລິມານອະນຸພາກ ແລະ ໂລຫະທີ່ຕໍ່າຫຼາຍແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ. ເຍື່ອ SiC ສາມາດຮັບມືກັບອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ພວກມັນສາມາດກຳຈັດອະນຸພາກຂະໜາດຍ່ອຍໄມຄຣອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ບໍ່ເໝືອນກັບເຍື່ອໂພລີເມີ, ພວກມັນບໍ່ໄດ້ຮົ່ວໄຫຼສານອິນຊີ ຫຼື ເສື່ອມສະພາບໄປຕາມການເວລາ, ຊ່ວຍໃຫ້ໂຮງງານຜະລິດຮັກສາຄວາມບໍລິສຸດຂອງນ້ຳໃນຮອບວຽນການເຮັດວຽກທີ່ຍາວນານ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການສູນເສຍຜົນຜະລິດທີ່ເກີດຈາກນ້ຳທີ່ປົນເປື້ອນ. ໃນການກັ່ນຕອງນ້ຳເປື້ອນ CMP, ການຄວບຄຸມອະນຸພາກຂອງນ້ຳເປື້ອນແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ. ເຍື່ອ SiC ສາມາດກັ່ນຕອງອະນຸພາກຂັດດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ໃນຂະນະທີ່ທົນທານຕໍ່ຄວາມກົດດັນທາງເຄມີ ແລະ ກົນຈັກຂອງການໄຫຼຂອງນ້ຳເປື້ອນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ. ຄວາມທົນທານຂອງພວກມັນຮັບປະກັນການແຈກຢາຍຂະໜາດອະນຸພາກທີ່ສອດຄ່ອງ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການຂັດ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງໜ້າແຜ່ນເວເຟີ. ຄວາມໝັ້ນຄົງນີ້ຍັງໝາຍເຖິງການປ່ຽນຕົວກອງເລື້ອຍໆໜ້ອຍລົງເຊິ່ງຊ່ວຍປະຢັດທັງເວລາ ແລະ ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດຳເນີນງານ. ການກັ່ນຕອງທາງເຄມີ, ເຊັ່ນ: ສຳລັບກົດ ແລະ ຕົວລະລາຍທີ່ໃຊ້ໃນການແກະສະຫຼັກ ຫຼື ການທຳຄວາມສະອາດໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກຄຸນສົມບັດດຽວກັນ. ເຍື່ອ SiC ຕ້ານທານກັບສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ຕົວກອງໂພລີເມີສ່ວນໃຫຍ່ເສື່ອມສະພາບ ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດດຳເນີນງານໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໂດຍບໍ່ມີການຫຼຸດຜ່ອນປະສິດທິພາບຂອງການກັ່ນຕອງ. ແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ອຸປະກອນໄດ້ຮັບການປົກປ້ອງຈາກທັງອະນຸພາກ ແລະ ສານຕົກຄ້າງທາງເຄມີ, ປັບປຸງຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການໂດຍລວມ. ໂດຍການລວມເອົາຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີສູງ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ການກັ່ນຕອງອະນຸພາກທີ່ຊັດເຈນ, ແຂງ SiC ໃຫ້ປະສິດທິພາບທີ່ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວການນຳໃຊ້ UPW, CMP, ແລະ ການກັ່ນຕອງສານເຄມີ. ພວກມັນບໍ່ພຽງແຕ່ປົກປ້ອງແຜ່ນເວເຟີຈາກການປົນເປື້ອນເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງຊ່ວຍໃຫ້ໂຮງງານຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຮັກສາປະສິດທິພາບ, ຫຼຸດຜ່ອນການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນປະມວນຜົນທີ່ສຳຄັນ.