ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ພະລັງງານແສງອາທິດທີ່ທັນສະໄໝ, ຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນ monocrystalline ບໍ່ໄດ້ຖືກກຳນົດໂດຍວັດຖຸດິບເທົ່ານັ້ນ ວັດສະດຸໂພລີຊິລິຄອນ ມັນຍິ່ງຂຶ້ນກັບພາຊະນະທີ່ສຳຜັດໂດຍກົງກັບຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມການເຕີບໃຫຍ່ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ສູນຍາກາດສູງ — ເຕົາໂລຫະ Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.
ໃນຖານະທີ່ເປັນອົງປະກອບຫຼັກຂອງສະໜາມຄວາມຮ້ອນທີ່ໃຊ້ໄດ້ໃນການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ monocrystalline ຂອງ Czochralski (CZ), ເຕົາອົບ quartz ຕ້ອງເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍທີ່ມີສານກັດກ່ອນສູງທີ່ອຸນຫະພູມເກີນ 1,420°C ເປັນເວລາ 200 ຫາຫຼາຍກວ່າ 300 ຊົ່ວໂມງ. ໃນລະຫວ່າງໄລຍະເວລານີ້, ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ, ການແຈກຢາຍຟອງ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງໂຄງສ້າງຂອງເຕົາອົບ quartz ກຳນົດໂດຍກົງຕໍ່ອັດຕາການເຄື່ອນທີ່, ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຊິລິໂຄນດຽວ, ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງເວເຟີ semiconductor/photovoltaic ຕໍ່ມາ.
ໂດຍນຳໃຊ້ປະສົບການຫຼາຍກວ່າ 20 ປີໃນການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳຈາກບໍລິສັດແມ່ຂອງຕົນ, Zhejiang Liufang Semiconductor Technology Co., Ltd., SEMIXLAB ໄດ້ສ້າງຕັ້ງລະບົບການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ເຊິ່ງກວມເອົາຊຸດເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຕັ້ງແຕ່ 28 ຫາ 36 ນິ້ວ (ແລະ ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ເຖິງ 42 ນິ້ວ). ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ໃຫ້ບໍລິການຢ່າງຄົບຖ້ວນສຳລັບການຜະລິດເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ 300 ມມ ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການຜະລິດເວເຟີແສງອາທິດປະສິດທິພາບສູງແບບ N-type TOPCon ແລະ HJT.
1. ເປັນຫຍັງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຈຶ່ງເປັນສາຍຊີວິດຜົນຜະລິດຂອງການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ CZ?
★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ຖ້ວຍແກ້ວ quartz ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນພາຊະນະທາງກາຍະພາບສຳລັບຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງເປັນເຄື່ອງປະຕິກອນເຄມີແບບໄດນາມິກທີ່ເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງທີ່ອຸນຫະພູມ 1,420°C. ການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນຄວາມບໍລິສຸດ ຫຼື ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກຂອງມັນສົ່ງຕໍ່ໂດຍກົງໄປຫາແທ່ງຊິລິໂຄນ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການຫຼຸດລົງຂອງຜົນຜະລິດຜລຶກ ແລະ ການສູນເສຍຜົນຜະລິດແຜ່ນເວເຟີຢ່າງຮຸນແຮງ.
ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການດຶງຜລຶກ CZ, ໂພລີຊິລິຄອນຈະລະລາຍພາຍໃນເຕົາອົບ quartz, ແລະ ເມັດຜລຶກຈະຖືກຈຸ່ມລົງໃນເຕົາລະລາຍ ແລະ ດຶງຂຶ້ນເທິງໃນຂະນະທີ່ໝຸນເພື່ອປູກຜລຶກດຽວ. ຕະຫຼອດຂະບວນການນີ້, ການລະລາຍເລັກນ້ອຍເກີດຂຶ້ນຢູ່ຝາດ້ານໃນຂອງເຕົາອົບ (SiO₂ + Si → 2SiO↑), ເຮັດໃຫ້ສິ່ງເຈືອປົນໂລຫະຮ່ອງຮອຍ ແລະ ຟອງຂະໜາດນ້ອຍທີ່ມີຢູ່ໃນ matrix ຂອງເຕົາອົບຖືກປ່ອຍອອກມາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນຊິລິຄອນທີ່ລະລາຍ.

| ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ / ເຄມີຂອງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ | ຂະບວນການທາງຟີຊິກ-ເຄມີທີ່ Melt Interface | ຜົນກະທົບສຸດທ້າຍຕໍ່ Silicon Ingot / Wafer |
| ສິ່ງປົນເປື້ອນໂລຫະທີ່ມີຮ່ອງຮອຍ (Fe, Na, K, B) | ລະລາຍເຂົ້າໄປໃນຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍໃນອຸນຫະພູມສູງ | ຫຼຸດຜ່ອນອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຕົວນຳສ່ວນໜ້ອຍ, ເພີ່ມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງກັບດັກໃນລະດັບເລິກ, ແລະ ນຳໄປສູ່ກະແສໄຟຟ້າຮົ່ວໄຫຼທີ່ສູງຂຶ້ນ. |
| ຟອງຂະໜາດນ້ອຍໃນຊັ້ນໂປ່ງໃສ | ຂະຫຍາຍ ແລະ ລະເບີດໃນອຸນຫະພູມສູງ, ປ່ອຍອະນຸພາກແຂງອອກມາ | ເຮັດໃຫ້ເກີດການລົບກວນຂອງອະນຸພາກແຂງໃນຊິລິກອນທີ່ລະລາຍ, ເຮັດໃຫ້ເກີດການສູນເສຍການເຕີບໂຕທີ່ບໍ່ມີການເຄື່ອນທີ່ (ການແຕກແຍກຂອງການເຄື່ອນທີ່). |
| ການອ່ອນລົງ ແລະ ການຜິດຮູບໃນອຸນຫະພູມສູງ (ການຫຍ่อนຍານ) | ກຳແພງເຕົາອົບພັງລົງ, ປ່ຽນຮູບແບບການພາຄວາມຮ້ອນຂອງການລະລາຍ | ລົບກວນຄວາມສົມດຸນຂອງພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນຢູ່ທີ່ໜ້າຕໍ່ລະຫວ່າງຂອງແຂງກັບຂອງແຫຼວ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສູນເສຍການຄວບຄຸມເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງຜລຶກ ແລະ ການຂັດຂວາງການຈະເລີນເຕີບໂຕ. |
| ການເສື່ອມສະພາບຜິດປົກກະຕິ | ຊັ້ນຜລຶກທີ່ປອກອອກ, ເຮັດໃຫ້ເກີດອະນຸພາກ cristobalite | ອະນຸພາກລອຍໄປຫາໜ້າຕ່າງການຈະເລີນເຕີບໂຕ, ກະຕຸ້ນການເຄື່ອນທີ່ຂອງຜລຶກຂະໜາດໃຫຍ່. |
2. ການອອກແບບໂຄງສ້າງສອງຊັ້ນ: ການຮ່ວມມືກັນທາງດ້ານໜ້າທີ່ຂອງຊັ້ນໃນ ແລະ ຊັ້ນນອກ
★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ຖ້ວຍແກ້ວ quartz ລະດັບສູງທີ່ທັນສະໄໝໃຊ້ໂຄງສ້າງປະສົມສອງຊັ້ນທີ່ປະກອບດ້ວຍຊັ້ນໃນໂປ່ງໃສທີ່ບໍ່ມີຟອງອາກາດບໍລິສຸດພິເສດ ແລະ ຊັ້ນນອກທີ່ມີຮູຂຸມຂົນຂະໜາດນ້ອຍທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟອງອາກາດສູງ. ສິ່ງນີ້ແກ້ໄຂຄວາມຂັດແຍ້ງສອງຢ່າງລະຫວ່າງ 'ຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດຢູ່ທີ່ໜ້າຕິດຕໍ່' ແລະ 'ຄວາມສະເໝີພາບຂອງສະໜາມຄວາມຮ້ອນໂດຍລວມ' ໄດ້ຢ່າງສົມບູນ.
| ຊັ້ນໂຄງສ້າງ | ຮູບຮ່າງທາງກາຍະພາບ | ຫນ້າທີ່ຫຼັກ | ຕົວຊີ້ວັດດ້ານວິຊາການທີ່ສໍາຄັນ |
| ຊັ້ນໃນ (ຊັ້ນໂປ່ງໃສ) | ແກ້ວ quartz ປະສົມທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ໂປ່ງໃສ, ບໍ່ມີຟອງ, ໜາ ≥ 5 ມມ | ສໍາຜັດໂດຍກົງກັບຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍ, ສະກັດກັ້ນການປ່ອຍສິ່ງປົນເປື້ອນ, ແລະ ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ຟອງແຕກອອກຈາກການປົນເປື້ອນຂອງຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍ. |
• ອັດຕາສ່ວນຟອງ < 0.05% • ປະລິມານສິ່ງເຈືອປົນທັງໝົດ < 10 ppm • ບໍ່ມີຟອງຂະໜາດນ້ອຍພາຍໃນຄວາມເລິກ 0–1 ມມ |
| ຊັ້ນນອກ (ຊັ້ນທຶບ) | ແກ້ວ quartz ສີຂາວນົມທີ່ມີຟອງອາກາດຂະໜາດນ້ອຍທີ່ແຈກຢາຍຢ່າງເປັນເອກະພາບ | ຮັບປະກັນການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນແບບລັງສີຢ່າງເປັນເອກະພາບ, ເພີ່ມຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກ, ແລະ ປ້ອງກັນການຫຍ่อนຍານໃນອຸນຫະພູມສູງ. |
• ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຟອງ: 50–150 μm • ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຄວາມສອດຄ່ອງ ≥ 99% • ການແຈກຢາຍການນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ |
ໃນລະຫວ່າງການດຶງໄປເຊຍກັນຕົວຈິງ, ຖ້າຊັ້ນໂປ່ງໃສບາງເກີນໄປ (< 3 ມມ), ມັນມັກຈະຖືກກັດກ່ອນໃນລະຫວ່າງການລະລາຍຫຼາຍຮ້ອຍຊົ່ວໂມງ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ຟອງອາກາດ ແລະ ສິ່ງສົກກະປົກຈາກຊັ້ນນອກໄຫຼເຂົ້າໄປໃນຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍ. ຖ້ວຍທົດສອບຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳ SEMIXLAB ຮັກສາຄວາມໜາຂອງຊັ້ນໂປ່ງໃສພາຍໃນຢ່າງເຂັ້ມງວດ ≥ 5 ມມ (ສູງສຸດ 10–12 ມມ ຕາມການຮ້ອງຂໍ), ຮັບປະກັນວ່າດ້ານໜ້າຂອງການກັດກ່ອນຍັງຄົງຢູ່ພາຍໃນຊັ້ນໂປ່ງໃສທີ່ສະອາດທີ່ສຸດຕະຫຼອດຮອບວຽນການດຶງທີ່ຍາວນານເປັນພິເສດ.
3. ພາລາມິເຕີຫຼັກ ແລະ ຕົວຊີ້ວັດວັດສະດຸທີ່ກຳນົດປະສິດທິພາບຂອງໝໍ້ Quartz
★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ການຄວບຄຸມລະດັບ ppm ແລະແມ່ນແຕ່ລະດັບ ppb ແລະໂລຫະດ່າງແມ່ນກຸນແຈສຳຄັນໃນການເສີມຂະຫຍາຍອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຕົວນຳສ່ວນນ້ອຍຂອງແຜ່ນແພ; ໃນຂະນະດຽວກັນ, ການຈັດການການລວມຕົວຂອງແຫຼວທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການຫຼຸດຄວາມເປັນດ່າງປະກອບເປັນພື້ນຖານຂອງຄວາມໝັ້ນຄົງໃນການດຶງວົງຈອນຍາວ.

3.1 ມາດຕະຖານການຄວບຄຸມສິ່ງປົນເປື້ອນໂລຫະທີ່ມີຮ່ອງຮອຍຕ່ຳຫຼາຍ
ໂລຫະປະສົມ (ເຊັ່ນ: Fe, Cu, Ni) ເຮັດໃຫ້ແຮງດັນໄຟຟ້າແຕກຫັກຂອງອຸປະກອນຫຼຸດລົງໂດຍກົງ, ໃນຂະນະທີ່ໂລຫະອັນຄາລີ (Na, K, Li) ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວເລັ່ງປະຕິກິລິຍາຫຼັກສຳລັບການເສື່ອມສະພາບຜິດປົກກະຕິຂອງແກ້ວຄວດສ໌ໃນອຸນຫະພູມສູງ. SEMIXLAB ກຳນົດຂໍ້ຈຳກັດສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ເຂັ້ມງວດສຳລັບວັດສະດຸຄວດສ໌ຊັ້ນໃນຜ່ານການທົດສອບ ICP-MS ແລະ GDMS:
| ອົງປະກອບທີ່ຄວບຄຸມ | ການຈັດປະເພດອັນຕະລາຍຈາກສິ່ງປົນເປື້ອນ | ເກຣດຂອງເຊມິຄອນດັກເຕີ (ppm) | ຊັ້ນຮຽນໄຟຟ້າແສງຕາເວັນ (N-type TOPCon) (ppm) | ວິທີການທົດສອບ |
| Fe (ທາດເຫຼັກ) | ສູນການລວມຕົວລະດັບເລິກ; ຫຼຸດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຊົນເຜົ່າສ່ວນນ້ອຍ | ≤ 0.10 | ≤ 0.30 | ICP-MS |
| Na (ໂຊດຽມ) | ກະຕຸ້ນການ devitrification/crystallization ໃນອຸນຫະພູມສູງ; ເຮັດໃຫ້ເກີດການເຄື່ອນທີ່ຂອງປະຈຸ | ≤ 0.15 | ≤ 0.30 | ICP-MS |
| K (ໂພແທດຊຽມ) | ກະຕຸ້ນການເສື່ອມສະພາບຂອງແກ້ວ; ລົບກວນໂຄງສ້າງເຄືອຂ່າຍ quartz | ≤ 0.15 | ≤ 0.30 | ICP-MS |
| ລີ (Lithium) | ສິ່ງເຈືອປົນທີ່ແຜ່ກະຈາຍໄວ; ມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຄວາມຕ້ານທານ | ≤ 0.20 | ≤ 0.50 | ICP-MS |
| ບີ (ໂບຣອນ) | ອົງປະກອບສານປະສົມປະເພດ P; ຫຼຸດຜ່ອນການຄວບຄຸມຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຄວາມຕ້ານທານ | ≤ 0.05 | ≤ 0.10 | GDMS |
| Al (ອາລູມີນຽມ) | ເພີ່ມຄວາມໜືດຂອງ quartz; ຕ້ອງການການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນທີ່ຊັດເຈນ | 8.0 - 15.0 | 10.0 - 20.0 | ICP-MS |
3.2 ການຄວບຄຸມຟອງອາກາດ ແລະ ນ້ຳທີ່ປົນເປື້ອນ
ການລວມຕົວຂອງອາຍແກັສ-ຂອງແຫຼວໃນລະດັບໄມຄຣອນທີ່ມີຢູ່ໃນແຮ່ຄວດສ໌ດິບຕາມທຳມະຊາດຈະສ້າງຄວາມກົດດັນພາຍໃນສູງຫຼາຍທີ່ອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1,400°C. SEMIXLAB ໃຊ້ເຕັກນິກການລະບາຍອາຍແກັສໃນສູນຍາກາດອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ເຕັກນິກການລວມຕົວດ້ວຍໄຟຟ້າຂັ້ນສູງໃນລະຫວ່າງການລະລາຍ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟອງທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງ > 50 μm ໃນຊັ້ນໂປ່ງໃສໃຫ້ເກືອບສູນ, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກໃນຊິລິກອນທີ່ລະລາຍໃນລະຫວ່າງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.
4. ຖ້ວຍໂລຫະ Quartz ຊັ້ນ Semiconductor ທຽບກັບຊັ້ນ Photovoltaic: ການປຽບທຽບການເລືອກ
★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ເຕົາອົບຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳແມ່ນມຸ່ງເນັ້ນໃສ່ 'ຂໍ້ບົກພ່ອງສູນ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດ', ໃນຂະນະທີ່ເຕົາອົບຊັ້ນແສງອາທິດແມ່ນສຸມໃສ່ 'ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານໃນການສາກໄຟຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ (CCZ) ແລະ ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ'. ທັງສອງແຕກຕ່າງກັນໂດຍພື້ນຖານໃນການເລືອກວັດຖຸດິບ, ເຕັກໂນໂລຊີການປຸງແຕ່ງ, ແລະ ການກວດກາຄຸນນະພາບ.
| ມິຕິ / ພາລາມິເຕີ | ເຕົາອົບ Quartz ເກຣດເຄິ່ງຕົວນຳ | ເຕົາອົບ Quartz ຊັ້ນພະລັງງານແສງຕາເວັນ (N-Type TOPCon/HJT) |
| ຂະໜາດຫຼັກ | 28 ນິ້ວ, 32 ນິ້ວ, 36 ນິ້ວ (ດັດແປງສຳລັບແຜ່ນເວເຟີ 200 ມມ / 300 ມມ) | 32 ນິ້ວ, 36 ນິ້ວ, 40 ນິ້ວ (ດັດແປງສຳລັບແຜ່ນເວເຟີໂຊລາ 182 ມມ / 210 ມມ) |
| ອົງປະກອບຂອງວັດຖຸດິບ | ຊັ້ນໃນ: ດິນຊາຍຄວດສ໌ສັງເຄາະບໍລິສຸດພິເສດ / ດິນຊາຍທຳມະຊາດພຣີມຽມນຳເຂົ້າ; ຊັ້ນນອກ: ດິນຊາຍທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ | ຊັ້ນໃນ: ດິນຊາຍ quartz ທຳມະຊາດນຳເຂົ້າ/ພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນຳ; ຊັ້ນນອກ: ດິນຊາຍມາດຕະຖານທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ |
| ຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດ (SiO₂) | ≥ 99.9995% (5N5) | ≥ 99.999% (5N) |
| ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນໂປ່ງໃສ | ≥ 6 – 10 ມມ | ≥ 4 – 6 ມມ |
| ອາຍຸການເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ | 150 – 250 ຊົ່ວໂມງ (ເນັ້ນໃສ່ຄຸນນະພາບຂອງຜລຶກແກ້ວທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງຕໍ່າຫຼາຍ) | 300 – 400 ຊົ່ວໂມງ (ຮອງຮັບຂະບວນການສາກໄຟຫຼາຍຄັ້ງ / CCZ) |
| ຮູບແບບຄວາມລົ້ມເຫຼວຫຼັກ | ການຫຼົ່ນຂອງອະນຸພາກຈຸນລະພາກ (POP), ສິ່ງປົນເປື້ອນຕາມຮ່ອງຮອຍເກີນຂອບເຂດ | ການຫຍ่อนຍານຂອງຂອບ/ການຜິດຮູບ, ການລອກອອກຂອງແກ້ວທີ່ຫ່ຽວແຫ້ງ |
| ມາດຕະຖານການກວດກາ | ມາດຕະຖານ SEMI C19, ການກວດກາແບບ GDMS / ICP-MS 100% | ມາດຕະຖານ JC/T 1048-2018, ກົນໄກການກວດສອບການເກັບຕົວຢ່າງ |
5. ກົນໄກຄວາມລົ້ມເຫຼວທົ່ວໄປຂອງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ Quartz ແລະ ຍຸດທະສາດການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງ
★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ການເສື່ອມສະພາບ ແລະ ການຜິດຮູບອຸນຫະພູມສູງ ແມ່ນສາເຫດຫຼັກທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫຼັງການຂັດຂວາງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ CZ. ຜ່ານການປະສົມໂລຫະປະສົມຂະໜາດນ້ອຍດ້ວຍການເສີມອາລູມີນຽມ ແລະ ການຊ່ຽວຊານດ້ານ ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບ , ຄວາມຕ້ານທານການເລືອຄານໃນອຸນຫະພູມສູງສາມາດປັບປຸງໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
5.1 ການເສື່ອມສະພາບ
ແກ້ວ Quartz (SiO₂ ອະຮູບຮ່າງ) ມັກຈະປ່ຽນເປັນໂຄງສ້າງ cristobalite ທີ່ມີລັກສະນະເປັນຜລຶກໃນອຸນຫະພູມສູງ.
· ອັນຕະລາຍ: ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງຊັ້ນຜລຶກແຕກຕ່າງກັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຈາກແກ້ວຄວດ. ໃນລະຫວ່າງການເຮັດຄວາມເຢັນ ຫຼື ການລົບກວນທາງຄວາມຮ້ອນ, ຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ການລອກອອກຂອງອະນຸພາກຈະເກີດຂຶ້ນໄດ້ງ່າຍ, ເຂົ້າໄປໃນຊິລິກອນທີ່ລະລາຍ ແລະ ເຮັດໃຫ້ຜລຶກແຕກ.
· ຕົວກະຕຸ້ນ: ການປົນເປື້ອນໂລຫະອັນຄາໄລ (Na, K) ຫຼື ສານຕົກຄ້າງທາງເຄມີທີ່ເຮັດຄວາມສະອາດ.
· ວິທີແກ້ໄຂ SEMIXLAB: ລວມເອົາການຄວບຄຸມອັດຕາສ່ວນການເສີມຂະໜາດນ້ອຍທີ່ຊັດເຈນ ແລະ ສ້າງຊັ້ນປ້ອງກັນບໍລິສຸດທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງຢູ່ເທິງຝາດ້ານໃນ. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນວ່າການເກີດຜລຶກຈະດຳເນີນໄປໃນຮູບແບບຊັ້ນບາງໆທີ່ຮາບພຽງ ແລະ ເປັນເອກະພາບທີ່ສຸດ (ຊັ້ນແຂງ), ເຊິ່ງຕົວຈິງແລ້ວຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງເຕົາອົບ.
5.2 ການຜິດຮູບ ແລະ ການຫົດຕົວໃນອຸນຫະພູມສູງ
ພາຍໃຕ້ການໂຫຼດໜັກຂອງຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍຫຼາຍຮ້ອຍກິໂລກຣາມ ແລະ ການສຳຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງເປັນເວລາດົນ, ຂະໜາດໃຫຍ່ crucifles quartz ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະພັງລົງພາຍໃນຝາດ້ານເທິງ.
· ອັນຕະລາຍ: ປ່ຽນແປງສະໜາມຄວາມຮ້ອນເທິງໜ້າດິນຂອງແຫຼວ ແລະ ຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາກອນ, ລົບກວນສະຖຽນລະພາບຂອງໜ້າດິນລະຫວ່າງຂອງແຂງ ແລະ ຂອງແຫຼວ.
· ວິທີແກ້ໄຂ SEMIXLAB: ຄວບຄຸມຂະໜາດຟອງຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ປະລິມານຟອງໃນຊັ້ນທຶບແສງດ້ານນອກໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ, ຊ່ວຍເສີມສ້າງຄວາມແຂງແກ່ນໂດຍລວມ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການເລືອຄານໃນອຸນຫະພູມສູງຂອງໂຄງສ້າງຝາດ້ານນອກ.
6. ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດ ແລະ ການບໍລິການປັບແຕ່ງຂອງ SEMIXLAB
★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ຂະໜາດມາດຕະຖານເປັນພຽງພື້ນຖານເທົ່ານັ້ນ. ການຄວບຄຸມຂະບວນການຢ່າງຄົບຖ້ວນຕັ້ງແຕ່ການກວດສອບວັດຖຸດິບຈົນເຖິງການຈັດສົ່ງສຸດທ້າຍ, ພ້ອມກັບການປັບແຕ່ງຂະໜາດທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານຢ່າງວ່ອງໄວ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການຂອງພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນ, ເປັນຕົວແທນໃຫ້ແກ່ຄວາມໄດ້ປຽບໃນການແຂ່ງຂັນຫຼັກຂອງ SEMIXLAB.
| ຂະໜາດການປັບແຕ່ງ | Standard Configuration | ຂອບເຂດ / ຄຸນສົມບັດທີ່ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ |
| ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ | 28", 32", 36" | ການຄຸ້ມຄອງຂະໜາດເຕັມຕັ້ງແຕ່ 20" ຫາ 42", ຮອງຮັບສາຍທົດລອງ R&D ທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂະໜາດໃຫຍ່. |
| ໂຄງສ້າງຊັ້ນໂປ່ງໃສ | ຊັ້ນໂປ່ງໃສມາດຕະຖານ 5 ມມ | ຄວາມເລິກທີ່ກຳນົດເອງຕັ້ງແຕ່ 3 ມມ ຫາ 12 ມມ ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດຶງໄປເຊຍກັນທີ່ຍາວເປັນພິເສດ. |
| ຄວາມໜາຂອງຝາ ແລະ ຮູບຮ່າງດ້ານລຸ່ມ | ດ້ານລຸ່ມຮາບພຽງມາດຕະຖານ / ດ້ານລຸ່ມໂຄ້ງມົນ | ຄວາມໜາຂອງຝາຂ້າງທີ່ໄດ້ຮັບການເສີມແຮງ, ລັດສະໝີ R ຂອງມຸມລຸ່ມທີ່ປັບແຕ່ງໄດ້ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບການພາຄວາມຮ້ອນຂອງສານລະລາຍ. |
| ການເຄືອບພື້ນຜິວ / ການປິ່ນປົວ | ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງມາດຕະຖານ | ການປິ່ນປົວດ້ວຍການເສີມສ້າງການຕົກແຕ່ງຝາຜະໜັງດ້ານນອກທີ່ເປັນທາງເລືອກ ແລະ ການເຄືອບພິເສດກ່ອນການແຍກທາດແຂງອອກຈາກຝາດ້ານໃນ. |
| ການປັບຕົວແອັບພລິເຄຊັນ | ການດຶງ CZ / MCZ ແບບເຄິ່ງຕົວນຳ | ອອກແບບມາສຳລັບການລະລາຍຜລຶກປະສົມ GaAs/InP ແບບ N-type TOPCon, HJT, ແລະ ເຊມິຄອນດັກເຕີ. |
6.2 ລະບົບການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ (ຄຳໝັ້ນສັນຍາຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງ EEAT)
SEMIXLAB ບັງຄັບໃຊ້ການຄຸ້ມຄອງການຕິດຕາມແບບເຕັມຂະບວນການຕັ້ງແຕ່ແຫຼ່ງດິນຊາຍ quartz ດິບຈົນເຖິງຜະລິດຕະພັນສຳເລັດຮູບ:
· 1. ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບທີ່ເຂົ້າມາ (IQC): ດິນຊາຍຄວດສ໌ດິບທຸກໆຊຸດໄດ້ຜ່ານການທົດສອບສະເປກຕຣຳໂລຫະ 18 ອົງປະກອບຢ່າງຄົບຖ້ວນຜ່ານ ICP-MS ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດທີ່ຕອບສະໜອງມາດຕະຖານ 5N5+.
· 2. ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບໃນຂະບວນການ (IPQC): ລະບົບການລວມຕົວດ້ວຍໄຟຟ້າອັດຕະໂນມັດຕິດຕາມກວດກາເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມແບບເວລາຈິງ ແລະ ລະດັບສູນຍາກາດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຮາບພຽງຂອງການໂຕ້ຕອບທີ່ສົມບູນແບບລະຫວ່າງຊັ້ນຄູ່.
· 3. ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບສຸດທ້າຍ (FQC): CMM (ເຄື່ອງວັດແທກພິກັດ) ກວດສອບຂະໜາດເລຂາຄະນິດ, ໃນຂະນະທີ່ເຄື່ອງກວດຈັບຟອງເລເຊີອັດຕະໂນມັດປະຕິບັດການສະແກນ 3D ຂອງການແຈກຢາຍຟອງຕະຫຼອດຊັ້ນໂປ່ງໃສ.
7. ສີ່ມາດຕະຖານວິທະຍາສາດສຳລັບການປະເມີນຜູ້ສະໜອງເຕົາເຜົາ Quartz
★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ເມື່ອປະເມີນຜູ້ສະໜອງເຕົາອົບ quartz, ໃຫ້ຫຼີກລ່ຽງການເບິ່ງພຽງແຕ່ລາຄາສະເໜີ ຫຼື 'ຄຳໝັ້ນສັນຍາດ້ານຄວາມບໍລິສຸດ' ຢ່າງໂດດດ່ຽວ. ມັນເປັນສິ່ງຈຳເປັນທີ່ຈະຕ້ອງປະເມີນຄວາມໂປ່ງໃສໃນການທົດສອບ, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງໂຄງສ້າງສອງຊັ້ນ, ແລະ ການສະໜັບສະໜູນການບໍລິການດ້ານວິສະວະກຳຢ່າງຄົບຖ້ວນ.
· 1. ການທົດສອບຄວາມໂປ່ງໃສ ແລະ ຄວາມຄົບຖ້ວນຂອງຂໍ້ມູນ: ຜູ້ສະໜອງສະໜອງໃຫ້ບົດລາຍງານການວິເຄາະ ICP-MS / GDMS ທີ່ສົມບູນສຳລັບແຕ່ລະຊຸດບໍ? ການທົດສອບຟອງກວມເອົາພື້ນທີ່ສຳຄັນເຊັ່ນ: ດ້ານລຸ່ມຂອງໝໍ້ຕົ້ມ ແລະ ມຸມໂຄ້ງບໍ?
· 2. ຄວາມສາມາດໃນການຄວບຄຸມຊັ້ນໂປ່ງໃສ: ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນໂປ່ງໃສມີຄວາມສະເໝີພາບກັນບໍ (ຕົວຢ່າງ, ຄວາມທົນທານພາຍໃນ ±0.5 ມມ ໃນທຸກຈຸດ)? ມີຟອງອາກາດຂະໜາດນ້ອຍທີ່ໜາແໜ້ນຢູ່ທີ່ໜ້າຕໍ່ຂອງຊັ້ນບໍ?
· 3. ການຄວບຄຸມລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະໜອງວັດຖຸດິບ: ຜູ້ສະໜອງມີລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະໜອງດິນຊາຍຄວດສ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ໝັ້ນຄົງ ແລະ ຫຼາກຫຼາຍ ເຊິ່ງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜັນຜວນຂອງວັດຖຸດິບສາກົນໄດ້ບໍ?
· 4. ການສະໜັບສະໜູນການຈັບຄູ່ພາກສະໜາມດ້ານວິສະວະກຳ ແລະ ຄວາມຮ້ອນ: ຜູ້ສະໜອງສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບຮູບຮ່າງຂອງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ ແລະ ການແຈກຢາຍຄວາມໜາຂອງຝາໂດຍອີງໃສ່ພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນຂອງເຕົາອົບຂອງລູກຄ້າ (ເຊັ່ນ: ການດຶງພາກສະໜາມແມ່ເຫຼັກ MCZ) ໄດ້ບໍ?
8. ຄຳຖາມທີ່ຖາມເລື້ອຍໆ (FAQ)
ຄຳຖາມທີ 1: ສ່ວນປະກອບຫຼັກຂອງໝໍ້ຕົ້ມ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນຫຍັງ? ພວກມັນສາມາດນຳມາໃຊ້ຄືນໄດ້ບໍ?
ສ່ວນປະກອບຫຼັກຂອງໝໍ້ຕົ້ມ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນຊິລິກອນໄດອອກໄຊ (SiO₂, ຄວາມບໍລິສຸດ ≥ 99.999%). ໝໍ້ຕົ້ມ quartz ແມ່ນສິ່ງຂອງທີ່ໃຊ້ໄດ້ຄັ້ງດຽວ ແລະ ບໍ່ສາມາດນຳມາໃຊ້ຄືນໄດ້. ເມື່ອສຳເລັດຮອບວຽນການດຶງຜລຶກ, ການເສື່ອມສະພາບບາງສ່ວນຈະເກີດຂຶ້ນພາຍໃນໝໍ້ຕົ້ມ, ແລະ ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ກົງກັນໃນລະຫວ່າງການເຮັດໃຫ້ເຢັນ ແລະ ການແຂງຕົວຂອງຊິລິກອນທີ່ເຫຼືອເຮັດໃຫ້ໝໍ້ຕົ້ມແຕກ.
ຄຳຖາມທີ 2: ເປັນຫຍັງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ quartz ເກຣດ semiconductor ຈຶ່ງມີລາຄາແພງກວ່າໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ photovoltaic ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ?
ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງລາຄາແມ່ນເກີດມາຈາກສາມປັດໄຈຫຼັກຄື: 1) ຕົ້ນທຶນວັດຖຸດິບທີ່ສູງຂຶ້ນ: ຊັ້ນໃນຂອງຕົວນຳຕ້ອງການດິນຊາຍ quartz ສັງເຄາະທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດ ຫຼື ດິນຊາຍທຳມະຊາດຊັ້ນນຳ; 2) ການຄວບຄຸມຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ເຂັ້ມງວດ: ຂີດຈຳກັດສິ່ງປົນເປື້ອນຂອງໂລຫະ (ເຊັ່ນ Fe ແລະ B) ຖືກກຳນົດໄວ້ທີ່ລະດັບ 0.1 ppm ໂດຍມີຄວາມທົນທານຕໍ່ຟອງເກືອບສູນ; 3) ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ: ຜະລິດຕະພັນຕົວນຳໄດ້ຜ່ານການສະແກນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳ 100% ແລະ ການກວດກາ SEM/ICP-MS.
ຄຳຖາມທີ 3: 'ອັດຕາສ່ວນປະລິມານຟອງ / ຟອງ' ໃນໝໍ້ແກ້ວ quartz ຖືກວັດແທກແນວໃດ?
SEMIXLAB ນຳໃຊ້ລະບົບກວດກາດ້ວຍເລເຊີແບບອັດຕະໂນມັດເພື່ອປະຕິບັດການຖ່າຍພາບ 3 ມິຕິທີ່ບໍ່ທຳລາຍຂອງຊັ້ນໂປ່ງໃສຂອງຖ້ວຍຊອດ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ການຄິດໄລ່ປະລິມານຟອງ ແລະ ອັດຕາສ່ວນປະລິມານໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນໃນຄວາມເລິກທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (ເຊັ່ນ: 0–1 ມມ, 1–3 ມມ, 3–5 ມມ).
ຄຳຖາມທີ 4: ເຕັກໂນໂລຊີ MCZ (Magnetic Czochralski) ກຳນົດຂໍ້ກຳນົດສະເພາະໃດແດ່ສຳລັບໝໍ້ຕົ້ມ quartz?
ເທັກໂນໂລຢີ MCZ ໃຊ້ສະໜາມແມ່ເຫຼັກເພື່ອສະກັດກັ້ນການພາຄວາມຮ້ອນຂອງການລະລາຍຊິລິໂຄນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມການດຶງສູງຂຶ້ນ ແລະ ເວລາຮອບວຽນທີ່ຍາວນານຂຶ້ນ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຕ້ອງການຢ່າງຮຸນແຮງຕໍ່ຄວາມຕ້ານທານການເຮັດໃຫ້ອ່ອນລົງໃນອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງຊັ້ນໃນ. ເຕົາອົບ MCZ ພິເສດຂອງ SEMIXLAB ມີຄວາມໜາຂອງຊັ້ນໂປ່ງໃສທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ ແລະ ໂຄງສ້າງຮູຂຸມຂົນຂະໜາດນ້ອຍພາຍນອກທີ່ດີທີ່ສຸດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນໃນໄລຍະຍາວ.
ຄຳຖາມທີ 5: ເວລານຳສະເໜີ ແລະ ປະລິມານສັ່ງຊື້ຂັ້ນຕ່ຳ (MOQ) ສຳລັບສະຕັອກມາດຕະຖານ ທຽບກັບ ຖ້ວຍທົດລອງທີ່ກຳນົດເອງແມ່ນຫຍັງ?
SEMIXLAB ຮັກສາສິນຄ້າຄົງຄັງມາດຕະຖານສຳລັບເຕົາອົບເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ເຕົາອົບຊັ້ນ PV ຂະໜາດ 28", 32", ແລະ 36" ເພື່ອການຈັດສົ່ງຢ່າງວ່ອງໄວ ແລະ ການກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງລູກຄ້າ. ສຳລັບຂະໜາດທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານ ຫຼື ຄວາມໜາຂອງຝາຜະໜັງທີ່ກຳນົດເອງ, ພວກເຮົາຮອງຮັບ MOQ ລະດັບ R&D ຈຳນວນໜ້ອຍ, ໂດຍມີເວລານຳສະເໜີໂດຍສະເລ່ຍ 2 ຫາ 4 ອາທິດ.
9. ສະຫຼຸບ
★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ໃນຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ monocrystalline CZ, ຖ້ວຍທົດສອບ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເຮັດໜ້າທີ່ເປັນວັດສະດຸບໍລິໂພກໃນພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນທີ່ສຳຄັນ ເຊິ່ງຄຸນນະພາບຂອງມັນກ່ຽວຂ້ອງໂດຍກົງກັບຜົນຜະລິດຂອງແຜ່ນ wafer, ອັດຕາການສ້າງຜລຶກ, ແລະຕົ້ນທຶນການຜະລິດໂດຍລວມ.
· ການເລືອກຊັ້ນ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດ: ການນຳໃຊ້ເຊມິຄອນດັກເຕີສຸມໃສ່ສິ່ງເຈືອປົນຕ່ຳຫຼາຍ (Fe/Na/K/B) ແລະ ຊັ້ນໂປ່ງໃສທີ່ບໍ່ມີຟອງ; ການນຳໃຊ້ PV ເນັ້ນໜັກໃສ່ຄວາມຕ້ານທານການຫຍ่อนຍານທີ່ມີອາຍຸຍືນ ແລະ ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ.
· ການຮັບປະກັນໂຄງສ້າງ: ຊັ້ນໃນໂປ່ງໃສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ≥ 5 ມມ ເປັນສິ່ງກີດຂວາງຫຼັກປ້ອງກັນການລະລາຍຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນ ແລະ ການປ່ອຍຟອງ.
· ການປະເມີນຜູ້ສະໜອງ: ພິຈາລະນາຢ່າງຮອບດ້ານກ່ຽວກັບການທົດສອບຄວາມໂປ່ງໃສ, ຄວາມເປັນເອກະພາບສອງຊັ້ນ, ແລະ ການຈັບຄູ່ວິສະວະກຳທີ່ກຳນົດເອງແທນທີ່ຈະເປັນລາຄາຫົວຂໍ້ດຽວ.
ກ່ຽວກັບ SEMIXLAB
SEMIXLAB (ຍີ່ຫໍ້ພາຍໃຕ້ບໍລິສັດ Zhejiang Liufang Semiconductor Technology Co., Ltd.) ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ ແລະ ການຜະລິດວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ວັດສະດຸເຊລາມິກຂັ້ນສູງ ສຳລັບການນຳໃຊ້ກັບ semiconductor ແລະ photovoltaic. ພາລາມິເຕີທາງເທັກນິກທັງໝົດທີ່ລະບຸໄວ້ໃນບົດຄວາມນີ້ແມ່ນໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນຕາມປະສົບການໂດຍໃຊ້ອຸປະກອນວັດແທກທາງ optical ICP-MS, GDMS, ແລະ CMM.
ສຳລັບລາຍລະອຽດສະເພາະຂອງຜະລິດຕະພັນ, ການທົດສອບຕົວຢ່າງ, ຫຼື ວິທີແກ້ໄຂພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນທີ່ກຳນົດເອງ, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ທີມງານວິສະວະກຳ SEMIXLAB.
ມາດຕະຖານອ້າງອີງດ້ານວິຊາການ:
1. SEMI C19 — ຂໍ້ກຳນົດສຳລັບວັດສະດຸ Quartz ຄວາມບໍລິສຸດສູງ
2. JC/T 1048-2018 — ມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ ເຕົາອົບ Quartz ສຳລັບການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ monocrystalline
3. ISO 13320 — ການວິເຄາະຂະໜາດຂອງອະນຸພາກ - ວິທີການຫັກເຫຂອງເລເຊີ
ສາລະບານ
- ເປັນຫຍັງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຈຶ່ງເປັນສາຍຊີວິດຜົນຜະລິດຂອງການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ CZ?
- ການອອກແບບໂຄງສ້າງສອງຊັ້ນ: ການຮ່ວມມືກັນທາງດ້ານໜ້າທີ່ຂອງຊັ້ນໃນ ແລະ ຊັ້ນນອກ
- ພາລາມິເຕີຫຼັກ ແລະ ຕົວຊີ້ວັດວັດສະດຸທີ່ກຳນົດປະສິດທິພາບຂອງໝໍ້ Quartz
- ຖ້ວຍໂລຫະ Quartz ຊັ້ນ Semiconductor ທຽບກັບຊັ້ນ Photovoltaic: ການປຽບທຽບການເລືອກ
- ກົນໄກຄວາມລົ້ມເຫຼວທົ່ວໄປຂອງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ Quartz ແລະຍຸດທະສາດການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງ
- ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດ ແລະ ການບໍລິການປັບແຕ່ງຂອງ SEMIXLAB
- ສີ່ມາດຕະຖານວິທະຍາສາດສຳລັບການປະເມີນຜູ້ສະໜອງເຕົາເຜົາ Quartz
- ຄໍາຖາມທີ່ຖາມເລື້ອຍ (FAQ)
- Summary

EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ


