ທຸກຫມວດຫມູ່
BLOG

ວິທີການເລືອກໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ? ການວິເຄາະທີ່ສົມບູນແບບກ່ຽວກັບວັດສະດຸບໍລິໂພກທີ່ສຳຄັນ ແລະ ການເພີ່ມຜົນຜະລິດໃນການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ Monocrystalline CZ

2026-07-30 ອ່ານ 28 ນາທີ ຜູ້ຂຽນ: Semixlab

ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ພະລັງງານແສງອາທິດທີ່ທັນສະໄໝ, ຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນ monocrystalline ບໍ່ໄດ້ຖືກກຳນົດໂດຍວັດຖຸດິບເທົ່ານັ້ນ ວັດສະດຸໂພລີຊິລິຄອນ ມັນຍິ່ງຂຶ້ນກັບພາຊະນະທີ່ສຳຜັດໂດຍກົງກັບຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມການເຕີບໃຫຍ່ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ສູນຍາກາດສູງ — ເຕົາໂລຫະ Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.

ໃນຖານະທີ່ເປັນອົງປະກອບຫຼັກຂອງສະໜາມຄວາມຮ້ອນທີ່ໃຊ້ໄດ້ໃນການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ monocrystalline ຂອງ Czochralski (CZ), ເຕົາອົບ quartz ຕ້ອງເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍທີ່ມີສານກັດກ່ອນສູງທີ່ອຸນຫະພູມເກີນ 1,420°C ເປັນເວລາ 200 ຫາຫຼາຍກວ່າ 300 ຊົ່ວໂມງ. ໃນລະຫວ່າງໄລຍະເວລານີ້, ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ, ການແຈກຢາຍຟອງ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງໂຄງສ້າງຂອງເຕົາອົບ quartz ກຳນົດໂດຍກົງຕໍ່ອັດຕາການເຄື່ອນທີ່, ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຊິລິໂຄນດຽວ, ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງເວເຟີ semiconductor/photovoltaic ຕໍ່ມາ.

ໂດຍນຳໃຊ້ປະສົບການຫຼາຍກວ່າ 20 ປີໃນການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳຈາກບໍລິສັດແມ່ຂອງຕົນ, Zhejiang Liufang Semiconductor Technology Co., Ltd., SEMIXLAB ໄດ້ສ້າງຕັ້ງລະບົບການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ເຊິ່ງກວມເອົາຊຸດເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຕັ້ງແຕ່ 28 ຫາ 36 ນິ້ວ (ແລະ ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ເຖິງ 42 ນິ້ວ). ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ໃຫ້ບໍລິການຢ່າງຄົບຖ້ວນສຳລັບການຜະລິດເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ 300 ມມ ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການຜະລິດເວເຟີແສງອາທິດປະສິດທິພາບສູງແບບ N-type TOPCon ແລະ HJT.

1. ເປັນຫຍັງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຈຶ່ງເປັນສາຍຊີວິດຜົນຜະລິດຂອງການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ CZ?

★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ຖ້ວຍແກ້ວ quartz ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນພາຊະນະທາງກາຍະພາບສຳລັບຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງເປັນເຄື່ອງປະຕິກອນເຄມີແບບໄດນາມິກທີ່ເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງທີ່ອຸນຫະພູມ 1,420°C. ການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນຄວາມບໍລິສຸດ ຫຼື ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກຂອງມັນສົ່ງຕໍ່ໂດຍກົງໄປຫາແທ່ງຊິລິໂຄນ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການຫຼຸດລົງຂອງຜົນຜະລິດຜລຶກ ແລະ ການສູນເສຍຜົນຜະລິດແຜ່ນເວເຟີຢ່າງຮຸນແຮງ.

ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການດຶງຜລຶກ CZ, ໂພລີຊິລິຄອນຈະລະລາຍພາຍໃນເຕົາອົບ quartz, ແລະ ເມັດຜລຶກຈະຖືກຈຸ່ມລົງໃນເຕົາລະລາຍ ແລະ ດຶງຂຶ້ນເທິງໃນຂະນະທີ່ໝຸນເພື່ອປູກຜລຶກດຽວ. ຕະຫຼອດຂະບວນການນີ້, ການລະລາຍເລັກນ້ອຍເກີດຂຶ້ນຢູ່ຝາດ້ານໃນຂອງເຕົາອົບ (SiO₂ + Si → 2SiO↑), ເຮັດໃຫ້ສິ່ງເຈືອປົນໂລຫະຮ່ອງຮອຍ ແລະ ຟອງຂະໜາດນ້ອຍທີ່ມີຢູ່ໃນ matrix ຂອງເຕົາອົບຖືກປ່ອຍອອກມາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນຊິລິຄອນທີ່ລະລາຍ.

ຂະບວນການດຶງຜລຶກ CZ

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ / ເຄມີຂອງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ ຂະບວນການທາງຟີຊິກ-ເຄມີທີ່ Melt Interface ຜົນກະທົບສຸດທ້າຍຕໍ່ Silicon Ingot / Wafer
ສິ່ງປົນເປື້ອນໂລຫະທີ່ມີຮ່ອງຮອຍ (Fe, Na, K, B) ລະລາຍເຂົ້າໄປໃນຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍໃນອຸນຫະພູມສູງ ຫຼຸດຜ່ອນອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຕົວນຳສ່ວນໜ້ອຍ, ເພີ່ມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງກັບດັກໃນລະດັບເລິກ, ແລະ ນຳໄປສູ່ກະແສໄຟຟ້າຮົ່ວໄຫຼທີ່ສູງຂຶ້ນ.
ຟອງຂະໜາດນ້ອຍໃນຊັ້ນໂປ່ງໃສ ຂະຫຍາຍ ແລະ ລະເບີດໃນອຸນຫະພູມສູງ, ປ່ອຍອະນຸພາກແຂງອອກມາ ເຮັດໃຫ້ເກີດການລົບກວນຂອງອະນຸພາກແຂງໃນຊິລິກອນທີ່ລະລາຍ, ເຮັດໃຫ້ເກີດການສູນເສຍການເຕີບໂຕທີ່ບໍ່ມີການເຄື່ອນທີ່ (ການແຕກແຍກຂອງການເຄື່ອນທີ່).
ການອ່ອນລົງ ແລະ ການຜິດຮູບໃນອຸນຫະພູມສູງ (ການຫຍ่อนຍານ) ກຳແພງເຕົາອົບພັງລົງ, ປ່ຽນຮູບແບບການພາຄວາມຮ້ອນຂອງການລະລາຍ ລົບກວນຄວາມສົມດຸນຂອງພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນຢູ່ທີ່ໜ້າຕໍ່ລະຫວ່າງຂອງແຂງກັບຂອງແຫຼວ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສູນເສຍການຄວບຄຸມເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງຜລຶກ ແລະ ການຂັດຂວາງການຈະເລີນເຕີບໂຕ.
ການເສື່ອມສະພາບຜິດປົກກະຕິ ຊັ້ນຜລຶກທີ່ປອກອອກ, ເຮັດໃຫ້ເກີດອະນຸພາກ cristobalite ອະນຸພາກລອຍໄປຫາໜ້າຕ່າງການຈະເລີນເຕີບໂຕ, ກະຕຸ້ນການເຄື່ອນທີ່ຂອງຜລຶກຂະໜາດໃຫຍ່.

2. ການອອກແບບໂຄງສ້າງສອງຊັ້ນ: ການຮ່ວມມືກັນທາງດ້ານໜ້າທີ່ຂອງຊັ້ນໃນ ແລະ ຊັ້ນນອກ

★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ຖ້ວຍແກ້ວ quartz ລະດັບສູງທີ່ທັນສະໄໝໃຊ້ໂຄງສ້າງປະສົມສອງຊັ້ນທີ່ປະກອບດ້ວຍຊັ້ນໃນໂປ່ງໃສທີ່ບໍ່ມີຟອງອາກາດບໍລິສຸດພິເສດ ແລະ ຊັ້ນນອກທີ່ມີຮູຂຸມຂົນຂະໜາດນ້ອຍທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟອງອາກາດສູງ. ສິ່ງນີ້ແກ້ໄຂຄວາມຂັດແຍ້ງສອງຢ່າງລະຫວ່າງ 'ຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດຢູ່ທີ່ໜ້າຕິດຕໍ່' ແລະ 'ຄວາມສະເໝີພາບຂອງສະໜາມຄວາມຮ້ອນໂດຍລວມ' ໄດ້ຢ່າງສົມບູນ.

ຊັ້ນໂຄງສ້າງ ຮູບຮ່າງທາງກາຍະພາບ ຫນ້າທີ່ຫຼັກ ຕົວຊີ້ວັດດ້ານວິຊາການທີ່ສໍາຄັນ
ຊັ້ນໃນ (ຊັ້ນໂປ່ງໃສ) ແກ້ວ quartz ປະສົມທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ໂປ່ງໃສ, ບໍ່ມີຟອງ, ໜາ ≥ 5 ມມ ສໍາຜັດໂດຍກົງກັບຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍ, ສະກັດກັ້ນການປ່ອຍສິ່ງປົນເປື້ອນ, ແລະ ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ຟອງແຕກອອກຈາກການປົນເປື້ອນຂອງຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍ.

• ອັດຕາສ່ວນຟອງ < 0.05%

• ປະລິມານສິ່ງເຈືອປົນທັງໝົດ < 10 ppm

• ບໍ່ມີຟອງຂະໜາດນ້ອຍພາຍໃນຄວາມເລິກ 0–1 ມມ

ຊັ້ນນອກ (ຊັ້ນທຶບ) ແກ້ວ quartz ສີຂາວນົມທີ່ມີຟອງອາກາດຂະໜາດນ້ອຍທີ່ແຈກຢາຍຢ່າງເປັນເອກະພາບ ຮັບປະກັນການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນແບບລັງສີຢ່າງເປັນເອກະພາບ, ເພີ່ມຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກ, ແລະ ປ້ອງກັນການຫຍ่อนຍານໃນອຸນຫະພູມສູງ.

• ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຟອງ: 50–150 μm

• ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຄວາມສອດຄ່ອງ ≥ 99%

• ການແຈກຢາຍການນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ

ໃນລະຫວ່າງການດຶງໄປເຊຍກັນຕົວຈິງ, ຖ້າຊັ້ນໂປ່ງໃສບາງເກີນໄປ (< 3 ມມ), ມັນມັກຈະຖືກກັດກ່ອນໃນລະຫວ່າງການລະລາຍຫຼາຍຮ້ອຍຊົ່ວໂມງ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ຟອງອາກາດ ແລະ ສິ່ງສົກກະປົກຈາກຊັ້ນນອກໄຫຼເຂົ້າໄປໃນຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍ. ຖ້ວຍທົດສອບຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳ SEMIXLAB ຮັກສາຄວາມໜາຂອງຊັ້ນໂປ່ງໃສພາຍໃນຢ່າງເຂັ້ມງວດ ≥ 5 ມມ (ສູງສຸດ 10–12 ມມ ຕາມການຮ້ອງຂໍ), ຮັບປະກັນວ່າດ້ານໜ້າຂອງການກັດກ່ອນຍັງຄົງຢູ່ພາຍໃນຊັ້ນໂປ່ງໃສທີ່ສະອາດທີ່ສຸດຕະຫຼອດຮອບວຽນການດຶງທີ່ຍາວນານເປັນພິເສດ.

3. ພາລາມິເຕີຫຼັກ ແລະ ຕົວຊີ້ວັດວັດສະດຸທີ່ກຳນົດປະສິດທິພາບຂອງໝໍ້ Quartz

★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ການຄວບຄຸມລະດັບ ppm ແລະແມ່ນແຕ່ລະດັບ ppb ແລະໂລຫະດ່າງແມ່ນກຸນແຈສຳຄັນໃນການເສີມຂະຫຍາຍອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຕົວນຳສ່ວນນ້ອຍຂອງແຜ່ນແພ; ໃນຂະນະດຽວກັນ, ການຈັດການການລວມຕົວຂອງແຫຼວທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການຫຼຸດຄວາມເປັນດ່າງປະກອບເປັນພື້ນຖານຂອງຄວາມໝັ້ນຄົງໃນການດຶງວົງຈອນຍາວ.

ວັດຖຸດິບສຳລັບເຕົາເຜົາ Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ

3.1 ມາດຕະຖານການຄວບຄຸມສິ່ງປົນເປື້ອນໂລຫະທີ່ມີຮ່ອງຮອຍຕ່ຳຫຼາຍ

ໂລຫະປະສົມ (ເຊັ່ນ: Fe, Cu, Ni) ເຮັດໃຫ້ແຮງດັນໄຟຟ້າແຕກຫັກຂອງອຸປະກອນຫຼຸດລົງໂດຍກົງ, ໃນຂະນະທີ່ໂລຫະອັນຄາລີ (Na, K, Li) ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວເລັ່ງປະຕິກິລິຍາຫຼັກສຳລັບການເສື່ອມສະພາບຜິດປົກກະຕິຂອງແກ້ວຄວດສ໌ໃນອຸນຫະພູມສູງ. SEMIXLAB ກຳນົດຂໍ້ຈຳກັດສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ເຂັ້ມງວດສຳລັບວັດສະດຸຄວດສ໌ຊັ້ນໃນຜ່ານການທົດສອບ ICP-MS ແລະ GDMS:

ອົງປະກອບທີ່ຄວບຄຸມ ການຈັດປະເພດອັນຕະລາຍຈາກສິ່ງປົນເປື້ອນ ເກຣດຂອງເຊມິຄອນດັກເຕີ (ppm) ຊັ້ນຮຽນໄຟຟ້າແສງຕາເວັນ (N-type TOPCon) (ppm) ວິທີການທົດສອບ
Fe (ທາດເຫຼັກ) ສູນການລວມຕົວລະດັບເລິກ; ຫຼຸດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຊົນເຜົ່າສ່ວນນ້ອຍ ≤ 0.10 ≤ 0.30 ICP-MS
Na (ໂຊດຽມ) ກະຕຸ້ນການ devitrification/crystallization ໃນອຸນຫະພູມສູງ; ເຮັດໃຫ້ເກີດການເຄື່ອນທີ່ຂອງປະຈຸ ≤ 0.15 ≤ 0.30 ICP-MS
K (ໂພແທດຊຽມ) ກະຕຸ້ນການເສື່ອມສະພາບຂອງແກ້ວ; ລົບກວນໂຄງສ້າງເຄືອຂ່າຍ quartz ≤ 0.15 ≤ 0.30 ICP-MS
ລີ (Lithium) ສິ່ງເຈືອປົນທີ່ແຜ່ກະຈາຍໄວ; ມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຄວາມຕ້ານທານ ≤ 0.20 ≤ 0.50 ICP-MS
ບີ (ໂບຣອນ) ອົງປະກອບສານປະສົມປະເພດ P; ຫຼຸດຜ່ອນການຄວບຄຸມຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຄວາມຕ້ານທານ ≤ 0.05 ≤ 0.10 GDMS
Al (ອາລູມີນຽມ) ເພີ່ມຄວາມໜືດຂອງ quartz; ຕ້ອງການການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນທີ່ຊັດເຈນ 8.0 - 15.0 10.0 - 20.0 ICP-MS

3.2 ການຄວບຄຸມຟອງອາກາດ ແລະ ນ້ຳທີ່ປົນເປື້ອນ

ການລວມຕົວຂອງອາຍແກັສ-ຂອງແຫຼວໃນລະດັບໄມຄຣອນທີ່ມີຢູ່ໃນແຮ່ຄວດສ໌ດິບຕາມທຳມະຊາດຈະສ້າງຄວາມກົດດັນພາຍໃນສູງຫຼາຍທີ່ອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1,400°C. SEMIXLAB ໃຊ້ເຕັກນິກການລະບາຍອາຍແກັສໃນສູນຍາກາດອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ເຕັກນິກການລວມຕົວດ້ວຍໄຟຟ້າຂັ້ນສູງໃນລະຫວ່າງການລະລາຍ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟອງທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງ > 50 μm ໃນຊັ້ນໂປ່ງໃສໃຫ້ເກືອບສູນ, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກໃນຊິລິກອນທີ່ລະລາຍໃນລະຫວ່າງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

4. ຖ້ວຍໂລຫະ Quartz ຊັ້ນ Semiconductor ທຽບກັບຊັ້ນ Photovoltaic: ການປຽບທຽບການເລືອກ

★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ເຕົາອົບຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳແມ່ນມຸ່ງເນັ້ນໃສ່ 'ຂໍ້ບົກພ່ອງສູນ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດ', ໃນຂະນະທີ່ເຕົາອົບຊັ້ນແສງອາທິດແມ່ນສຸມໃສ່ 'ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານໃນການສາກໄຟຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ (CCZ) ແລະ ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ'. ທັງສອງແຕກຕ່າງກັນໂດຍພື້ນຖານໃນການເລືອກວັດຖຸດິບ, ເຕັກໂນໂລຊີການປຸງແຕ່ງ, ແລະ ການກວດກາຄຸນນະພາບ.

ມິຕິ / ພາລາມິເຕີ ເຕົາອົບ Quartz ເກຣດເຄິ່ງຕົວນຳ ເຕົາອົບ Quartz ຊັ້ນພະລັງງານແສງຕາເວັນ (N-Type TOPCon/HJT)
ຂະໜາດຫຼັກ 28 ນິ້ວ, 32 ນິ້ວ, 36 ນິ້ວ (ດັດແປງສຳລັບແຜ່ນເວເຟີ 200 ມມ / 300 ມມ) 32 ນິ້ວ, 36 ນິ້ວ, 40 ນິ້ວ (ດັດແປງສຳລັບແຜ່ນເວເຟີໂຊລາ 182 ມມ / 210 ມມ)
ອົງປະກອບຂອງວັດຖຸດິບ ຊັ້ນໃນ: ດິນຊາຍຄວດສ໌ສັງເຄາະບໍລິສຸດພິເສດ / ດິນຊາຍທຳມະຊາດພຣີມຽມນຳເຂົ້າ; ຊັ້ນນອກ: ດິນຊາຍທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ຊັ້ນໃນ: ດິນຊາຍ quartz ທຳມະຊາດນຳເຂົ້າ/ພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນຳ; ຊັ້ນນອກ: ດິນຊາຍມາດຕະຖານທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ
ຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດ (SiO₂) ≥ 99.9995% (5N5) ≥ 99.999% (5N)
ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນໂປ່ງໃສ ≥ 6 – 10 ມມ ≥ 4 – 6 ມມ
ອາຍຸການເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ 150 – 250 ຊົ່ວໂມງ (ເນັ້ນໃສ່ຄຸນນະພາບຂອງຜລຶກແກ້ວທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງຕໍ່າຫຼາຍ) 300 – 400 ຊົ່ວໂມງ (ຮອງຮັບຂະບວນການສາກໄຟຫຼາຍຄັ້ງ / CCZ)
ຮູບແບບຄວາມລົ້ມເຫຼວຫຼັກ ການຫຼົ່ນຂອງອະນຸພາກຈຸນລະພາກ (POP), ສິ່ງປົນເປື້ອນຕາມຮ່ອງຮອຍເກີນຂອບເຂດ ການຫຍ่อนຍານຂອງຂອບ/ການຜິດຮູບ, ການລອກອອກຂອງແກ້ວທີ່ຫ່ຽວແຫ້ງ
ມາດຕະຖານການກວດກາ ມາດຕະຖານ SEMI C19, ການກວດກາແບບ GDMS / ICP-MS 100% ມາດຕະຖານ JC/T 1048-2018, ກົນໄກການກວດສອບການເກັບຕົວຢ່າງ

5. ກົນໄກຄວາມລົ້ມເຫຼວທົ່ວໄປຂອງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ Quartz ແລະ ຍຸດທະສາດການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງ

★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ການເສື່ອມສະພາບ ແລະ ການຜິດຮູບອຸນຫະພູມສູງ ແມ່ນສາເຫດຫຼັກທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫຼັງການຂັດຂວາງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ CZ. ຜ່ານການປະສົມໂລຫະປະສົມຂະໜາດນ້ອຍດ້ວຍການເສີມອາລູມີນຽມ ແລະ ການຊ່ຽວຊານດ້ານ ເຕັກ​ໂນ​ໂລ​ຊີ​ການ​ເຄືອບ​ , ຄວາມຕ້ານທານການເລືອຄານໃນອຸນຫະພູມສູງສາມາດປັບປຸງໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

5.1 ການເສື່ອມສະພາບ

ແກ້ວ Quartz (SiO₂ ອະຮູບຮ່າງ) ມັກຈະປ່ຽນເປັນໂຄງສ້າງ cristobalite ທີ່ມີລັກສະນະເປັນຜລຶກໃນອຸນຫະພູມສູງ.

· ອັນຕະລາຍ: ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງຊັ້ນຜລຶກແຕກຕ່າງກັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຈາກແກ້ວຄວດ. ໃນລະຫວ່າງການເຮັດຄວາມເຢັນ ຫຼື ການລົບກວນທາງຄວາມຮ້ອນ, ຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ການລອກອອກຂອງອະນຸພາກຈະເກີດຂຶ້ນໄດ້ງ່າຍ, ເຂົ້າໄປໃນຊິລິກອນທີ່ລະລາຍ ແລະ ເຮັດໃຫ້ຜລຶກແຕກ.

· ຕົວກະຕຸ້ນ: ການປົນເປື້ອນໂລຫະອັນຄາໄລ (Na, K) ຫຼື ສານຕົກຄ້າງທາງເຄມີທີ່ເຮັດຄວາມສະອາດ.

· ວິທີແກ້ໄຂ SEMIXLAB: ລວມເອົາການຄວບຄຸມອັດຕາສ່ວນການເສີມຂະໜາດນ້ອຍທີ່ຊັດເຈນ ແລະ ສ້າງຊັ້ນປ້ອງກັນບໍລິສຸດທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງຢູ່ເທິງຝາດ້ານໃນ. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນວ່າການເກີດຜລຶກຈະດຳເນີນໄປໃນຮູບແບບຊັ້ນບາງໆທີ່ຮາບພຽງ ແລະ ເປັນເອກະພາບທີ່ສຸດ (ຊັ້ນແຂງ), ເຊິ່ງຕົວຈິງແລ້ວຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງເຕົາອົບ.

5.2 ການຜິດຮູບ ແລະ ການຫົດຕົວໃນອຸນຫະພູມສູງ

ພາຍໃຕ້ການໂຫຼດໜັກຂອງຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍຫຼາຍຮ້ອຍກິໂລກຣາມ ແລະ ການສຳຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງເປັນເວລາດົນ, ຂະໜາດໃຫຍ່ crucifles quartz ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະພັງລົງພາຍໃນຝາດ້ານເທິງ.

· ອັນຕະລາຍ: ປ່ຽນແປງສະໜາມຄວາມຮ້ອນເທິງໜ້າດິນຂອງແຫຼວ ແລະ ຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາກອນ, ລົບກວນສະຖຽນລະພາບຂອງໜ້າດິນລະຫວ່າງຂອງແຂງ ແລະ ຂອງແຫຼວ.

· ວິທີແກ້ໄຂ SEMIXLAB: ຄວບຄຸມຂະໜາດຟອງຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ປະລິມານຟອງໃນຊັ້ນທຶບແສງດ້ານນອກໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ, ຊ່ວຍເສີມສ້າງຄວາມແຂງແກ່ນໂດຍລວມ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການເລືອຄານໃນອຸນຫະພູມສູງຂອງໂຄງສ້າງຝາດ້ານນອກ.

6. ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດ ແລະ ການບໍລິການປັບແຕ່ງຂອງ SEMIXLAB

★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ຂະໜາດມາດຕະຖານເປັນພຽງພື້ນຖານເທົ່ານັ້ນ. ການຄວບຄຸມຂະບວນການຢ່າງຄົບຖ້ວນຕັ້ງແຕ່ການກວດສອບວັດຖຸດິບຈົນເຖິງການຈັດສົ່ງສຸດທ້າຍ, ພ້ອມກັບການປັບແຕ່ງຂະໜາດທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານຢ່າງວ່ອງໄວ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການຂອງພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນ, ເປັນຕົວແທນໃຫ້ແກ່ຄວາມໄດ້ປຽບໃນການແຂ່ງຂັນຫຼັກຂອງ SEMIXLAB.

ຂະໜາດການປັບແຕ່ງ Standard Configuration ຂອບເຂດ / ຄຸນສົມບັດທີ່ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ 28", 32", 36" ການຄຸ້ມຄອງຂະໜາດເຕັມຕັ້ງແຕ່ 20" ຫາ 42", ຮອງຮັບສາຍທົດລອງ R&D ທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂະໜາດໃຫຍ່.
ໂຄງສ້າງຊັ້ນໂປ່ງໃສ ຊັ້ນໂປ່ງໃສມາດຕະຖານ 5 ມມ ຄວາມເລິກທີ່ກຳນົດເອງຕັ້ງແຕ່ 3 ມມ ຫາ 12 ມມ ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດຶງໄປເຊຍກັນທີ່ຍາວເປັນພິເສດ.
ຄວາມໜາຂອງຝາ ແລະ ຮູບຮ່າງດ້ານລຸ່ມ ດ້ານລຸ່ມຮາບພຽງມາດຕະຖານ / ດ້ານລຸ່ມໂຄ້ງມົນ ຄວາມໜາຂອງຝາຂ້າງທີ່ໄດ້ຮັບການເສີມແຮງ, ລັດສະໝີ R ຂອງມຸມລຸ່ມທີ່ປັບແຕ່ງໄດ້ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບການພາຄວາມຮ້ອນຂອງສານລະລາຍ.
ການເຄືອບພື້ນຜິວ / ການປິ່ນປົວ ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງມາດຕະຖານ ການປິ່ນປົວດ້ວຍການເສີມສ້າງການຕົກແຕ່ງຝາຜະໜັງດ້ານນອກທີ່ເປັນທາງເລືອກ ແລະ ການເຄືອບພິເສດກ່ອນການແຍກທາດແຂງອອກຈາກຝາດ້ານໃນ.
ການປັບຕົວແອັບພລິເຄຊັນ ການດຶງ CZ / MCZ ແບບເຄິ່ງຕົວນຳ ອອກແບບມາສຳລັບການລະລາຍຜລຶກປະສົມ GaAs/InP ແບບ N-type TOPCon, HJT, ແລະ ເຊມິຄອນດັກເຕີ.

6.2 ລະບົບການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ (ຄຳໝັ້ນສັນຍາຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງ EEAT)

SEMIXLAB ບັງຄັບໃຊ້ການຄຸ້ມຄອງການຕິດຕາມແບບເຕັມຂະບວນການຕັ້ງແຕ່ແຫຼ່ງດິນຊາຍ quartz ດິບຈົນເຖິງຜະລິດຕະພັນສຳເລັດຮູບ:

· 1. ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບທີ່ເຂົ້າມາ (IQC): ດິນຊາຍຄວດສ໌ດິບທຸກໆຊຸດໄດ້ຜ່ານການທົດສອບສະເປກຕຣຳໂລຫະ 18 ອົງປະກອບຢ່າງຄົບຖ້ວນຜ່ານ ICP-MS ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດທີ່ຕອບສະໜອງມາດຕະຖານ 5N5+.

· 2. ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບໃນຂະບວນການ (IPQC): ລະບົບການລວມຕົວດ້ວຍໄຟຟ້າອັດຕະໂນມັດຕິດຕາມກວດກາເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມແບບເວລາຈິງ ແລະ ລະດັບສູນຍາກາດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຮາບພຽງຂອງການໂຕ້ຕອບທີ່ສົມບູນແບບລະຫວ່າງຊັ້ນຄູ່.

· 3. ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບສຸດທ້າຍ (FQC): CMM (ເຄື່ອງວັດແທກພິກັດ) ກວດສອບຂະໜາດເລຂາຄະນິດ, ໃນຂະນະທີ່ເຄື່ອງກວດຈັບຟອງເລເຊີອັດຕະໂນມັດປະຕິບັດການສະແກນ 3D ຂອງການແຈກຢາຍຟອງຕະຫຼອດຊັ້ນໂປ່ງໃສ.

7. ສີ່ມາດຕະຖານວິທະຍາສາດສຳລັບການປະເມີນຜູ້ສະໜອງເຕົາເຜົາ Quartz

★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ເມື່ອປະເມີນຜູ້ສະໜອງເຕົາອົບ quartz, ໃຫ້ຫຼີກລ່ຽງການເບິ່ງພຽງແຕ່ລາຄາສະເໜີ ຫຼື 'ຄຳໝັ້ນສັນຍາດ້ານຄວາມບໍລິສຸດ' ຢ່າງໂດດດ່ຽວ. ມັນເປັນສິ່ງຈຳເປັນທີ່ຈະຕ້ອງປະເມີນຄວາມໂປ່ງໃສໃນການທົດສອບ, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງໂຄງສ້າງສອງຊັ້ນ, ແລະ ການສະໜັບສະໜູນການບໍລິການດ້ານວິສະວະກຳຢ່າງຄົບຖ້ວນ.

· 1. ການທົດສອບຄວາມໂປ່ງໃສ ແລະ ຄວາມຄົບຖ້ວນຂອງຂໍ້ມູນ: ຜູ້ສະໜອງສະໜອງໃຫ້ບົດລາຍງານການວິເຄາະ ICP-MS / GDMS ທີ່ສົມບູນສຳລັບແຕ່ລະຊຸດບໍ? ການທົດສອບຟອງກວມເອົາພື້ນທີ່ສຳຄັນເຊັ່ນ: ດ້ານລຸ່ມຂອງໝໍ້ຕົ້ມ ແລະ ມຸມໂຄ້ງບໍ?

· 2. ຄວາມສາມາດໃນການຄວບຄຸມຊັ້ນໂປ່ງໃສ: ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນໂປ່ງໃສມີຄວາມສະເໝີພາບກັນບໍ (ຕົວຢ່າງ, ຄວາມທົນທານພາຍໃນ ±0.5 ມມ ໃນທຸກຈຸດ)? ມີຟອງອາກາດຂະໜາດນ້ອຍທີ່ໜາແໜ້ນຢູ່ທີ່ໜ້າຕໍ່ຂອງຊັ້ນບໍ?

· 3. ການຄວບຄຸມລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະໜອງວັດຖຸດິບ: ຜູ້ສະໜອງມີລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະໜອງດິນຊາຍຄວດສ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ໝັ້ນຄົງ ແລະ ຫຼາກຫຼາຍ ເຊິ່ງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜັນຜວນຂອງວັດຖຸດິບສາກົນໄດ້ບໍ?

· 4. ການສະໜັບສະໜູນການຈັບຄູ່ພາກສະໜາມດ້ານວິສະວະກຳ ແລະ ຄວາມຮ້ອນ: ຜູ້ສະໜອງສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບຮູບຮ່າງຂອງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ ແລະ ການແຈກຢາຍຄວາມໜາຂອງຝາໂດຍອີງໃສ່ພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນຂອງເຕົາອົບຂອງລູກຄ້າ (ເຊັ່ນ: ການດຶງພາກສະໜາມແມ່ເຫຼັກ MCZ) ໄດ້ບໍ?

8. ຄຳຖາມທີ່ຖາມເລື້ອຍໆ (FAQ)

ຄຳຖາມທີ 1: ສ່ວນປະກອບຫຼັກຂອງໝໍ້ຕົ້ມ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນຫຍັງ? ພວກມັນສາມາດນຳມາໃຊ້ຄືນໄດ້ບໍ?

ສ່ວນປະກອບຫຼັກຂອງໝໍ້ຕົ້ມ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນຊິລິກອນໄດອອກໄຊ (SiO₂, ຄວາມບໍລິສຸດ ≥ 99.999%). ໝໍ້ຕົ້ມ quartz ແມ່ນສິ່ງຂອງທີ່ໃຊ້ໄດ້ຄັ້ງດຽວ ແລະ ບໍ່ສາມາດນຳມາໃຊ້ຄືນໄດ້. ເມື່ອສຳເລັດຮອບວຽນການດຶງຜລຶກ, ການເສື່ອມສະພາບບາງສ່ວນຈະເກີດຂຶ້ນພາຍໃນໝໍ້ຕົ້ມ, ແລະ ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ກົງກັນໃນລະຫວ່າງການເຮັດໃຫ້ເຢັນ ແລະ ການແຂງຕົວຂອງຊິລິກອນທີ່ເຫຼືອເຮັດໃຫ້ໝໍ້ຕົ້ມແຕກ.

ຄຳຖາມທີ 2: ເປັນຫຍັງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ quartz ເກຣດ semiconductor ຈຶ່ງມີລາຄາແພງກວ່າໝໍ້ຫຸງຕົ້ມ photovoltaic ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ?

ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງລາຄາແມ່ນເກີດມາຈາກສາມປັດໄຈຫຼັກຄື: 1) ຕົ້ນທຶນວັດຖຸດິບທີ່ສູງຂຶ້ນ: ຊັ້ນໃນຂອງຕົວນຳຕ້ອງການດິນຊາຍ quartz ສັງເຄາະທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດ ຫຼື ດິນຊາຍທຳມະຊາດຊັ້ນນຳ; 2) ການຄວບຄຸມຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ເຂັ້ມງວດ: ຂີດຈຳກັດສິ່ງປົນເປື້ອນຂອງໂລຫະ (ເຊັ່ນ Fe ແລະ B) ຖືກກຳນົດໄວ້ທີ່ລະດັບ 0.1 ppm ໂດຍມີຄວາມທົນທານຕໍ່ຟອງເກືອບສູນ; 3) ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ: ຜະລິດຕະພັນຕົວນຳໄດ້ຜ່ານການສະແກນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳ 100% ແລະ ການກວດກາ SEM/ICP-MS.

ຄຳຖາມທີ 3: 'ອັດຕາສ່ວນປະລິມານຟອງ / ຟອງ' ໃນໝໍ້ແກ້ວ quartz ຖືກວັດແທກແນວໃດ?

SEMIXLAB ນຳໃຊ້ລະບົບກວດກາດ້ວຍເລເຊີແບບອັດຕະໂນມັດເພື່ອປະຕິບັດການຖ່າຍພາບ 3 ມິຕິທີ່ບໍ່ທຳລາຍຂອງຊັ້ນໂປ່ງໃສຂອງຖ້ວຍຊອດ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ການຄິດໄລ່ປະລິມານຟອງ ແລະ ອັດຕາສ່ວນປະລິມານໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນໃນຄວາມເລິກທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (ເຊັ່ນ: 0–1 ມມ, 1–3 ມມ, 3–5 ມມ).

ຄຳຖາມທີ 4: ເຕັກໂນໂລຊີ MCZ (Magnetic Czochralski) ກຳນົດຂໍ້ກຳນົດສະເພາະໃດແດ່ສຳລັບໝໍ້ຕົ້ມ quartz?

ເທັກໂນໂລຢີ MCZ ໃຊ້ສະໜາມແມ່ເຫຼັກເພື່ອສະກັດກັ້ນການພາຄວາມຮ້ອນຂອງການລະລາຍຊິລິໂຄນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມການດຶງສູງຂຶ້ນ ແລະ ເວລາຮອບວຽນທີ່ຍາວນານຂຶ້ນ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຕ້ອງການຢ່າງຮຸນແຮງຕໍ່ຄວາມຕ້ານທານການເຮັດໃຫ້ອ່ອນລົງໃນອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງຊັ້ນໃນ. ເຕົາອົບ MCZ ພິເສດຂອງ SEMIXLAB ມີຄວາມໜາຂອງຊັ້ນໂປ່ງໃສທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ ແລະ ໂຄງສ້າງຮູຂຸມຂົນຂະໜາດນ້ອຍພາຍນອກທີ່ດີທີ່ສຸດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນໃນໄລຍະຍາວ.

ຄຳຖາມທີ 5: ເວລານຳສະເໜີ ແລະ ປະລິມານສັ່ງຊື້ຂັ້ນຕ່ຳ (MOQ) ສຳລັບສະຕັອກມາດຕະຖານ ທຽບກັບ ຖ້ວຍທົດລອງທີ່ກຳນົດເອງແມ່ນຫຍັງ?

SEMIXLAB ຮັກສາສິນຄ້າຄົງຄັງມາດຕະຖານສຳລັບເຕົາອົບເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ເຕົາອົບຊັ້ນ PV ຂະໜາດ 28", 32", ແລະ 36" ເພື່ອການຈັດສົ່ງຢ່າງວ່ອງໄວ ແລະ ການກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງລູກຄ້າ. ສຳລັບຂະໜາດທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານ ຫຼື ຄວາມໜາຂອງຝາຜະໜັງທີ່ກຳນົດເອງ, ພວກເຮົາຮອງຮັບ MOQ ລະດັບ R&D ຈຳນວນໜ້ອຍ, ໂດຍມີເວລານຳສະເໜີໂດຍສະເລ່ຍ 2 ຫາ 4 ອາທິດ.

9. ສະຫຼຸບ

★ ຄວາມເຂົ້າໃຈຫຼັກ: ໃນຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ monocrystalline CZ, ຖ້ວຍທົດສອບ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເຮັດໜ້າທີ່ເປັນວັດສະດຸບໍລິໂພກໃນພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນທີ່ສຳຄັນ ເຊິ່ງຄຸນນະພາບຂອງມັນກ່ຽວຂ້ອງໂດຍກົງກັບຜົນຜະລິດຂອງແຜ່ນ wafer, ອັດຕາການສ້າງຜລຶກ, ແລະຕົ້ນທຶນການຜະລິດໂດຍລວມ.

· ການເລືອກຊັ້ນ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດ: ການນຳໃຊ້ເຊມິຄອນດັກເຕີສຸມໃສ່ສິ່ງເຈືອປົນຕ່ຳຫຼາຍ (Fe/Na/K/B) ແລະ ຊັ້ນໂປ່ງໃສທີ່ບໍ່ມີຟອງ; ການນຳໃຊ້ PV ເນັ້ນໜັກໃສ່ຄວາມຕ້ານທານການຫຍ่อนຍານທີ່ມີອາຍຸຍືນ ແລະ ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ.

· ການຮັບປະກັນໂຄງສ້າງ: ຊັ້ນໃນໂປ່ງໃສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ≥ 5 ມມ ເປັນສິ່ງກີດຂວາງຫຼັກປ້ອງກັນການລະລາຍຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນ ແລະ ການປ່ອຍຟອງ.

· ການປະເມີນຜູ້ສະໜອງ: ພິຈາລະນາຢ່າງຮອບດ້ານກ່ຽວກັບການທົດສອບຄວາມໂປ່ງໃສ, ຄວາມເປັນເອກະພາບສອງຊັ້ນ, ແລະ ການຈັບຄູ່ວິສະວະກຳທີ່ກຳນົດເອງແທນທີ່ຈະເປັນລາຄາຫົວຂໍ້ດຽວ.

ກ່ຽວກັບ SEMIXLAB

SEMIXLAB (ຍີ່ຫໍ້ພາຍໃຕ້ບໍລິສັດ Zhejiang Liufang Semiconductor Technology Co., Ltd.) ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ ແລະ ການຜະລິດວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ວັດສະດຸເຊລາມິກຂັ້ນສູງ ສຳລັບການນຳໃຊ້ກັບ semiconductor ແລະ photovoltaic. ພາລາມິເຕີທາງເທັກນິກທັງໝົດທີ່ລະບຸໄວ້ໃນບົດຄວາມນີ້ແມ່ນໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນຕາມປະສົບການໂດຍໃຊ້ອຸປະກອນວັດແທກທາງ optical ICP-MS, GDMS, ແລະ CMM.

ສຳລັບລາຍລະອຽດສະເພາະຂອງຜະລິດຕະພັນ, ການທົດສອບຕົວຢ່າງ, ຫຼື ວິທີແກ້ໄຂພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນທີ່ກຳນົດເອງ, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ທີມງານວິສະວະກຳ SEMIXLAB.

ມາດຕະຖານອ້າງອີງດ້ານວິຊາການ:

1. SEMI C19 — ຂໍ້ກຳນົດສຳລັບວັດສະດຸ Quartz ຄວາມບໍລິສຸດສູງ

2. JC/T 1048-2018 — ມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ ເຕົາອົບ Quartz ສຳລັບການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ monocrystalline

3. ISO 13320 — ການວິເຄາະຂະໜາດຂອງອະນຸພາກ - ວິທີການຫັກເຫຂອງເລເຊີ

ແບ່ງ​ປັນ

ບໍລິສັດ Semixlab Technology ຈຳກັດ ກໍ່ຕັ້ງຂຶ້ນໃນປີ 2018, ເປັນວິສາຫະກິດທີ່ອີງໃສ່ເຕັກໂນໂລຊີທີ່ສຸມໃສ່ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ, ການຜະລິດ ແລະ ການຂາຍວັດສະດຸທີ່ກ້າວໜ້າ. ມັນເປັນຜູ້ຜະລິດວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳຂອງໂລກ.

ເພີ່ມເຕີມກ່ຽວກັບເລື່ອງນີ້

ປະເພດຮ້ອນ