ທໍ່ເຕົາເຜົາແຜ່ກະຈາຍຊິລິກອນຄາໄບ

ໃນເຕົາເຜົາແຜ່ກະຈາຍແບບເຄິ່ງຕົວນຳ, ທໍ່ເຕົາເຜົາເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຫ້ອງປະຕິກິລິຍາຫຼັກບ່ອນທີ່ແຜ່ນເວເຟີຖືກສຳຜັດກັບສະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ຄວບຄຸມ ແລະ ອາຍແກັສໃນຂະບວນການ. ຄຸນນະພາບ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງທໍ່ເຕົາເຜົາມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມສະເໝີພາບຂອງອຸນຫະພູມ, ການແຈກຢາຍອາຍແກັສ, ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ, ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຂະບວນການໂດຍລວມ. ດ້ວຍຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸທີ່ດີກວ່າ, ທໍ່ເຕົາເຜົາແຜ່ກະຈາຍ SiC ຊ່ວຍໃຫ້ໂຮງງານຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຮັກສາຂະບວນການຜຸພັງ ແລະ ການແຜ່ກະຈາຍທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືໄດ້ ໃນຂະນະທີ່ປັບປຸງອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການການບຳລຸງຮັກສາ.

ທໍ່ເຕົາເຜົາແຜ່ກະຈາຍຊິລິໂຄນຄາໄບແມ່ນຫຍັງ?

ທໍ່ເຕົາແຜ່ກະຈາຍຊິລິກອນຄາໄບ ແມ່ນທໍ່ຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງທີ່ຜະລິດຈາກເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ ແລະ ນຳໃຊ້ພາຍໃນລະບົບເຕົາແຜ່ກະຈາຍເຄິ່ງຕົວນຳ. ມັນສ້າງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ສຳລັບການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີ, ຊ່ວຍໃຫ້ມີການປິ່ນປົວດ້ວຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນພາຍໃຕ້ບັນຍາກາດຂະບວນການຕ່າງໆ, ລວມທັງອົກຊີເຈນ, ໄນໂຕຣເຈນ, ໄຮໂດຣເຈນ, ໄອນ້ຳ, ແລະ ອາຍແກັສທີ່ມີສານເສີມ.

ເມື່ອປຽບທຽບກັບທໍ່ເຕົາ quartz ແບບດັ້ງເດີມ, ທໍ່ເຕົາ SiC ສະເໜີປະສິດທິພາບທີ່ດີຂຶ້ນພາຍໃຕ້ສະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງເນື່ອງຈາກ:

● ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງ

● ສະຖຽນລະພາບອຸນຫະພູມທີ່ດີເລີດ

● ຄວາມເຂັ້ມແຂງທາງກົນຈັກທີ່ດີເລີດ

● ຕ້ານທານການຜຸພັງທີ່ໂດດເດັ່ນ

● ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ

● ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີສູງ

ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ຊິລິກອນຄາໄບເປັນວັດສະດຸທີ່ເໝາະສົມສຳລັບອຸປະກອນປະມວນຜົນຄວາມຮ້ອນແບບເຄິ່ງຕົວນຳ ບ່ອນທີ່ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນ.

ທໍ່ເຕົາເຜົາແຜ່ກະຈາຍຊິລິກອນຄາໄບຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາ, ລວມທັງ:

● ການຜຸພັງດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ

● ການແຜ່ກະຈາຍສານເຈືອປົນ

● ການອົບແຫ້ງດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ

● ໄນຕຣິເດຊັນ

● ການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳໄຟຟ້າ

● ການປະມວນຜົນອຸປະກອນ SiC ແລະ GaN

ຄວາມສາມາດໃນການຮັກສາສະພາບຄວາມຮ້ອນ ແລະ ເຄມີທີ່ໝັ້ນຄົງຂອງພວກມັນເຮັດໃຫ້ພວກມັນເປັນອົງປະກອບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນອຸປະກອນປະມວນຜົນຄວາມຮ້ອນແບບເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ກ້າວໜ້າ.