Porous Graphite ສໍາລັບການເຕີບໂຕຂອງ SiC Crystal

ໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor, graphite porous ໄດ້ກາຍເປັນວັດສະດຸຄາບອນກ້າວຫນ້າທາງດ້ານທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບແລະເຄມີທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນ. Semixlab ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນ graphite porous ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງທ່ານໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ.

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງ Porous Graphite

Porous graphite ແມ່ນອີງໃສ່ວັດສະດຸ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະຖືກປຸງແຕ່ງໂດຍໃຊ້ເຕັກນິກຂັ້ນສູງເພື່ອສ້າງໂຄງສ້າງ porous ທີ່ມີໂຄງສ້າງທີ່ເປັນເອກະພາບແລະ porosity ຄວບຄຸມໄດ້. ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຕົ້ນຕໍຂອງມັນປະກອບມີ:

● ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ປະລິມານຄາບອນສູງເຖິງ 99.9%, ມີລະດັບ impurity ຕ່ໍາສຸດ.

● ຄວາມເສື່ອມທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ: ຍັງຄົງທີ່ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງແລະບັນຍາກາດທີ່ກັດກ່ອນ.

● ຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ: ສະແດງໃຫ້ເຫັນປະສິດທິພາບການສນວນກັນຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

● ການຄວບຄຸມ porosity: ສະຫນັບສະຫນູນການປັບແຕ່ງຂອງຂະຫນາດ pore ຕ່າງໆ, ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະປັບການ permeability ອາຍແກັສ.

● ຄວາມສະຖຽນຂອງຄວາມຮ້ອນ: ສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງໝັ້ນທ່ຽງພາຍໃຕ້ສະພາບທີ່ອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 2000°C.

ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ graphite porous ເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບລະບົບພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ, ອົງປະກອບ insulation, ແລະອົງປະກອບການແຜ່ກະຈາຍອາຍແກັສ, ໂດຍສະເພາະໃນ SiC single crystal furnaces, ບ່ອນທີ່ຂໍ້ໄດ້ປຽບປະສິດທິພາບຂອງຕົນເປັນທີ່ໂດດເດັ່ນໂດຍສະເພາະ.

ບົດບາດຫຼັກຂອງ Porous Graphite ໃນ Silicon Carbide Single Crystal Growth Furnaces

ຢູ່ໃນເຕົາເຜົາການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊິລິຄອນຄາໄບ (SiC) ຊັ້ນສູງ, graphite porous ມີບົດບາດສໍາຄັນ, ໂດຍມີສາມຫນ້າທີ່ທີ່ສໍາຄັນຂອງມັນແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ການເຕີບໂຕສົບຜົນສໍາເລັດຂອງໄປເຊຍກັນ SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ:

ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ຕ​່​ໍ​າ​ສະ​ຫນອງ insulation ທີ່​ດີ​ເລີດ​, ການ​ຮັກ​ສາ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ສູງ​ໃນ furnace ແລະ​ການ​ສ້າງ gradients ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ທີ່​ຊັດ​ເຈນ​.

ໃນ​ລະ​ຫວ່າງ​ການ​ຂະ​ຫຍາຍ​ຕົວ​ໄປ​ເຊຍ​ກັນ SiC, furnace ຕ້ອງ​ຮັກ​ສາ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ທີ່​ສຸດ​ເປັນ 2000 ° C ຫຼື​ສູງ​ກວ່າ. graphite porous, ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາທີ່ສຸດ, ຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍຄວາມຮ້ອນ, ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຫມັ້ນຄົງພາຍໃນຫ້ອງ furnace ໄດ້. ສິ່ງທີ່ ສຳ ຄັນກວ່ານັ້ນ, ໂດຍການອອກແບບຮູບຮ່າງເລຂາຄະນິດທີ່ຊັດເຈນແລະການແຈກຢາຍ pore ຂອງອົງປະກອບ insulation graphite porous, ມັນເປັນໄປໄດ້ທີ່ຈະສ້າງແລະຮັກສາອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນທີ່ຊັດເຈນທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກພາຍໃນ furnace. gradient ນີ້ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນກໍາລັງຂັບເຄື່ອນສໍາລັບການຂົນສົ່ງ vapor SiC ແລະການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນຕາມຄໍາສັ່ງ; ເຖິງແມ່ນວ່າການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມເລັກນ້ອຍສາມາດນໍາໄປສູ່ການຜິດປົກກະຕິໄປເຊຍກັນ. ດັ່ງນັ້ນ, insulation graphite ທີ່ມີຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາແມ່ນພື້ນຖານສໍາລັບການຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນຂອງສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ SiC.

ຄຸນລັກສະນະທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງມັນເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະປົກປ້ອງຮ່າງກາຍ furnace, ດັ່ງນັ້ນການຮັບປະກັນສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ສະອາດ.

ສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວສໍາລັບ SiC ໄປເຊຍກັນດຽວຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ສຸດ. ອຸນຫະພູມສູງພາຍໃນ furnace ບໍ່ພຽງແຕ່ເລັ່ງປະຕິກິລິຍາ, ແຕ່ຍັງອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການເຊື່ອມໂຊມຂອງວັດສະດຸຫຼືການນໍາສະເຫນີຂອງ impurities. graphite porous ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ Semixlab (High Purity Porous Graphite) ສະແດງໃຫ້ເຫັນ inertness ເຄມີພິເສດ, ຊຶ່ງຫມາຍຄວາມວ່າມັນບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາກັບແຫຼ່ງຊິລິໂຄນ, ແຫຼ່ງກາກບອນ, ຫຼືບັນຍາກາດປ້ອງກັນ (ເຊັ່ນ: argon) ທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ SiC, ເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ສູງທີ່ສຸດ. ການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງອຸນຫະພູມສູງນີ້ມີປະສິດທິພາບປົກປ້ອງໂຄງສ້າງຂອງເຕົາເຜົາທີ່ມີລາຄາແພງແລະອົງປະກອບພາຍໃນຈາກການເຊາະເຈື່ອນ, ໂດຍພື້ນຖານການກໍາຈັດຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການນໍາສະເຫນີຄວາມບໍ່ສະອາດ. ສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ສະອາດ, ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນແມ່ນເງື່ອນໄຂເບື້ອງຕົ້ນສໍາລັບການຜະລິດໄປເຊຍກັນຊິລິຄອນຄາໄບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ຫນ້າທີ່ຫຼັກແລະເປັນເອກະລັກທີ່ສຸດຂອງມັນແມ່ນຢູ່ໃນການ permeability ທີ່ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້, ເຊິ່ງອະນຸຍາດໃຫ້ອາຍແກັສ (ອາຍແກັສຂົນສົ່ງແລະປະຕິກິລິຍາໂດຍຜະລິດຕະພັນ) ກະຈາຍຢ່າງເປັນເອກະພາບແລະຫມັ້ນຄົງໂດຍຜ່ານວັດສະດຸ, ບັນລຸຄວາມສົມດູນແບບເຄື່ອນໄຫວຂອງເງື່ອນໄຂຄວາມກົດດັນຕ່ໍາພາຍໃນ furnace. ນີ້ປ້ອງກັນການປ່ຽນແປງຄວາມກົດດັນຢ່າງກະທັນຫັນແລະຄວາມປັ່ນປ່ວນ, ດັ່ງນັ້ນການຮັບປະກັນການຂົນສົ່ງທີ່ຫມັ້ນຄົງຂອງວັດສະດຸໄລຍະ vapor SiC ແລະການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໃນການໂຕ້ຕອບຂອງຜລຶກ.

ນີ້ແມ່ນຫນ້າທີ່ທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດແລະບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້ຂອງ graphite porous ໃນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ SiC. ໄປເຊຍກັນ SiC ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວແມ່ນການຂະຫຍາຍຕົວໂດຍໃຊ້ວິທີການ sublimation, ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງກັບການຂົນສົ່ງອາຍແກັສຊິລິໂຄນ - ຄາບອນໄປສູ່ຫນ້າດິນຂອງເມັດພືດໂດຍຜ່ານອາຍແກັສຂົນສົ່ງ. ການ permeability ຄວບຄຸມທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງ graphite porous ຫມາຍຄວາມວ່າໂຄງສ້າງ microporous ເຊື່ອມຕໍ່ກັນຂອງມັນອະນຸຍາດໃຫ້ອາຍແກັສຂົນສົ່ງ (ເຊັ່ນ: argon) ແລະຜົນຕອບແທນຂອງປະຕິກິລິຍາ (ເຊັ່ນ: Si ແລະ C vapor ທີ່ບໍ່ໄດ້ປະຕິກິລິຢາ) ກະຈາຍຜ່ານໃນອັດຕາທີ່ເປັນເອກະພາບແລະຫມັ້ນຄົງ. ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ຄວບຄຸມນີ້ແມ່ນສໍາຄັນຍ້ອນວ່າມັນເຮັດໃຫ້:

1. ບັນລຸຄວາມສົມດຸນແບບເຄື່ອນໄຫວໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມກົດດັນຕ່ໍາພາຍໃນ furnace: ຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນຕ່ໍາທີ່ຫມັ້ນຄົງພາຍໃນຫ້ອງ furnace ເພື່ອປ້ອງກັນການສ້າງຕັ້ງຂອງທ້ອງຖິ່ນຄວາມກົດດັນສູງຫຼືເຂດຄວາມກົດດັນທາງລົບ, ຊຶ່ງເປັນເງື່ອນໄຂທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການຂົນສົ່ງ vapor SiC.

2. ປ້ອງ​ກັນ​ການ​ປ່ຽນ​ແປງ​ຄວາມ​ກົດ​ດັນ​ກະ​ທັນ​ຫັນ​ແລະ turbulence​: ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ບໍ່ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງຢ່າງກະທັນຫັນຂອງຄວາມກົດດັນ furnace ຫຼື turbulence, ຢ່າງຮຸນແຮງ disrupting ເສັ້ນທາງສາຍສົ່ງຂອງ vapor SiC, ນໍາໄປສູ່ການສົ່ງບໍ່ສະຫມໍ່າສະເຫມີ, ແລະດັ່ງນັ້ນຈິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການຂະຫຍາຍຕົວເປັນເອກະພາບແລະຄຸນນະພາບຂອງໄປເຊຍກັນໄດ້.

3. ຮັບປະກັນການຂົນສົ່ງທີ່ຫມັ້ນຄົງຂອງວັດສະດຸໄລຍະ vapor SiC: ການແຜ່ກະຈາຍຂອງອາຍແກັສທີ່ຫມັ້ນຄົງໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າ SiC precursors (ຊິລິໂຄນແລະອາຍຄາບອນ) ສາມາດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແລະເປັນເອກະພາບໄປເຖິງຫນ້າດິນໄປເຊຍກັນຂອງເມັດ, ຫຼີກເວັ້ນການບັນຫາເຊັ່ນການສະຫນອງບໍ່ພຽງພໍຫຼືການສະສົມຫຼາຍເກີນໄປ.

4. ສົ່ງເສີມການເຕີບໂຕຂອງການໂຕ້ຕອບຜລຶກທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ: ການສົ່ງຜ່ານໄລຍະ vapor ຄົງທີ່ແມ່ນພື້ນຖານສໍາລັບການສ້າງຕົວແປ, ການໂຕ້ຕອບຜລຶກທີ່ບໍ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງ. ໂດຍການຄວບຄຸມການແຜ່ກະຈາຍຂອງອາຍແກັສທີ່ຊັດເຈນໂດຍຜ່ານ graphite porous, ຂໍ້ບົກພ່ອງເຊັ່ນ dislocations ແລະ microtubes ໃນລະຫວ່າງການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງຜລຶກສາມາດສະກັດກັ້ນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ໃນທີ່ສຸດກໍ່ໃຫ້ຜົນຕອບແທນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ຂະຫນາດໃຫຍ່, ໄປເຊຍກັນ SiC ຂະຫນາດໃຫຍ່.

ຄວາມໄດ້ປຽບຂອງຜະລິດຕະພັນ Graphite Porous ຂອງ Semixlab ແລະການຮັບປະກັນການບໍລິການ

1. ສະຫນັບສະຫນູນສໍາລັບຫຼາຍສະເພາະແລະການບໍລິການປັບແຕ່ງ

Semixlab ສາມາດປັບແຕ່ງຜະລິດຕະພັນ graphite porous ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ, ລວມທັງແຕ່ບໍ່ຈໍາກັດ:

● bricks insulation, ການປົກຫຸ້ມຂອງ insulation ຄວາມຮ້ອນ

● ແຜ່ນກະຈາຍອາຍແກັສ, ຕັນທີ່ດູດຊຶມໄດ້

● ອົງປະກອບພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນພິເສດ (ການຜະລິດແບບກໍານົດເອງສາມາດໃຊ້ໄດ້ໂດຍອີງໃສ່ຮູບແຕ້ມທີ່ສະຫນອງໃຫ້)

● ລະດັບການປັບແຕ່ງ: Porosity 10%-80%, ຄວາມຫນາ ± 0.1mm ການຄວບຄຸມຄວາມແມ່ນຍໍາ

2. ການຈັດສົ່ງຢ່າງໄວວາແລະການຫຸ້ມຫໍ່ມາດຕະຖານສູງ

ພວກເຮົາສະເຫນີລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະຫນອງທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນແລະມີປະສິດທິພາບ:

●ຮອບການຈັດສົ່ງ: ມາດຕະຖານການກໍານົດການຈັດສົ່ງພາຍໃນ 5-7 ມື້ເຮັດວຽກ; ພາກສ່ວນທີ່ກໍາຫນົດເອງສົ່ງພາຍໃນ 10-15 ມື້ຫຼັງຈາກການຢັ້ງຢືນການແຕ້ມຮູບ.

● ມາດຕະຖານການຫຸ້ມຫໍ່: ການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ປ້ອງກັນຂີ້ຝຸ່ນສູນຍາກາດ + ຜ້າກັນເປື້ອນຫຼາຍຊັ້ນເພື່ອຮັບປະກັນການຂົນສົ່ງທີ່ປອດໄພແລະບໍ່ມີການປົນເປື້ອນ.

ການເລືອກ graphite porous ຂອງ Semixlab ຫມາຍຄວາມວ່າທ່ານກໍາລັງເລືອກຄຸນນະພາບສູງ, ການປັບແຕ່ງເປັນມືອາຊີບ, ແລະການບໍລິການພິເສດ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະຮ່ວມມືກັບທ່ານເພື່ອສະຫນອງການແກ້ໄຂວັດສະດຸທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄຫມຂອງທ່ານ.