ຜະລິດຕະພັນ

graphite isostatic ຄວາມບໍລິສຸດສູງສໍາລັບ semiconductors

Name: graphite isostatic ຄວາມບໍລິສຸດສູງສໍາລັບ semiconductors
Brand: Semixlab
Price: 60.0 USD
Availability: InStock
Rating: 5 (19 reviews)

graphite isostatic ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້າທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor, ດ້ວຍຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງມິຕິລະດັບ, ແລະການປະຕິບັດທີ່ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນ, isostatic graphite ຍັງຄົງເປັນສິ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນຂະບວນການ semiconductor ກ້າວຫນ້າເຊັ່ນ MOCVD, RTP, ການແຜ່ກະຈາຍ, ແລະ SiC epitaxy. ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງເອກະພາບແລະເຄື່ອງກົນຈັກທີ່ດີເລີດເຮັດໃຫ້ການຜະລິດທີ່ຊັດເຈນຂອງອົງປະກອບທີ່ຊັບຊ້ອນ, ປະສິດທິພາບສູງ. ລໍຖ້າການປຶກສາຫາລືເພີ່ມເຕີມຂອງທ່ານ.

ສອບຖາມຂໍ້ມູນ

ລາຍລະອຽດ

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງ isostatic graphite
ຄຸນສົມບັດ	ຫນ່ວຍບໍລິການ	ຄຸນຄ່າປົກກະຕິ
ຄວາມ ໜາ ແໜ້ນ ຫຼາຍ	g / cm³	1.83
ຍາກ	HSD	58
Electrical Resistivity	μΩ.ມ	10
ຄວາມເຂັ້ມແຂງດ້ານຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ	MPa	47
Compressive Strength	MPa	103
Tensile Strength	MPa	31
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	GPa	11.8
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)	10^-6K^-1	4.6
ການປະພຶດຄວາມຮ້ອນ	ມ^-1ຄ^-1	130
ຂະຫນາດເມັດພືດສະເລ່ຍ	mm	8-10
ຄວາມບໍລິສຸດ	%	10
ເນື້ອຫາຂີ້ເທົ່າ	ppm	≤5 (ຫຼັງຈາກການບໍລິສຸດ)

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ

Semixlab graphite Isostatic ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເນື່ອງຈາກຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ໂຄງສ້າງເມັດພືດອັນດີງາມ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງເອກະພາບ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ, ແລະເຄື່ອງຈັກທີ່ດີເລີດ, ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນຜະລິດຕະພັນສໍາເລັດຮູບທີ່ສໍາຄັນແລະພາລະບົດບາດທີ່ສອດຄ້ອງກັນຂອງເຂົາເຈົ້າໃນຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນ:

Isostatic Graphite ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ Semiconductor

1. ໃນ MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)

MOCVD ເປັນຂະບວນການຫຼັກສໍາລັບການ fabricating ຊັ້ນ epitaxial ຂອງ GaN, GaAs, ແລະ SiC. Isostatic graphite ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປເພື່ອຜະລິດ:

● Susceptors: ໃຊ້ເປັນຕົວບັນຈຸ wafer ທີ່ຖືແລະ rotate wafers ພາຍໃນເຕົາປະຕິກອນ. ພວກເຂົາສະຫນອງການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ຮັບປະກັນການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial ທີ່ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວຫນ້າດິນ wafer. ໂດຍປົກກະຕິການເຄືອບດ້ວຍ CVD SiC ຫຼື TaC ເພື່ອປັບປຸງການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີແລະຍືດອາຍຸຊີວິດ.

● Wafer Carriers / Graphite Boats: ໃຊ້ໃນການໂຫຼດ wafers ຫຼາຍຄັ້ງພ້ອມກັນ. ພວກເຂົາຕ້ອງການເຄື່ອງຈັກທີ່ຊັດເຈນເພື່ອຮັກສາຄວາມຮາບພຽງຂອງ wafer ແລະຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນ.

● ອົງປະກອບຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ: ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Graphite ສະຫນອງພື້ນທີ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເປັນເອກະພາບທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບ epitaxy ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ບົດບາດສໍາຄັນ: Isostatic graphite ຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງອຸນຫະພູມ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງສານເຄມີ, ແລະຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານ, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ epitaxial.

2. ໃນ Annealing & Diffusion Furnaces

ຂັ້ນຕອນການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍ dopant, ການຜຸພັງ, ແລະການຫມູນວຽນ, ອີງໃສ່ອົງປະກອບ graphite isostatic ຫຼາຍ, ລວມທັງ:

● ເຮືອ furnace ການແຜ່ກະຈາຍ: ຖື wafers ໃນລະຫວ່າງການ annealing ອຸນຫະພູມສູງແລະການແຜ່ກະຈາຍ dopant. Graphite ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະການຜິດປົກກະຕິຫນ້ອຍພາຍໃຕ້ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ໍາຊ້ອນ.

● Liners ແລະອົງປະກອບ insulation: liners Graphite ແລະໄສ້ປ້ອງກັນຫ້ອງ furnace ຈາກການປົນເປື້ອນແລະເພີ່ມຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸນຫະພູມ.

●ທໍ່ແລະອົງປະກອບຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ: ໃຊ້ເປັນເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນແລະສອດຄ່ອງ.

ບົດບາດສໍາຄັນ: ອົງປະກອບ graphite isostatic ຊ່ວຍໃຫ້ການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ແລະຊ້ໍາກັນ, ສໍາຄັນສໍາລັບການກະຕຸ້ນ dopant ແລະການຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກພ່ອງ.

3. ໃນ SiC Epitaxy (ການຂະຫຍາຍຕົວ 4H-SiC, 6H-SiC)

ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial SiC ຕ້ອງການອຸນຫະພູມສູງສຸດ (> 1500 ° C) ແລະສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ. Isostatic graphite ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອ fabricate:

● SiC-coated Susceptors: ສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນ substrate ໃນໄລຍະ SiC epitaxy, ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງພື້ນຜິວພາຍໃຕ້ສະພາບທີ່ຮ້າຍໄປ.

● Graphite Paddles & Wafer Holders: ຮັບປະກັນ wafers ໃນລະຫວ່າງການຫມຸນແລະການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ, ຮັບປະກັນອັດຕາການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ເປັນເອກະພາບແລະຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນ.

● ອົງປະກອບທໍ່ຂະບວນການ: ຊິ້ນສ່ວນ graphite ໂຄງສ້າງພາຍໃນເຄື່ອງປະຕິກອນ epitaxy ທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸກຮານໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມບໍລິສຸດ.

ບົດບາດສໍາຄັນ: Isostatic graphite ໃນ SiC epitaxy ສະຫນອງຄວາມແມ່ນຍໍາມິຕິມິຕິ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ແລະການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ທີ່ມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່ຜົນຜະລິດ wafer ແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຮູບເງົາ epitaxial.

ໃນຖານະເປັນຜູ້ສະຫນອງຊັ້ນນໍາຂອງ graphite isostatic ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໃນປະເທດຈີນ, Semixlab ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ກ້າວຫນ້າແລະວິທີແກ້ໄຂດ້ານວິຊາການສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ພວກເຮົາຍິນດີຕ້ອນຮັບການສອບຖາມຂອງທ່ານໄດ້ທຸກເວລາແລະຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ.