TaC Coated LED epi susceptor

TaC coated LED epi susceptor ຮັບຮອງເອົາເຕັກໂນໂລຢີການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊິ່ງຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສໍາລັບອຸປະກອນ MOCVD (ການລະບາຍສານເຄມີຂອງໂລຫະອິນຊີ) ແລະເຫມາະສົມສໍາລັບຂະບວນການເກັບຮັກສາອຸນຫະພູມສູງຂອງ wafers epitaxial LED. ຜະລິດຕະພັນມີຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ເຊິ່ງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນມົນລະພິດແລະການຫຼົ່ນລົງຂອງອະນຸພາກຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ແລະຍືດອາຍຸການບໍລິການ. ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການປັບປຸງຜົນຜະລິດ LED epitaxial wafer ແລະປະສິດທິພາບການຜະລິດ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ:

TaC coated LED epi susceptor ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສໍາລັບອຸປະກອນ MOCVD ແລະຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍໃນການຜະລິດ wafer LED epitaxial, ໂດຍສະເພາະແມ່ນສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial ຂອງ gallium nitride (GaN) ສີຟ້າແລະ ultraviolet LEDs. ມັນຍັງສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດຂອງອຸປະກອນ semiconductor ພະລັງງານ SiC / GaN ແລະເຫມາະສົມສໍາລັບ CVD, MBE ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະການທົດລອງການເກັບຮັກສາວັດສະດຸອື່ນໆໃນສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາວິທະຍາສາດ.

ການ​ບໍ​ລິ​ການ​ທີ່​ສາ​ມາດ​ສະ​ຫນອງ​ໃຫ້​:

ການວິເຄາະສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງລູກຄ້າ, ອຸປະກອນການຈັບຄູ່, ການແກ້ໄຂບັນຫາດ້ານວິຊາການ.

ປະ​ຫວັດ​ບໍ​ລິ​ສັດ:

Semixlab ມີ 2 ຫ້ອງທົດລອງ, ທີມງານຜູ້ຊ່ຽວຊານທີ່ມີປະສົບການ 20 ປີຂອງວັດສະດຸ, ມີ R & D ແລະຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດ, ການທົດສອບແລະການກວດສອບ.

ພາລາມິເຕີດ້ານວິຊາການ

ຂົງເຂດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍ

ການຮັບຮອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ລະບົບນິເວດ

Semixlab TaC coated LED epi susceptor ການກວດສອບລະບົບຕ່ອງໂສ້ນິເວດວິທະຍາກວມເອົາວັດຖຸດິບໃນການຜະລິດ, ໄດ້ຜ່ານການຢັ້ງຢືນມາດຕະຖານສາກົນ, ແລະມີຈໍານວນຂອງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມີສິດທິບັດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແລະຄວາມຍືນຍົງໃນ semiconductor ແລະຂົງເຂດພະລັງງານໃຫມ່.

ຂະບວນການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທົ່ວໄປ

ການກະກຽມວັດຖຸດິບ (ການກວດກາ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ) → Substrate Fabrication (ການກົດ Isostatic) → ຂະບວນການເຄືອບ TaC (ການຝາກ CVD) → Post-Processing (Precision polishing) → ການກວດສອບຄຸນນະພາບ → ການຫຸ້ມຫໍ່ & ການຈັດສົ່ງ

ເນື່ອງຈາກເທກໂນໂລຍີ LED ພັດທະນາໄປສູ່ຂະຫນາດທີ່ນ້ອຍກວ່າແລະຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ສູງຂຶ້ນເຊັ່ນ Mini LED ແລະ Micro LED, ຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຕ້ອງການການຄວບຄຸມຂະບວນການຂອງອຸປະກອນ MOCVD ແມ່ນສູງຂຶ້ນ. ການສົ່ງເສີມຂອງ TaC coated LED epi susceptor ບໍ່ພຽງແຕ່ສາມາດປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງການຜະລິດ LED ທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ, ແຕ່ຍັງໃຫ້ພື້ນຖານການຜະລິດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ຫຼາຍສໍາລັບການຜະລິດຕໍ່ໄປຂອງເຕັກໂນໂລຊີການສະແດງ.

ສໍາລັບລາຍລະອຽດດ້ານວິຊາການ, ເອກະສານສີຂາວ, ຫຼືການຈັດການການທົດສອບຕົວຢ່າງ, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ທີມງານສະຫນັບສະຫນູນດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາເພື່ອຄົ້ນຫາວິທີການທີ່ Semixlab ສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການຂອງທ່ານ.

Semixlab TaC coated LED epi susceptor ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກ

ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ

TaC-coated LED susceptors epitaxial ແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸ tantalum carbide ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຫມັ້ນຄົງເປັນເວລາດົນນານໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຂ້າງເທິງ 1200 ° C. ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງຂອງຂະບວນການ MOCVD, ການເຄືອບຈະບໍ່ແຕກຫຼືລອກອອກ, ຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial ແລະປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ.

ການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດ

ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດຂອງ wafers epitaxial LED, susceptor ຕ້ອງໄດ້ຮັບການສໍາຜັດກັບສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສ corrosive ເຊັ່ນ H2 ແລະ NH3 ເປັນເວລາດົນນານ. ການເຄືອບ TaC ມີຄວາມ inertness ສານເຄມີທີ່ເຂັ້ມແຂງທີ່ສຸດແລະປະສິດທິພາບສາມາດຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນຂອງອາຍແກັສແລະຫຼີກເວັ້ນການ impurities ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການຜຸພັງຫຼືຕິກິຣິຍາ, ດັ່ງນັ້ນການຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດແລະປະສິດທິພາບ optoelectronic ຂອງ wafer epitaxial.

ການຜິດປົກກະຕິຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ

ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງການເຄືອບ TaC ແມ່ນກົງກັນສູງກັບຂອງ substrate graphite, ແລະ susceptor ສາມາດຮັກສາອັດຕາການຜິດປົກກະຕິຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາທີ່ສຸດເຖິງແມ່ນວ່າໃນເວລາທີ່ອຸນຫະພູມເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງໄວວາແລະຫຼຸດລົງ. ຄຸນນະສົມບັດນີ້ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການ warping epitaxial wafer ໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ຮັບປະກັນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ epitaxial ເປັນເອກະພາບ, ແລະປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຜະລິດຕະພັນ.

ພື້ນຜິວສູງ

ພື້ນຜິວ susceptor ແມ່ນ polished ຊັດເຈນ, ມີຄວາມ roughness ຄວບຄຸມຕ່ໍາກວ່າ 0.5μm, ປະສິດທິພາບການຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການຜິດປົກກະຕິໃນໄລຍະການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial. ພື້ນຜິວກ້ຽງຍັງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຫມັ້ນລະຫວ່າງ wafer epitaxial ແລະ susceptor, ເຮັດໃຫ້ມັນງ່າຍຕໍ່ການເອົາ wafer ແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການແຕກຫັກຂອງ wafer.

ການອອກແບບຊີວິດຍາວ

ເມື່ອປຽບທຽບກັບ susceptors graphite ແບບດັ້ງເດີມ, ການເຄືອບ TaC ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີກວ່າ, ແລະຊີວິດການບໍລິການຂອງມັນສາມາດເພີ່ມຂຶ້ນຫຼາຍກ່ວາ 3 ເທົ່າ. ນີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນການບໍລິໂພກ, ແຕ່ຍັງຫຼຸດຜ່ອນການເຫນັງຕີງຂອງຂະບວນການທີ່ເກີດຈາກອາຍຸ susceptor, ເຊິ່ງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນໄລຍະຍາວ.