EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
ວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ AMAT ແຫວນ quartz
Semixlab AMAT Quartz Rings ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນແລະເພີ່ມຄວາມສົມບູນຂອງຂະບວນການ. ມີປະສົບການ etching, deposition, ແລະການແຜ່ກະຈາຍຄວາມເປັນເອກະພາບທີ່ເຫນືອກວ່າ, ນໍາໄປສູ່ການຄວບຄຸມຂະບວນການທີ່ບໍ່ສາມາດປຽບທຽບໄດ້ແລະຄວາມສອດຄ່ອງ. ນີ້ແປວ່າຂໍ້ບົກພ່ອງຫນ້ອຍ, ຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແລະໃນທີ່ສຸດ, ວົງຈອນການຜະລິດປະສິດທິພາບຫຼາຍສໍາລັບ fab ຂອງທ່ານ.
ລາຍລະອຽດ
Semixlab ສະຫນອງແຫວນ quartz ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ຜະລິດຕະພັນນີ້ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຮັບປະກັນການເກັບຮັກສາທີ່ຫມັ້ນຄົງຂອງຮູບເງົາທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໃນຂະບວນການ PECVD, ໃນຂະນະທີ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດອຸປະກອນແລະຜົນຜະລິດຂອງ wafers. ການແຜ່ກະຈາຍຂອງ plasma ແມ່ນຖືກຈໍາກັດໂດຍຄວາມຖືກຕ້ອງທາງເລຂາຄະນິດ (± 0.1mm), ພາກສະຫນາມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສຕິກິຣິຍາແມ່ນ optimized, ແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຮູບເງົາໄດ້ຖືກປັບປຸງເປັນ σ≤1.5%. ຂະບວນການ adsorption by-products ໄດ້ຫຼຸດລົງອັດຕາການຜິດປົກກະຕິຂອງ wafer 30%.
Quick Detail:
ຊື່ຫຼິ້ນ: ວົງແຫວນ Quartz, ຕົວນຳແຜ່ນ Si, ຊຸດວົງແຫວນ Quartz, ຊຸດວົງແຫວນ Quartz, ວົງແຫວນຫ້ອງເທິງ, ວົງແຫວນສະສົມ PECVD, ວົງແຫວນແຈກຢາຍອາຍແກັສ
ຈຸດປະສົງ: ຮັບປະກັນການວາງຟິມທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຢ່າງໝັ້ນຄົງໃນຂະບວນການ PECVD, ພ້ອມທັງເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດຂອງອຸປະກອນ ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງແຜ່ນເວເຟີໃຫ້ສູງສຸດ.
ພາລາມິເຕີຫຼັກ: ແນະນຳໂດຍສະເພາະສຳລັບຂະບວນການວາງ SiN (ຊິລິຄອນໄນໄຕຣດ), ຫີນຄວດສ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ແລະ ສາມາດໃຫ້ບໍລິການເຄືອບພິເສດໄດ້. ມັນສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ 300 ຫາ 400 ℃+, ຕ້ານການກັດເຊາະຂອງພລາສມາ, ດ້ວຍຄວາມບໍລິສຸດຂອງຫີນຄວດສ໌ ≥99.99%, ປະລິມານໂລຫະທີ່ປົນເປື້ອນໜ້ອຍກວ່າ 5ppm, ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຟອງ/ການລວມ ≤0.1 ມມ, ແລະ ຈຳນວນ ≤3 ຕໍ່ຊັງຕີແມັດກ້ອນ.
ຫນ້າທີ່ແລະພາລະບົດບາດຕົ້ນຕໍ:
●ອົງປະກອບຫຼັກຂອງຫ້ອງ: ຕັ້ງຢູ່ພາຍໃນຫ້ອງຂະບວນການ PECVD, ພວກມັນປະກອບເປັນຂອບເຂດທີ່ສຳຄັນຂອງພື້ນທີ່ປະຕິກິລິຍາ.
●ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ພລາສມາ: ເຮັດດ້ວຍຫີນ Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມັນມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ (ອຸນຫະພູມຂະບວນການ PECVD ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນຢູ່ໃນລະດັບ 300°C ຫາ 400°C+) ແລະ ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດເຊາະຂອງພລາສມາ.
●ການແຍກໄຟຟ້າ/ການປ້ອງກັນ: ມັນມີບົດບາດສຳຄັນໃນການປ້ອງກັນໄຟຟ້າພາຍໃນຫ້ອງ, ຮັບປະກັນການສ້າງພລາສມາທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຂະບວນການ.
●ການປະທັບຕາອາຍແກັສໃນຂະບວນການ: ຊ່ວຍໃນການຮັກສາການປະທັບຕາຂອງສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສໃນຂະບວນການພາຍໃນຫ້ອງ.
●ຄໍານິຍາມຂອງສະພາບແວດລ້ອມຂອງຂະບວນການແຜ່ນເວເຟີ: ຮູບຮ່າງເລຂາຄະນິດ ແລະ ສະພາບພື້ນຜິວຂອງມັນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ການແຈກຢາຍຂອງກະແສອາຍແກັສ ແລະ ພລາສມາທີ່ຢູ່ເໜືອແຜ່ນເວເຟີ, ເຊິ່ງມີຄວາມສໍາຄັນຕໍ່ຄວາມເປັນເອກະພາບ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງການວາງຊັ້ນຟິມບາງໆ.
●ການເຄືອບພື້ນຜິວ: ແຫວນ quartz ບາງອັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການສະເພາະ (ເຊັ່ນ SiN) ອາດຈະຖືກເຄືອບດ້ວຍສານເຄືອບພິເສດ (ເຊັ່ນ yttrium oxide Yttria) ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການຕົກຕະກອນຂອງຜະລິດຕະພັນຮ່ວມ ຫຼື ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານພາຍໃຕ້ຂະບວນການສະເພາະ.
ອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ AMAT quartz ring ສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ
ບໍລິການຂອງພວກເຮົາ
ຮ້ານຂາຍຜະລິດຕະພັນ Semixlab
