SiC Coated graphite heater ສໍາລັບ MOCVD

ລາຍະລະອຽດຂອງສິນຄ້າ

ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ SiC Coated Graphite MOCVD ປະສົມປະສານການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງ graphite ກັບອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງສານເຄືອບ SiC, ແລະຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸປະກອນການລະບາຍອາຍພິດຂອງສານເຄມີໂລຫະ (MOCVD) ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມບໍລິສຸດສູງໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ wafer epitaxy.

SiC Coated Graphite MOCVD ຄຸນສົມບັດຜະລິດຕະພັນເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ

1. ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີ

ຄວາມບໍລິສຸດ ≥99.99995%: ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Graphite ຂອງພວກເຮົາຖືກກະກຽມພາຍໃຕ້ chlorination ອຸນຫະພູມສູງໂດຍຜ່ານຂະບວນການ CVD, ເຊິ່ງປະສິດທິຜົນຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນຂອງໂລຫະແລະຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດທີ່ສຸດໃນການຜະລິດ semiconductor.

ຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ: ຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະຄວາມແຂງຂອງສານເຄືອບ SiC (ຄວາມແຂງຂອງ Vickers ຂອງ 2500-2800) ສາມາດຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນຂອງອາຊິດ, ເປັນດ່າງ, ເກືອແລະສານລະລາຍອິນຊີ, ເຊິ່ງ prolongs ຊີວິດການບໍລິການຂອງອຸປະກອນໃນສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສ corrosive.

2. ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ

ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ: ມັນສາມາດທົນໄດ້ເຖິງ 3000 ° C ໃນບັນຍາກາດ inert, ການດໍາເນີນງານທີ່ຫມັ້ນຄົງສູງເຖິງ 2200 ° C ໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ແລະ 1600-1700 ° C ໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜຸພັງ, ທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບເງື່ອນໄຂທີ່ຮ້າຍຂອງຫ້ອງຕິກິຣິຍາ MOCVD.

ຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (4.5 x 10-⁶K-¹): ຄຸນນະສົມບັດນີ້ຂອງ MOCVD Graphite Heater ປະສິດທິພາບຫຼຸດຜ່ອນການຮອຍແຕກຂອງເຄືອບຫຼືການປອກເປືອກເນື່ອງຈາກການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ, ຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງພາຍໃຕ້ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນໃນໄລຍະຍາວ.

3. ປະສິດທິພາບການຈັດການຄວາມຮ້ອນທີ່ດີທີ່ສຸດ

ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ (200-300 W/mK): ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Graphite MOCVD ກໍານົດວ່າຜະລິດຕະພັນສາມາດໂອນຄວາມຮ້ອນໄດ້ໄວແລະເປັນເອກະພາບເພື່ອບັນລຸການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມຫນ້າດິນ wafer ທີ່ສອດຄ່ອງ (± 1 ° C), ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial.

Laminar Gas Flow Design: ຫຼັງຈາກ iteration ເຕັກໂນໂລຊີຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແລະການຍົກລະດັບ, MOCVD ພື້ນຜິວ Heater smoothness ຂອງພວກເຮົາ (Ra ≤ 0.8μm) ແລະ geometry optimization ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍເປັນເອກະພາບຂອງທາດອາຍຜິດ reactive ແລະຫຼຸດຜ່ອນ deposition ທີ່ບໍ່ເປັນເອກະພາບທີ່ເກີດຈາກ turbulence.

ການປຽບທຽບພາລາມິເຕີດ້ານວິຊາການແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບ

ເປັນຫຍັງ Semixlab?

ການປັບແຕ່ງ: Semixlab ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ກໍາຫນົດເອງແລະການບໍລິການດ້ານວິຊາການໃຫ້ກັບລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາ. ພວກເຮົາສະຫນັບສະຫນູນການປັບແຕ່ງຂະຫນາດທີ່ບໍ່ແມ່ນມາດຕະຖານ (ເສັ້ນຜ່າກາງເຖິງ 360 ມມ) ແລະຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບ (20-500μm) ເພື່ອຮອງຮັບຄວາມຕ້ອງການອຸປະກອນທີ່ຫລາກຫລາຍ.

ການຢັ້ງຢືນທົ່ວໂລກ: ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Graphite Coated SiC ຂອງພວກເຮົາແມ່ນປະຕິບັດຕາມ SEMI, ISO 9001 ໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນ, ແລະຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຖືກສົ່ງອອກໄປເອີຣົບແລະສະຫະລັດ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບຍີ່ປຸ່ນແລະເກົາຫຼີໃຕ້, ດ້ວຍຜົນປະໂຫຍດດ້ານລາຄາ / ການປະຕິບັດທີ່ສໍາຄັນ.

ການຮ່ວມມືທາງດ້ານວິຊາການ: Semixlab ໄດ້ຮັກສາການຮ່ວມມືຢ່າງໃກ້ຊິດກັບສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາຊັ້ນນໍາໃນປະເທດຈີນມາດົນນານ, ໂດຍນໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີການເຄືອບທີ່ມີສິດທິບັດ (ເຊັ່ນຂະບວນການ SiC³ ຂອງ CGT Carbon) ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງເຄືອບແລະການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນ.