0200-35223 ແຫວນເຊລາມິກ

ແຫວນເຊລາມິກ AMAT 0200-35223 ແມ່ນຢູ່ໃນໝວດໝູ່ຂອງແຫວນເຊລາມິກຫ້ອງເຄິ່ງຕົວນຳ plasma ທີ່ປະສົມປະສານເຂົ້າກັບລະບົບການແກະສະຫຼັກ ແລະ ການວາງຊັ້ນທີ່ກ້າວໜ້າ. ໂຄງສ້າງ, ມັນຖືກອອກແບບເປັນອົງປະກອບວົງແຫວນທີ່ວິສະວະກຳທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ເຊິ່ງຕັ້ງຢູ່ໃກ້ກັບພື້ນທີ່ປະມວນຜົນແຜ່ນ wafer, ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນອ້ອມຮອບ electrostatic chuck (ESC), ພື້ນທີ່ກັກເກັບ plasma, ຫຼື ເຂດປ່ຽນແປງຂອບຫ້ອງ.

ເຖິງແມ່ນວ່າຈະມີຮູບລັກສະນະກະທັດຮັດ, ແຕ່ບົດບາດຂອງມັນພາຍໃນຫ້ອງແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ. ໃນລະຫວ່າງການປະມວນຜົນພລາສມາ, ພາກພື້ນຂອບເວເຟີຈະປະສົບກັບການພົວພັນທີ່ສັບສົນລະຫວ່າງພາກສະໜາມ RF, ເສັ້ນທາງໄອອອນ, ແລະ ການແຈກຢາຍຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພລາສມາ. ຖ້າບໍ່ມີການປັບແຕ່ງຫ້ອງທີ່ເໝາະສົມ, ການພົວພັນເຫຼົ່ານີ້ສາມາດນຳໄປສູ່ຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງໂປຣໄຟລ໌ຂອບ, ແລະ ພຶດຕິກຳການແກະສະຫຼັກ ຫຼື ການວາງຊັ້ນທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ.

ວົງແຫວນເຊລາມິກເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວຄວບຄຸມພລາສມາທີ່ເຮັດວຽກໄດ້ລະຫວ່າງເວເຟີ ແລະ ໂຄງສ້າງຫ້ອງອ້ອມຂ້າງ. ໂດຍການມີອິດທິພົນຕໍ່ການແຈກຢາຍສະໜາມໄຟຟ້າໃນທ້ອງຖິ່ນ ແລະ ເຮັດໃຫ້ສະພາບພລາສມາຢູ່ໃກ້ກັບຂອບເວເຟີມີຄວາມໝັ້ນຄົງ, ມັນຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການຫ້ອງໂດຍລວມ ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງເວເຟີ.

ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງແຫວນເຊລາມິກ 0200-35223

ໜຶ່ງໃນໜ້າທີ່ທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດຂອງວົງແຫວນເຊລາມິກ 0200-35223 ແມ່ນການຄວບຄຸມຂອບຂອງພລາສມາ. ໃນຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ກ້າວໜ້າ, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພລາສມາໃກ້ກັບຂອບເວເຟີສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ການຄວບຄຸມຂະໜາດທີ່ສຳຄັນ, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງໂປຣໄຟລ໌, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການໂດຍລວມ. ວົງແຫວນເຊລາມິກຊ່ວຍຈັດການການແຈກຢາຍພລາສມາໃກ້ກັບພື້ນທີ່ຂອບ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງຂະບວນການ ແລະ ປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງເວເຟີ.

ສ່ວນປະກອບດັ່ງກ່າວຍັງປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນສະຖຽນລະພາບຂອງພາກສະໜາມ RF ພາຍໃນຫ້ອງ. ເນື່ອງຈາກພຶດຕິກຳຂອງ plasma ກ່ຽວຂ້ອງຢ່າງໃກ້ຊິດກັບການແຈກຢາຍຄວາມຕ້ານທານ ແລະ ການສ້າງເປືອກ, ຮູບຮ່າງເລຂາຄະນິດ ແລະ ຄຸນສົມບັດໄດອີເລັກຕຣິກຂອງວົງແຫວນເຊລາມິກມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່ການແຈກຢາຍພະລັງງານໄອອອນ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງການເຊື່ອມຕໍ່ plasma. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ວົງແຫວນເຊລາມິກເປັນອົງປະກອບຫ້ອງທີ່ສຳຄັນທີ່ວິສະວະກຳ RF ແທນທີ່ຈະເປັນໂຄງສ້າງກົນຈັກແບບ passive.

ໜ້າທີ່ສຳຄັນອີກອັນໜຶ່ງແມ່ນການປົກປ້ອງຫ້ອງ. ໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານຂອງພລາສມາທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ຝາຫ້ອງ ແລະ ສ່ວນປະກອບໃກ້ຄຽງຈະຖືກສຳຜັດກັບການລະເບີດຂອງໄອອອນທີ່ຮຸນແຮງ ແລະ ຊະນິດພລາສມາທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ. ວົງແຫວນເຊລາມິກເຮັດໜ້າທີ່ເປັນກຳແພງປ້ອງກັນ, ຫຼຸດຜ່ອນການສຳຜັດກັບພລາສມາໂດຍກົງກັບໂຄງສ້າງຫ້ອງທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວ ແລະ ຊ່ວຍຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ວົງແຫວນເຊລາມິກຍັງຮອງຮັບຍຸດທະສາດການຫຼຸດຜ່ອນອະນຸພາກພາຍໃນຫ້ອງ. ເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວທີ່ດີທີ່ສຸດຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງດ້ານການປົນເປື້ອນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການສີດພົ່ນ, ການກັດເຊາະ, ແລະ ການລະບາຍອາຍພິດ, ເຊິ່ງມີຄວາມສຳຄັນໂດຍສະເພາະໃນໂຫນດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ກ້າວໜ້າບ່ອນທີ່ຄວາມທົນທານຕໍ່ອະນຸພາກມີຄວາມເຂັ້ມງວດເພີ່ມຂຶ້ນ.