ວົງແຫວນປ້ອງກັນການເຄືອບ TaC

ວົງແຫວນປ້ອງກັນການເຄືອບ TaC ຂອງ Semixlab ແມ່ນອົງປະກອບຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ ແລະ ການຄວບຄຸມການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ທີ່ອອກແບບມາສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການ epitaxy ຂອງ semiconductor ແລະ CVD. ໃນສະພາບແວດລ້ອມເຫຼົ່ານີ້, ຄວາມສະເໝີພາບຂອງແຜ່ນ wafer, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີຂອງຫ້ອງ, ແລະ ຄວາມທົນທານຂອງວັດສະດຸ ກຳນົດຜົນຜະລິດການຜະລິດ ແລະ ເວລາເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນໂດຍກົງ. ວົງແຫວນປ້ອງກັນການໄຫຼຂອງອາຍແກັສນີ້ ຕັ້ງຢູ່ອ້ອມຮອບຂອບແຜ່ນ wafer ຫຼື ຂອບເຂດຂອງ substrate, ເຊິ່ງເຮັດໜ້າທີ່ເປັນອຸປະກອນສ້າງຮູບຮ່າງການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ສຳຄັນໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ Si, SiC, ແລະ GaN epitaxial, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມການແຈກຢາຍສານຕັ້ງຕົ້ນຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນ ແລະ ຄວາມສົມດຸນຂອງສະໜາມຄວາມຮ້ອນຂອງໜ້າແຜ່ນ wafer ໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ.

ໃນຫ້ອງ epitaxial ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ບ່ອນທີ່ໄຮໂດຣເຈນ, ອາຍແກັສທີ່ມີຄລໍຣີນ, ໄຮໂດຄາບອນ, ແລະແອມໂມເນຍມີປະຕິກິລິຍາຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມໃກ້ ຫຼື ເກີນ 1500 °C, ຄວາມສົມບູນຂອງການເຄືອບຂອງຮາດແວຫ້ອງຈະກາຍເປັນປັດໄຈສຳຄັນໃນການກຳນົດຄຸນນະພາບຂອງຟິມບາງໆ. Tantalum carbide (TaC), ດ້ວຍຈຸດລະລາຍສູງຫຼາຍປະມານ 3880 °C ແລະ ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີທີ່ໂດດເດັ່ນ, ໃຫ້ສິ່ງກີດຂວາງປ້ອງກັນທີ່ໝັ້ນຄົງຕໍ່ກັບການເສື່ອມສະພາບຂອງວັດສະດຸ, ການລອກໜ້າດິນ, ຫຼື ການປົນເປື້ອນຂອງໂລຫະ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມການວາງຊັ້ນທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ຕະຫຼອດວົງຈອນການຜະລິດທີ່ຍາວນານ.

ຜ່ານກົນໄກການບິດເບືອນກະແສລົມຂອງມັນ, ວົງແຫວນປ້ອງກັນການເຄືອບ TaC ຈະເຮັດໃຫ້ຊັ້ນເຂດແດນຂອງອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາມີຄວາມໝັ້ນຄົງ, ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງຄວາມໜາຂອງຂອບ, ຈຳກັດການສະສົມຂອງຟິມຫຼາຍຊັ້ນທີ່ເປັນປາສິດ, ແລະ ປົກປ້ອງແຜ່ນແພຈາກການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກທີ່ເກີດຈາກຝາຫ້ອງ ຫຼື ການສວມໃສ່ຂອງຮາດແວ. ສະຖຽນລະພາບຂອງລະດັບຄວາມໄວຂອງກະແສລົມນີ້ແມ່ນສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງ epitaxial ເຊັ່ນ: ການເຄື່ອນທີ່ຂອງລະນາບພື້ນຖານ, ຮອຍແຕກຂອງການວາງຊ້ອນກັນ, ການເປັນຮູ, ແລະ ຄວາມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຂອບຟິມ.

ໃນໂມດູນຂະບວນການ CVD ແລະ ALD, ການສຳຜັດກັບສານຕັ້ງຕົ້ນທີ່ກັດກ່ອນ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ເສີມດ້ວຍ plasma ຊ້ຳໆສາມາດນຳໄປສູ່ການກັດກ່ອນຂອງອົງປະກອບຂອງຫ້ອງທີ່ບໍ່ໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວ, ໃນຂະນະທີ່ພື້ນຜິວທີ່ເຄືອບດ້ວຍ TaC ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນໄສ້ປ້ອງກັນທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີ, ຮັກສາຄວາມສະອາດຂອງຫ້ອງ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການບຳລຸງຮັກສາ, ແລະ ຫຼຸດຕົ້ນທຶນການເປັນເຈົ້າຂອງທັງໝົດສຳລັບໂຮງງານຜະລິດແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີປະລິມານສູງ. ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ມີຮູພຸນຕ່ຳຂອງການເຄືອບຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການຫຼົ່ນຂອງອະນຸພາກ ແລະ ປ້ອງກັນການແຕກຂອງຜລຶກທີ່ເກີດຈາກການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ວົງຈອນການດຳເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໂດຍບໍ່ມີການປະນີປະນອມຄວາມສົມບູນຂອງຫ້ອງ ຫຼື ຄວາມສະອາດຂອງແຜ່ນເວເຟີ.

ວົງແຫວນໂຄ້ງເຄືອບ Semixlab TaC ແມ່ນຜະລິດຕາມມາດຕະຖານການຍຶດຕິດເຄືອບທີ່ຄວບຄຸມ ແລະ ມາດຕະຖານການກວດສອບຄວາມໜາແໜ້ນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມແຂງແຮງຂອງການຍຶດຕິດທີ່ສອດຄ່ອງ, ຄວາມສະເໝີພາບຂອງຄວາມໜາ, ແລະ ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຂະບວນການໃນທົ່ວເວທີເຕົາເຜົາ epitaxial ແລະ ຟິມບາງຕ່າງໆ. ໂດຍການລວມເອົາປະສິດທິພາບຂອງວັດສະດຸ, ວິສະວະກຳການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ, ແລະ ການອອກແບບທີ່ເນັ້ນຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື, ການປະກອບວົງແຫວນໂຄ້ງເຄືອບ Semixlab TaC ໄດ້ກາຍເປັນອົງປະກອບສຳຄັນໃນການບັນລຸປະສິດທິພາບໃນໄລຍະຍາວ, ຜົນຜະລິດແຜ່ນເວເຟີສູງ, ແລະ ຄວາມຢືດຢຸ່ນໃນການດຳເນີນງານໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳລຸ້ນຕໍ່ໄປ. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.