ບົດບາດຂອງຕົວຮັບແສງທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ໃນຂະບວນການ Epitaxy LED ຂອງ Veeco

ສະພາບແວດລ້ອມ epitaxy LED ເປັນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮ້ອນ ແລະ ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຫຼາຍ, ແລະ ການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍຂອງສະພາບແວດລ້ອມຈະສົ່ງຜົນໃຫ້ຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນ wafer ແຕກຕ່າງກັນ. ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນເປັນສ່ວນສຳຄັນທີ່ຢູ່ໃນເຕົາປະຕິກອນ. ມັນສະໜັບສະໜູນແຜ່ນ wafer ໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxy, ມັນຍັງມີບົດບາດສຳຄັນຫຼາຍໃນການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນໃຫ້ກັບແຜ່ນ wafer ທັງໝົດຢ່າງເທົ່າທຽມກັນ. ລະບົບ epitaxy LED Veeco ສ່ວນໃຫຍ່ໃຊ້ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນ graphite ທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC. ການເຄືອບ SiC ສາມາດປົກປ້ອງ graphite ຈາກການເສຍຫາຍຈາກຄວາມຮ້ອນ ແລະ ສານເຄມີ, ແລະ ໃຫ້ຄຸນນະພາບ LED ທີ່ເປັນເອກະພາບ.

ວິທີການເຄືອບ SiC CVD ປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີທາງຄວາມຮ້ອນໃນເຄື່ອງມື Veeco EPIK

ການຮັກສາ wafer ໄວ້ໃນອຸນຫະພູມທີ່ເໝາະສົມໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ LED ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແມ່ນການພິຈາລະນາທີ່ສຳຄັນ. ນີ້ Cvd sic ການເຄືອບສ້າງພື້ນຜິວທີ່ລຽບນຽນແລະໝັ້ນຄົງຢູ່ເທິງຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນແກຣໄຟທ໌ເຊິ່ງແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ LED SiC.

ເຖິງແມ້ແຕ່ເວລາທີ່ບໍ່ມີ ການເຄືອບ Cvd sic ເມື່ອໃຊ້, ການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍພາຍໃນ graphite ແຕ່ລະອັນສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມແຕກຕ່າງໃນລັກສະນະການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນຂອງພື້ນຜິວ, ແນວໃດກໍ່ຕາມ, ດ້ວຍການເຄືອບ CVD SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງກວ່າ, ລັກສະນະການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນຂອງພື້ນຜິວຈະເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ ແລະ ດັ່ງນັ້ນໂປຣໄຟລ໌ຄວາມຮ້ອນຈຶ່ງເປັນເອກະພາບຫຼາຍຂຶ້ນ. ໂຮງງານແຫ່ງໜຶ່ງມີບັນຫາກ່ຽວກັບຄວາມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີຂອງສີໃນທົ່ວແຜ່ນເວເຟີ, ເຊິ່ງເກີດຈາກຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີໃນທົ່ວພື້ນຜິວຂອງມັນ. ແນວໃດກໍ່ຕາມ, ການໃຊ້ CVD SiC ທີ່ໜາກວ່າ ແລະ ມີຄຸນນະພາບສູງກວ່າ ແລະ CVD TaC ການເຄືອບໄດ້ເອົາຊະນະຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບນີ້.

ຄວາມບໍ່ສົມບູນແບບຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ຮອຍຂີດຂ່ວນຂອງການເຄືອບ SiC CVD ແລະ ວັດຖຸດິບ CVD SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງ ອາດຈະເພີ່ມຄວາມແຕກຕ່າງກັນ ເນື່ອງຈາກພວກມັນສ້າງອັດຕາການເຕີບໂຕຂອງວັດສະດຸທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ, ຫຼື 'ຈຸດຮ້ອນ' ທີ່ເປັນໄປໄດ້ຢູ່ເທິງໜ້າຜິວເຄືອບ. ຜູ້ຜະລິດຫຼາຍຄົນກວດສອບການສວມໃສ່ ແລະ ຮອຍແຕກເປັນປະຈຳໂດຍການສັງເກດສະຖານະຂອງຊັ້ນເຄືອບ SiC CVD ຫຼັງຈາກຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນຊຸດໜຶ່ງ. ຕົວຮັບຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນອາດຈະຖືກໝຸນຕະຫຼອດຂະບວນການ CVD ເພື່ອເພີ່ມຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ຄວາມທົນທານຂອງຊັ້ນເຄືອບ SiC CVD.

ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ການນໍາໃຊ້ການເຄືອບ SiC CVD ບໍ່ສາມາດກໍາຈັດການປ່ຽນແປງທັງໝົດໄດ້ ແຕ່ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນໄປໄດ້ຫຼາຍຂຶ້ນທີ່ຈະຜະລິດວັດສະດຸພື້ນຖານສໍາລັບການຜະລິດ LED ໃນຂະໜາດໃຫຍ່ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

ໜ້າທີ່ຂອງຕົວຮັບແສງກຣາໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໃນ LED Epitaxy

ຕົວຮັບນ້ຳໜັກຮອງຮັບ ແລະ ຮັກສາແຜ່ນເວເຟີໃຫ້ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ໝັ້ນຄົງໃນຂະນະທີ່ຊັ້ນຜລຶກເຕີບໃຫຍ່. ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວ ແກຣໄຟທ໌ (Graphite) ຖືກນໍາໃຊ້, ແລະ ໃນຄວາມເປັນຈິງແລ້ວ ຄວນໃຊ້ແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ເພາະມັນສາມາດໃຊ້ໃນອຸນຫະພູມທີ່ສູງຫຼາຍ ແລະ ຈະບໍ່ບິດເບືອນ.

ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງນີ້ຊ່ວຍໃນການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນຈາກອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນໄປຫາແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ຮັກສາອຸນຫະພູມແຜ່ນເວເຟີໃຫ້ໝັ້ນຄົງໃນຂະນະທີ່ຊັ້ນດັ່ງກ່າວກຳລັງເຕີບໃຫຍ່. ເນື່ອງຈາກການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມເລັກນ້ອຍເຮັດໃຫ້ການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກມີການປ່ຽນແປງ ມັນຄວນຈະຄົງທີ່ເທົ່າທີ່ຈະເປັນໄປໄດ້.

ຄວາມບໍລິສຸດເປັນປັດໄຈສຳຄັນໃນແກຣໄຟທ໌ທີ່ໃຊ້. ແກຣໄຟທ໌ທີ່ປົນເປື້ອນມີໂລຫະ ແລະ ສິ່ງເຈືອປົນອື່ນໆ ເຊິ່ງຈະຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນໃນລະຫວ່າງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຕົກຄ້າງຢູ່ເທິງແຜ່ນເວເຟີ ເຮັດໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງຜລຶກ.

ຜູ້ຜະລິດບາງຄົນສັງເກດເຫັນການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງໄຟ LED ທີ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງໂດຍໃຊ້ແກຣໄຟຟຣেইດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດໜ້ອຍ. ແກຣໄຟຟຣেইດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ການກວດກາທີ່ເຂັ້ມງວດກວ່າໄດ້ໃຫ້ຜົນໄດ້ຮັບທີ່ດີກວ່າ. ບັນຫາອີກອັນໜຶ່ງແມ່ນຄວາມຮາບພຽງຂອງຕົວຮັບແສງ.

ຫຼັງຈາກຮອບວຽນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມເຢັນຫຼາຍຄັ້ງ, ຕົວຮັບອາດຈະຜິດຮູບ. ການບິດເບືອນນີ້ມີຜົນກະທົບຕໍ່ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ ແລະ ຕຳແໜ່ງຂອງແຜ່ນແພ, ເຊິ່ງທັງສອງສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງການເຕີບໂຕຂອງຊັ້ນ.

ການຫຼຸດຜ່ອນບັນຫາຂອງອະນຸພາກໃນ Epitaxy ຜ່ານການອອກແບບພື້ນຜິວທີ່ດີທີ່ສຸດ

ບັນຫາອະນຸພາກສ່ວນໃຫຍ່ເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍໜ້າຜິວທີ່ຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆ ແລະ ອາຍແກັສສຳຜັດກັນ. ຕົວຮັບ, ຊັ້ນໃນ ແລະ ອື່ນໆ ສາມາດປ່ອຍອະນຸພາກອອກມາເທື່ອລະກ້າວເມື່ອໜ້າຜິວຂອງມັນມີຮອຍຂີດຂ່ວນ ຫຼື ເສື່ອມສະພາບ.

ໃນອາຍແກັສຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ຮອຍແຕກນ້ອຍໆ ຫຼື ການສວມໃສ່ຂອງຊັ້ນເຄືອບສາມາດຜະລິດຊິ້ນສ່ວນນ້ອຍໆທີ່ຈະເດີນທາງຜ່ານເຕົາປະຕິກອນ ແລະ ຕົກຄ້າງຢູ່ເທິງແຜ່ນເວເຟີ. ດ້ວຍເສັ້ນຜ່າສູນກາງທີ່ໃຫຍ່ພໍສົມຄວນ, ອະນຸພາກໜຶ່ງອັນຢູ່ເທິງໜ້າແຜ່ນເວເຟີໜຶ່ງອັນຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງໜຶ່ງອັນຢູ່ເທິງ LED ສຸດທ້າຍ.

ຄວາມລຽບນຽນຈະຫຼຸດຜ່ອນໂອກາດໃນການປ່ອຍອະນຸພາກ, ແນວໃດກໍ່ຕາມມັນຄວນຈະສາມາດທົນທານຕໍ່ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ຳໆໄດ້. ບາງຊັ້ນເຄືອບອາດຈະເບິ່ງຄືວ່າມີພື້ນຜິວທີ່ດີໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງ ໃນຂະນະທີ່ມັນພັດທະນາຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍຫຼັງຈາກແລ່ນຫຼາຍຄັ້ງ. ບັນຫາອະນຸພາກມັກຈະເກີດຂຶ້ນເທື່ອລະກ້າວເມື່ອຊິ້ນສ່ວນເຄືອບຖືກສວມໃສ່.

ສຳລັບຊິ້ນສ່ວນຂະບວນການຫຼາຍຢ່າງ, ຄວາມເສຍຫາຍແມ່ນຢູ່ທີ່ຂອບເພາະວ່າສ່ວນນີ້ສຸມຄວາມກົດດັນສູງສຸດ. ໂດຍການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ, ຄວາມໜາຂອງເຄືອບ ແລະ ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງຄວາມກົດດັນຢູ່ຂອບ, ພວກເຮົາສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການສວມໃສ່ໄດ້.

ສະນັ້ນ, ເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ຊັ້ນເຄືອບລອກອອກຫຼັງຈາກແລ່ນແຕ່ລະຄັ້ງ, ການຜູກມັດຂອງຊັ້ນເຄືອບ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນແກຣໄຟຕ້ອງດີ. ການກວດກາເປັນປະຈຳໃນແສງສະຫວ່າງສົດໃສ ຫຼື ການເກັບຕົວຢ່າງອາດຈະເປັນການເຕືອນກ່ຽວກັບບັນຫາທີ່ກຳລັງພັດທະນາເຫຼົ່ານີ້.

ການປຽບທຽບກຣາໄຟທ໌ເປົ່າ ແລະ ຕົວຮັບແສງທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ໃນການຜະລິດໄຟ LED

ໃນຂະນະທີ່ທັງຕົວຮັບແສງທີ່ເຄືອບດ້ວຍກຣາໄຟທ໌ເປົ່າ ແລະ ເຄືອບດ້ວຍ SiC ຖືກນຳໃຊ້ໃນການຜະລິດໄຟ LED, ແຕ່ພວກມັນປະຕິບັດແຕກຕ່າງກັນຫຼາຍໃນຕົວກຳນົດການປະຕິບັດງານຂອງພວກມັນ.

ເຫດຜົນທີ່ໃຊ້ກຣາໄຟດເປົ່າແມ່ນຍ້ອນວ່າມັນມີປະສິດທິພາບໃນການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນ ແລະ ມີພື້ນທີ່ຜິວໜ້າທີ່ເປີດເຜີຍຂະໜາດໃຫຍ່ເພື່ອຮັບຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ມີການປ່ອຍອະນຸພາກທີ່ຂ້ອນຂ້າງຊ້າຈາກໜ້າຜິວຂອງມັນຫຼັງຈາກແລ່ນສອງສາມຊົ່ວໂມງ, ເຖິງແມ່ນວ່າມັນມີຂໍ້ເສຍອື່ນໆ. ສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນ, ການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຂ້ອນຂ້າງບໍ່ດີ ແລະ ພື້ນທີ່ຜິວທີ່ສູງເຮັດໃຫ້ມັນມີປະຕິກິລິຍາຕໍ່ກັບອາຍແກັສພາຍໃນຫ້ອງຫຼາຍຂຶ້ນ ແລະ ດັ່ງນັ້ນຈະປ່ອຍອະນຸພາກອອກມາດ້ວຍຄວາມໄວສູງ, ເຖິງແມ່ນວ່າການສະສົມທີ່ຊ້ານີ້ແມ່ນການແລກປ່ຽນໃນຫຼາຍໆກໍລະນີ.

ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ເອົາຊະນະບັນຫາເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ດ້ວຍການເພີ່ມການເຄືອບປ້ອງກັນແຂງ.

ສາມາດເບິ່ງໂຮງງານຜະລິດ LED ທີ່ເຮັດວຽກໃນປະລິມານສູງຕະຫຼອດວົງຈອນການຜະລິດທີ່ຕ້ອງການການປ່ຽນແປງທີ່ຍາວນານ. ໂຮງງານຜະລິດບາງແຫ່ງພົບວ່າໃນໄລຍະເວລາການເຮັດວຽກທີ່ຍາວນານກັບ graphite ເປົ່າ, ການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງແຜ່ນ wafer ຄ່ອຍໆເກີດຂຶ້ນຫຼັງຈາກວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຫຼາຍໆຄັ້ງ. ພື້ນຜິວຂອງຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນເບິ່ງຄືວ່າຈະພັດທະນາຊ້າໆ ແລະ ດັ່ງນັ້ນການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນຈຶ່ງບໍ່ໝັ້ນຄົງຫຼາຍຂຶ້ນ.

ການນໍາໃຊ້ຕົວຮັບຄວາມຊຸ່ມທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ສໍາລັບການດໍາເນີນງານໄລຍະຍາວຫມາຍຄວາມວ່າການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງແຜ່ນເວເຟີນີ້ແມ່ນມີໜ້ອຍລົງ, ເຊັ່ນ: ດ້ວຍໂຮງງານດຽວ, ການປ່ຽນໄປໃຊ້ແຜ່ນເຄືອບດ້ວຍ SiC ຫມາຍຄວາມວ່າສາຍຂອງພວກມັນບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງຖືກປັບປ່ຽນເລື້ອຍໆເມື່ອປ່ຽນຈາກກຸ່ມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

ສາມາດກວດສອບຄຸນສົມບັດທາງຄວາມຮ້ອນໄດ້. ແກຣໄຟທ໌ເປົ່າເບິ່ງຄືວ່າຈະພັດທະນາລະດັບຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງມັນ. ນີ້ຄິດວ່າເປັນປັດໄຈຂອງການປ່ຽນແປງທີ່ຊ້າໆຂອງໜ້າດິນ ແລະ ຍັງເປັນປັດໄຈຂອງອົງປະກອບທີ່ບໍ່ຮູ້ຈັກບາງຢ່າງຂອງການເຄືອບ.

ການເຄືອບ SiC ຈະລັອກພື້ນຜິວ, ມັນຢຸດການປ່ຽນແປງທີ່ເກີດຂຶ້ນ, ຊຶ່ງໝາຍຄວາມວ່າການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນແມ່ນຄົງທີ່. ຜົນກະທົບທີ່ມີຕໍ່ LED ແມ່ນວ່າຖ້າຊັ້ນທີ່ປູກຂຶ້ນກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ, ຄວາມຍາວຄື້ນ/ຄວາມສະຫວ່າງກໍ່ຈະປ່ຽນແປງເຊັ່ນກັນ.

ການໃຊ້ຕົວຮັບອະນຸພາກທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ແມ່ນມີຂໍ້ເສຍຕາມທຳມະຊາດ; ລາຄາຂອງມັນ ແລະ ເຖິງແມ່ນວ່າພວກມັນບໍ່ມີອະນຸພາກ, ແຕ່ພວກມັນຈະປ່ອຍອະນຸພາກອອກມາຖ້າພວກມັນແຕກ, ແລະ ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງສາມາດນຳເອົາອະນຸພາກເຂົ້າມາແທນທີ່ຈະຫຼຸດຜ່ອນພວກມັນ.

ສະນັ້ນ, ຕ້ອງມີຂັ້ນຕອນການຕິດຕາມກວດກາ ແລະ ບຳລຸງຮັກສາຢ່າງລະມັດລະວັງໃນການເຄືອບຂອງພວກມັນ ເພື່ອປ້ອງກັນການເສື່ອມສະພາບກ່ອນທີ່ຂໍ້ບົກຜ່ອງຈະເກີດຂຶ້ນ, ເຖິງແມ່ນວ່າດ້ວຍການໃຊ້ເຄືອບທີ່ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ ພວກມັນຄວນຈະຢູ່ໄດ້ໄລຍະໜຶ່ງ, ເຊິ່ງໃນຈຸດນັ້ນພວກມັນຈະຖືກປ່ຽນແທນ.

ຍຸດທະສາດການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ການທຳຄວາມສະອາດສຳລັບອາໄຫຼ່ Veeco ທີ່ມີອາຍຸການໃຊ້ງານຍາວນານ

ການຮັກສາຊິ້ນສ່ວນ Veeco ໃຫ້ຢູ່ໃນສະພາບດີຈະຊ່ວຍເພີ່ມອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆ ແລະ ຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ epitaxy. ສານຕົກຄ້າງຈະສະສົມໄປຕາມການເວລາໃນຕົວຮັບສັນຍານ, ຊັ້ນໃນ ແລະ ວົງແຫວນທີ່ເຄືອບ. ການສະສົມຂອງສານຕົກຄ້າງ, ເຖິງແມ່ນວ່າຈະເປັນຊັ້ນບາງໆຄືກັບຊັ້ນທີ່ສາມາດລະບຸໄດ້, ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການຕອບສະໜອງຄວາມຮ້ອນທົ່ວພື້ນຜິວ ແລະ ເຮັດໃຫ້ຂະບວນການບໍ່ດີ.

ວິສະວະກອນຄົນໜຶ່ງລາຍງານວ່າເຫັນຄວາມສະຫວ່າງຂອງ LED ທີ່ບໍ່ເທົ່າກັນ ຫຼື ຜົນອອກມາຂອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ບໍ່ດີ ແລະ ຫຼັງຈາກນັ້ນໄດ້ກວດສອບສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ເປັນແຫຼ່ງຂອງບັນຫາ. ຄວນມີການພັດທະນາຂັ້ນຕອນການທຳຄວາມສະອາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນສຳລັບວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ຊິ້ນສ່ວນແກຣໄຟຟຼາທີທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງບໍ່ຄວນຖືກສຳຜັດກັບສານເຄມີທີ່ມີສີຂັດ ຫຼື ວິທີການຂັດຂັດ ເພາະວ່າວິທີການເຫຼົ່ານີ້ສາມາດເຮັດໃຫ້ຊິ້ນສ່ວນເສື່ອມສະພາບໄດ້.

ສາຍການຜະລິດຫຼາຍສາຍໃຊ້ວິທີເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍພລາສມາຕາມເວລາ ຫຼື ວິທີທາງເຄມີທີ່ອະນຸລັກຫຼາຍກວ່າເພື່ອກຳຈັດສິ່ງເສດເຫຼືອ. ມັນຍັງມີຄວາມສຳຄັນທີ່ຈະຕ້ອງຈັດການກັບຊິ້ນສ່ວນທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ຢ່າງລະມັດລະວັງ. ເຖິງແມ່ນວ່າຊິ້ນສ່ວນນີ້ມີຄວາມແຂງແຮງພໍສົມຄວນ, ແຕ່ຮອຍບຸບ ແລະ ຮອຍຂີດຂ່ວນທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການເຮັດຄວາມສະອາດໃນທີ່ສຸດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຮອຍແຕກນ້ອຍໆ ເຊິ່ງສາມາດເປັນແຫຼ່ງທີ່ມາຂອງອະນຸພາກ. ສາຍການຜະລິດໜຶ່ງໄດ້ແກ້ໄຂບັນຫານີ້ໂດຍການໃຊ້ວັດສະດຸເຮັດຄວາມສະອາດທີ່ອ່ອນກວ່າ ແລະ ພັດທະນາເຕັກນິກການຈັດການທີ່ດີກວ່າສຳລັບຊິ້ນສ່ວນເຫຼົ່ານີ້.

ການຄຸ້ມຄອງອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆກໍ່ຍັງເກີດຂຶ້ນຫຼັງຈາກການເຮັດຄວາມສະອາດ. ພຽງແຕ່ການສະແກນໄວໆເພື່ອຊອກຫາການປ່ຽນສີ, ຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ ຫຼື ຄວາມເງົາງາມທີ່ກະຈາຍບໍ່ສະເໝີພາບສາມາດກວດພົບຫຼັກຖານທຳອິດຂອງຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆໄດ້. ໂຮງງານຜະລິດຫຼາຍແຫ່ງໃຊ້ການຕິດຕາມກວດກາວົງຈອນຊີວິດການໃຊ້ງານຂອງຊິ້ນສ່ວນແທນທີ່ຈະອີງໃສ່ການປ່ຽນຊິ້ນສ່ວນໂດຍອີງໃສ່ຄວາມລົ້ມເຫຼວ. ຊິ້ນສ່ວນດັ່ງກ່າວຈະຖືກປ່ຽນກ່ອນທີ່ບັນຫາຈະເຫັນໄດ້ຊັດເຈນ.

ການເກັບຮັກສາກໍ່ມັກຖືກປະເມີນຄ່າຕໍ່າເກີນໄປ. ເຖິງແມ່ນວ່າຈະສະອາດ, ແຕ່ຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆກໍ່ປົນເປື້ອນດ້ວຍຝຸ່ນ ແລະ ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໄດ້ງ່າຍເມື່ອເກັບຮັກສາໄວ້ໃນບ່ອນທີ່ເປີດ ແລະ ຄວນປິດໃຫ້ສະນິດໃນພາຊະນະທີ່ສະອາດກ່ອນການນຳໃຊ້ຄັ້ງຕໍ່ໄປ.

ເມື່ອເວລາຜ່ານໄປ ມັນເຫັນໄດ້ຊັດເຈນວ່າກຸນແຈສຳຄັນຕໍ່ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານຂອງຊິ້ນສ່ວນແມ່ນສິ່ງເລັກໆນ້ອຍໆ, ປະຕິບັດໄດ້ຢ່າງໜ້າເຊື່ອຖືທຸກໆມື້. ວ່າວິທີການທີ່ອ່ອນໂຍນຂອງຂະບວນການທຳຄວາມສະອາດ, ການຈັດການທີ່ລະມັດລະວັງ, ແລະ ການຕິດຕາມກວດກາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຊິ້ນສ່ວນສາມາດມີອິດທິພົນຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນຂະບວນການ epitaxy ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.