ທໍ່ກະຈາຍ quartz ຄວາມບໍລິສຸດສູງ

Semixlab High Purity Quartz Diffusion Tube ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບຂະບວນການຄວາມຮ້ອນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໃນການຜະລິດ semiconductor, ລວມທັງການຜຸພັງ, ການແຜ່ກະຈາຍ dopant, ແລະການຫມຸນ.

ຜະລິດຈາກຊິລິກາຟິວສິກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງພິເສດ (≥99.99% SiO₂), ແຕ່ລະທໍ່ຖືກອອກແບບເພື່ອໃຫ້ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງສານເຄມີພິເສດ, ການປົນເປື້ອນຫນ້ອຍທີ່ສຸດ, ແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນ - ຮັບປະກັນຜົນໄດ້ຮັບການປຸງແຕ່ງ wafer ທີ່ສອດຄ່ອງໃນຄວາມຕ້ອງການສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງສະອາດ.

ບໍ່ວ່າຈະປະສົມປະສານເຂົ້າໄປໃນເຕົາເຜົາກະຈາຍຕາມແນວຕັ້ງຫຼືແນວນອນ, ທໍ່ quartz ຂອງ Semixlab ແມ່ນມີຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຖືກທົດສອບຢ່າງລະອຽດເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງ IC, LED, MEMS, ແລະການຜະລິດອຸປະກອນພະລັງງານ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນຂະບວນການ Semiconductor

1. ການ Oxidation ຄວາມຮ້ອນ

ໃນເຕົາເຜົາການຜຸພັງຄວາມຮ້ອນ, ທໍ່ກະຈາຍ quartz ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຫ້ອງຕິກິຣິຍາຕົ້ນຕໍທີ່ wafers ຊິລິຄອນຖືກສໍາຜັດກັບອາຍ O₂ ຫຼື H₂O ໃນອຸນຫະພູມສູງ (900-1150 ° C).

● ສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມອົກຊີເຈນທີ່ສະອາດ ແລະຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງ SiO₂ ເປັນເອກະພາບ.

●ກໍາຈັດການປົນເປື້ອນ ion ໂລຫະ, ຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນຂອງ dielectric ສູງສໍາລັບປະຕູຮົ້ວແລະການແຍກອອກຊິເຈນ.

ທໍ່ການແຜ່ກະຈາຍ quartz ຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ wafer

2. ການແຜ່ກະຈາຍ dopant

ທໍ່ກະຈາຍ Quartz ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອກະຈາຍປະລໍາມະນູ dopant (ເຊັ່ນ: phosphorus ຫຼື boron) ເຂົ້າໄປໃນ substrate ຊິລິຄອນເພື່ອສ້າງ profile junction ທີ່ຕ້ອງການ.

● ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງສານເຄມີທີ່ດີເລີດປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນໃນລະຫວ່າງປະຕິກິລິຍາ POCl₃ ຫຼື BBr₃.

● ຮັກສາຄວາມບໍລິສຸດສູງເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນບັນຍາກາດທີ່ໃຊ້ halogen.

3. ຂະບວນການ Annealing ແລະ Drive-In

ຫຼັງ​ຈາກ​ການ​ປູກ​ຝັງ​ຫຼື​ການ​ຊຶມ​ເຊື້ອ ion​, wafers ໄດ້​ຮັບ​ການ​ລະ​ອຽດ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ສູງ​ເພື່ອ​ກະ​ຕຸ້ນ dopants ແລະ​ສ້ອມ​ແປງ​ຄວາມ​ເສຍ​ຫາຍ​ຂອງ lattice​.

● ທໍ່ Quartz ສະຫນອງຫ້ອງລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ມີສານປົນເປື້ອນຕ່ໍາເພື່ອໃຫ້ຜົນໄດ້ຮັບທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະສາມາດແຜ່ພັນໄດ້.

● ເຫມາະສໍາລັບທັງສະພາບແວດລ້ອມ N₂ ແລະກອບເປັນຈໍານວນອາຍແກັສ.

4. LPCVD ແລະ R&D ການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນ

ໃນ LPCVD ຂະຫນາດນ້ອຍຫຼື furnaces ຄົ້ນຄ້ວາ, ທໍ່ກະຈາຍ quartz ສາມາດຮັບໃຊ້ເປັນທັງຕິກິຣິຍາແລະຫ້ອງບັນຈຸ.

● ເຫມາະສໍາລັບການຝາກຂອງ polysilicon, silicon nitride, ແລະ oxide films.

● ຮັບປະກັນການສ້າງອະນຸພາກທີ່ຕໍ່າ ແລະສາມາດເຮັດຊ້ຳໄດ້ສູງຕະຫຼອດການແລ່ນ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບ Semixlab

1. ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ & ການຕິດຕາມ

ທຸກໆທໍ່ quartz ແມ່ນຜະລິດຈາກຊິລິກາທີ່ບໍລິສຸດທີ່ສຸດທີ່ໄດ້ມາຈາກຜູ້ສະຫນອງທີ່ໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນ. ບົດ​ລາຍ​ງານ​ການ​ວິ​ເຄາະ ICP-MS ແມ່ນ​ມີ​ຢູ່​ຕາມ​ການ​ຮ້ອງ​ຂໍ​, ການ​ຮັບ​ປະ​ກັນ​ການ​ກວດ​ສອບ​ຂອງ​ແຕ່​ລະ batch​.

2. Precision Manufacturing & Customization

Semixlab ສະເຫນີການອອກແບບທີ່ກໍາຫນົດເອງເພື່ອຕອບສະຫນອງຂະຫນາດຂອງ furnace ສະເພາະ, ໂປຣໄຟລ໌ຄວາມຮ້ອນ, ແລະຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ລູກຄ້າຕ້ອງການ.

ຕົວເລືອກປະກອບມີ:

● ການຕັ້ງຄ່າທໍ່ແນວຕັ້ງ ຫຼືແນວນອນ

● ເສັ້ນຜ່າສູນກາງທີ່ປັບແຕ່ງໄດ້, ຄວາມຫນາຂອງຝາ, ແລະ flanges ທ້າຍ

● ສໍາເລັດຮູບທີ່ຂັດ ຫຼື etched

● ການອອກແບບການຈັດການພິເສດສໍາລັບຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຫຼາຍແຜ່ນ

3. ການທົດສອບຢ່າງເຂັ້ມງວດ & ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ

ແຕ່ລະທໍ່ກະຈາຍຜ່ານການກວດສອບມິຕິລະດັບ, ການທົດສອບຄວາມສົມບູນຂອງພື້ນຜິວ, ແລະການຈໍາລອງຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນກ່ອນການຂົນສົ່ງ. ນີ້ຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບລະບົບ furnace ການແຜ່ກະຈາຍຊັ້ນນໍາຂອງອຸດສາຫະກໍາເຊັ່ນ TEL, Kokusai, Centrotherm, ແລະ ASM.