ທຸກຫມວດຫມູ່
Graphite
Rigid Graphite ຮູ້ສຶກ
Graphite Rigid Felt
Rigid Graphite ຮູ້ສຶກ
Graphite Rigid Felt

Rigid Graphite ຮູ້ສຶກ


ຜະລິດຈາກກາຟິກຄາບອນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, Semixlab Rigid Graphite Felt ແມ່ນວັດສະດຸ insulation ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງໄປເຊຍກັນ SiC ຜ່ານວິທີການ PVT. ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ຕໍ່າ​ສຸດ​ຂອງ​ມັນ​ເຮັດ​ໃຫ້​ແນ່​ໃຈວ່​າ​ການ​ຄວບ​ຄຸມ​ທີ່​ຊັດ​ເຈນ​ຂອງ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ radial ແລະ​ຕາມ​ແກນ​, ໃນ​ຂະ​ນະ​ທີ່​ໂຄງ​ປະ​ກອບ​ການ​ແຂງ​ຂອງ​ມັນ​ຮັກ​ສາ​ຄວາມ​ຫມັ້ນ​ຄົງ​ກົນ​ຈັກ​ພາຍ​ໃຕ້​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ທີ່​ຮ້າຍ​ແຮງ​ເກີນ 2000 ° C​. ໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍຄວາມຮ້ອນແລະການຮັກສາພື້ນທີ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບປະມານ crucible sublimation, RGF ຫຼຸດຜ່ອນການເຄື່ອນທີ່ຂອງຍົນພື້ນຖານ, ຄວາມຜິດຂອງ stacking, ແລະການສ້າງ micropipe, ສົ່ງຜົນໃຫ້ boules 4H- ແລະ 6H-SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ລາຍລະອຽດ

Semixlab Rigid Graphite Felt (RGF) ແມ່ນວິສະວະກໍາເປັນ insulation ອຸນຫະພູມສູງທີ່ສໍາຄັນແລະອົງປະກອບການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ທາງດ້ານຮ່າງກາຍ Vapor Transport (PVT) ຂອງໄປເຊຍກັນ SiC ດຽວ. ອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນການຜະລິດ wafer 4H- ແລະ 6H-SiC ລຸ້ນຕໍ່ໄປ, ຄວາມຮູ້ສຶກທີ່ແຂງກະດ້າງນີ້ປະສົມປະສານການນໍາຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາສຸດ, ຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງສູງ, ແລະຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີພິເສດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸພື້ນຖານໃນເຕົາເຜົາ SiC sublimation ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງມັນຮັບປະກັນການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງ gradients ຄວາມຮ້ອນ, ເງື່ອນໄຂການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບໄປເຊຍກັນໃນທົ່ວວົງຈອນການຜະລິດໃນໄລຍະຍາວ.

ໃນຂະບວນການ SiC PVT, ການຮັກສາພື້ນທີ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ສອດຄ່ອງແລະເປັນເອກະພາບແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດທີ່ຈະບັນລຸໄດ້ໄປເຊຍກັນດຽວທີ່ບໍ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງ. The Graphite Rigid Felt ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນ insulation furnace ຕົ້ນຕໍ, ອ້ອມຂ້າງ crucible sublimation ແລະໂຄງສ້າງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ. ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ຕ​່​ໍ​າ​ຂອງ​ຕົນ​ຫຼຸດ​ຜ່ອນ​ການ​ສູນ​ເສຍ​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ທີ່​ບໍ່​ຕ້ອງ​ການ​, ການ​ຮັກ​ສາ gradient ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ເປົ້າ​ຫມາຍ​ລະ​ຫວ່າງ​ແຫຼ່ງ SiC ແລະ​ໄປ​ເຊຍ​ກັນ​ເມັດ​. ໂດຍການຄວບຄຸມຮູບແບບອຸນຫະພູມ radial ແລະ axial, RGF ຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງຕັ້ງຂອງ dislocations ຍົນພື້ນຖານ, stacking faults, ແລະ micropipes, ຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງແລະປະສິດທິພາບເອເລັກໂຕຣນິກຂອງ wafers SiC ຜົນໄດ້ຮັບ.

ນອກເຫນືອຈາກຄວາມສາມາດຂອງສນວນກັນຄວາມຮ້ອນຂອງມັນ, ໂຄງສ້າງທີ່ແຂງຂອງ graphite ຂອງ Semixlab ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງກົນຈັກໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເກີນ 2000 ° C. ບໍ່ເຫມືອນກັບຄວາມຮູ້ສຶກທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນຫຼືອ່ອນໆ, RGF ຮັກສາຮູບຮ່າງຂອງມັນພາຍໃຕ້ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ຍາວນານ, ປ້ອງກັນການລົ້ມລົງຫຼືການຜິດປົກກະຕິທີ່ສາມາດລົບກວນພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນຫຼືການປະນີປະນອມຕະຫຼອດຊີວິດຂອງເຕົາ. inertness ສານເຄມີຂອງມັນຮັບປະກັນການປ່ອຍອະນຸພາກຫນ້ອຍແລະຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນຂອງ boule SiC, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດ substrates ຕ້ານທານສູງສໍາລັບເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອຸປະກອນກ້ວາງ bandgap.

ຜະລິດໂດຍໃຊ້ graphitic carbon ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະເຕັກນິກການສ້າງຄວາມຫນາແຫນ້ນແບບພິເສດ, Semixlab Graphite Rigid Felt ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງເອກະພາບ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິທີ່ດີເລີດ, ແລະຄວາມທົນທານໃນໄລຍະຍາວ. ການປະສົມປະສານຂອງປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຄັ່ງຄັດຂອງກົນຈັກເຮັດໃຫ້ fabs semiconductor ບັນລຸອັດຕາການເຕີບໂຕທີ່ສອດຄ່ອງ, ໂປຼໄຟລ໌ອຸນຫະພູມທີ່ສາມາດແຜ່ພັນໄດ້, ແລະການຫຼຸດຜ່ອນເວລາຫຼຸດລົງໃນລະບົບ PVT. ໂດຍການເພີ່ມປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນຂອງ furnace, RGF ຍັງປະກອບສ່ວນໃນການປະຫຍັດພະລັງງານໃນຂະນະທີ່ເພີ່ມຄວາມສອດຄ່ອງຂອງ wafer ແລະຜົນຜະລິດ.

Semixlab's Rigid Graphite Felt ສະຫນອງການປະຕິບັດ, ຄວາມບໍລິສຸດ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກດຽວ SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ໃຫ້ຜູ້ຜະລິດທີ່ມີການແກ້ໄຂວັດສະດຸທີ່ເຂັ້ມແຂງສໍາລັບການຜະລິດ wafer ຮຸ່ນຕໍ່ໄປ, ອາຍຸຂອງເຕົາ, ແລະການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

ບໍລິການຂອງພວກເຮົາ

ຮ້ານຂາຍຜະລິດຕະພັນ Semixlab

undefined

ສອບຖາມຂໍ້ມູນ

ປະເພດຮ້ອນ