ແຫວນປະທັບຕາກຣາໄຟດໄອໂຊສະແຕຕິກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ແຫວນປະທັບຕາກຣາໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຈາກ Semixlab ແມ່ນຜະລິດຈາກແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນພິເສດ, ແຫວນປະທັບຕາເຫຼົ່ານີ້ໃຫ້ປະສິດທິພາບການປະທັບຕາທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ມີການປົນເປື້ອນຕ່ຳ ເຊິ່ງສະໜັບສະໜູນໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການ, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຜົນຜະລິດ, ແລະ ເວລາເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນໃນທົ່ວຂະບວນການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີດ້ານໜ້າຂັ້ນສູງ.

ໃນລະບົບ epitaxy, ບ່ອນທີ່ການຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຄວາມກົດດັນ, ແລະ ຄວາມສະເໝີພາບທາງຄວາມຮ້ອນແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນ, ວົງແຫວນປະທັບຕາກາຟຣາຍທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ Semixlab ມີບົດບາດສຳຄັນໃນການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງເຄື່ອງປະຕິກອນໃນອຸນຫະພູມທີ່ຍືນຍົງມັກຈະເກີນ 1000 °C. ຕິດຕັ້ງຢູ່ທີ່ໜ້າຕ່າງຂອງຫ້ອງ, ຂອບເຂດປະທັບຕາ, ແລະ ຂໍ້ຕໍ່ທີ່ໝຸນ ຫຼື ຢຸດນິ້ງພາຍໃນເຂດຮ້ອນ, ວົງແຫວນປະທັບຕາເຫຼົ່ານີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ ແລະ ໄອໂຊໂທຣປິກ, ຊ່ວຍໃຫ້ພວກມັນຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິໃນລະຫວ່າງການໝຸນວຽນຄວາມຮ້ອນຊ້ຳໆ. ປະລິມານສິ່ງປົນເປື້ອນໂລຫະທີ່ຕ່ຳເປັນພິເສດຂອງພວກມັນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການລວມຕົວຂອງສານເສີມໂດຍບໍ່ຕັ້ງໃຈ ຫຼື ການປົນເປື້ອນໂລຫະ, ຊ່ວຍຮັບປະກັນຄວາມໜາຂອງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ສະເໝີພາບ, ໂປຣໄຟລ໌ການເສີມທີ່ຄວບຄຸມ, ແລະ ການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໃນຂະບວນການ epitaxy ທັງຊິລິໂຄນ ແລະ ເຄິ່ງຕົວນຳປະສົມ.

ໃນການນຳໃຊ້ CVD, LPCVD, ແລະ PECVD, ອົງປະກອບການຜະນຶກຈະຖືກສຳຜັດກັບການປະສົມປະສານຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ, ອາຍແກັສສານຕັ້ງຕົ້ນທີ່ກັດກ່ອນ, ແລະໃນບາງກໍລະນີສະພາບແວດລ້ອມຂອງ plasma. ວົງແຫວນປະທັບຕາກາຟຣາຍທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ Semixlab ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນປະທັບຕາປະຕູຫ້ອງ, ໂຄງສ້າງແຍກອາຍແກັສ, ແລະເຂດປ່ຽນແປງລະຫວ່າງພາກພື້ນຮ້ອນ ແລະ ເຢັນຂອງເຄື່ອງປະຕິກອນ. ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີພາຍໃນຂອງກາຟຣາຍທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຊ່ວຍໃຫ້ການເຮັດວຽກທີ່ໝັ້ນຄົງໃນເວລາທີ່ມີອາຍແກັສຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງເຊັ່ນ HCl, NH₃, ແລະສານຕັ້ງຕົ້ນທີ່ອີງໃສ່ຮາໂລເຈນ, ໃນຂະນະທີ່ໂຄງສ້າງຈຸລະພາກທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ໄອໂຊໂທຣປິກຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກ ແລະ ການເສື່ອມສະພາບທາງກົນຈັກໃນໄລຍະເວລາການບໍລິການທີ່ຍາວນານ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບວິທີແກ້ໄຂການປະທັບຕາໂລຫະ, ວົງແຫວນປະທັບຕາກາຟຣາຍໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີກວ່າຕໍ່ການກັດກ່ອນ ແລະ ຄວາມອ່ອນເພຍຈາກຄວາມຮ້ອນ, ເຊິ່ງປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນໄລຍະຫ່າງການບຳລຸງຮັກສາທີ່ຍາວນານ ແລະ ປັບປຸງຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຂອງຂະບວນການໃນການຜະລິດໃນປະລິມານສູງ.

ການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, ແລະ ການປະມວນຜົນດ້ວຍຄວາມຮ້ອນທີ່ໄວເຮັດໃຫ້ມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຕໍ່ປະສິດທິພາບການຜະນຶກເນື່ອງຈາກອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ, ອັດຕາການປ່ຽນຄວາມຮ້ອນທີ່ໄວ, ແລະ ວົງຈອນຂະບວນການເລື້ອຍໆ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມເຫຼົ່ານີ້, ແຫວນປະທັບຕາກາໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ Semixlab ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງການຜະນຶກທີ່ສອດຄ່ອງກັນຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມເກີນ 1100 °C, ສະໜັບສະໜູນການຄວບຄຸມບັນຍາກາດທີ່ໝັ້ນຄົງພາຍໃນທໍ່ເຕົາອົບ ແລະ ຫ້ອງ RTP. ຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກທີ່ເປັນເອກະພາບທີ່ໄດ້ຮັບຈາກການກົດ isostatic ຊ່ວຍປ້ອງກັນຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງຄວາມກົດດັນໃນທ້ອງຖິ່ນ, ການແຕກຂອງຈຸນລະພາກ, ແລະ ການບິດເບືອນຂອງປະທັບຕາໃນລະຫວ່າງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມເຢັນຢ່າງໄວວາ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນໂປຣໄຟລ໌ການແຜ່ກະຈາຍສານເສີມທີ່ໝັ້ນຄົງ, ການເຕີບໂຕຂອງອົກໄຊດ໌ທີ່ເປັນເອກະພາບ, ແລະ ຜົນໄດ້ຮັບຂອງຂະບວນການຄວາມຮ້ອນທີ່ເຮັດຊ້ຳໄດ້ທີ່ສຳຄັນສຳລັບການຜະລິດອຸປະກອນຕາມເຫດຜົນ ແລະ ໜ່ວຍຄວາມຈຳຂັ້ນສູງ.

ໃນຂະບວນການ Etch, ລວມທັງການນຳໃຊ້ການແກະສະຫຼັກແບບແຫ້ງທີ່ໃຊ້ສານເຄມີທີ່ອີງໃສ່ຮາໂລເຈນ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການຊ່ວຍເຫຼືອຈາກພລາສມາ, ວົງແຫວນປະທັບຕາແມ່ນຕ້ອງການເພື່ອຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງສູນຍາກາດ ໃນຂະນະທີ່ຈຳກັດການສ້າງອະນຸພາກ ແລະ ການເສື່ອມສະພາບທາງເຄມີ. ວົງແຫວນປະທັບຕາກຣາໄຟດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ Semixlab ມັກຈະຖືກນຳໃຊ້ໃນເຂດທີ່ບໍ່ໄດ້ສຳຜັດກັບພລາສມາໂດຍກົງ, ເຊັ່ນ: ພື້ນທີ່ປະທັບຕາອ້ອມຮອບຫ້ອງ ແລະ ພື້ນທີ່ແຍກໂຄງສ້າງ. ເມື່ອລວມກັບຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພື້ນຜິວ ຫຼື ການເຄືອບປ້ອງກັນທີ່ເໝາະສົມ, ວົງແຫວນປະທັບຕາເຫຼົ່ານີ້ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືຕໍ່ກັບອາຍແກັສແກະສະຫຼັກທີ່ກັດກ່ອນ ແລະ ຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ, ສະໜັບສະໜູນສະພາບຫ້ອງທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການສູນເສຍຜົນຜະລິດທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການປົນເປື້ອນ.

ອອກແບບໂດຍສຸມໃສ່ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງ, ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ, ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງວົງແຫວນປະທັບຕາກຣາໄຟດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ Semixlab ກັບເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບທີ່ກ້າວໜ້າ ແລະ ການເຊື່ອມໂຍງເຂົ້າໃນສະຖາປັດຕະຍະກຳອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ສັບສົນເຮັດໃຫ້ພວກມັນເປັນທາງອອກທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສຳລັບໂຫນດຂະບວນການທີ່ກ້າວໜ້າ ແລະ ສົມບູນແບບ. ໂດຍການສະໜອງປະສິດທິພາບການປະທັບຕາທີ່ສອດຄ່ອງພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດ, Semixlab ສະໜັບສະໜູນຜູ້ຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳໃນການບັນລຸຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນ, ການນຳໃຊ້ອຸປະກອນທີ່ດີຂຶ້ນ, ແລະ ຕົ້ນທຶນການເປັນເຈົ້າຂອງທັງໝົດທີ່ຕ່ຳລົງ. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.