ແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຮູພຸນຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຮູພຸນສູງແມ່ນວັດສະດຸທີ່ສຳຄັນສຳລັບການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ກ້າວໜ້າ, ບ່ອນທີ່ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ລະດັບການປົນເປື້ອນຕ່ຳຫຼາຍ, ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການແມ່ນສິ່ງສຳຄັນທີ່ສຸດ. ວິທີແກ້ໄຂແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຮູພຸນສູງຂອງ Semixlab ແມ່ນຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສຳລັບຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການປົນເປື້ອນ.

ໃນຂະບວນການ epitaxy, graphite ທີ່ມີຮູພຸນສູງທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: ຕົວຍຶດຊັ້ນຮອງ, ຕົວນໍາແຜ່ນ wafer, ໂຄງສ້າງການແຈກຢາຍອາຍແກັສ, ແລະອົງປະກອບພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ. ໃນລະຫວ່າງການເຕີບໂຕຂອງ Si, SiC, ແລະ GaN epitaxial, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນ ແລະ ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ໝັ້ນຄົງແມ່ນປັດໄຈສໍາຄັນສໍາລັບການຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຟິມ, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງສານເສີມ, ແລະ ການສະກັດກັ້ນຂໍ້ບົກພ່ອງ. ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກທີ່ມີຮູພຸນຂອງ graphite Semixlab ຊ່ວຍໃຫ້ການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນເປັນເອກະພາບຫຼາຍຂຶ້ນ ແລະ ການແຜ່ກະຈາຍຂອງອາຍແກັສທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ທົ່ວໜ້າດິນຂອງແຜ່ນ wafer, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຫຼຸດຜ່ອນຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບຂອງຊັ້ນຂອບເຂດ ແລະ ຜົນກະທົບຂອງຂອບ.

ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ ແລະ ຜຸພັງທີ່ຕ້ອງການການເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງສູງກວ່າ 1000 °C, ແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຮູພຸນສູງເຮັດໜ້າທີ່ເປັນວັດສະດຸໂຄງສ້າງ ແລະ ວັດສະດຸຮອງຮັບທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສຳລັບເຮືອແຜ່ນ, ຊັ້ນໃນ, ແລະ ອົງປະກອບສນວນກັນຄວາມຮ້ອນ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບແກຣໄຟທ໌ທີ່ໜາແໜ້ນ, ໂຄງສ້າງທີ່ມີຮູພຸນຂອງມັນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການຜິດຮູບໃນລະຫວ່າງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ຳໆ, ເພີ່ມຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິ ແລະ ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອົງປະກອບ. ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີທີ່ມີຢູ່ ແລະ ປະລິມານສິ່ງເຈືອປົນຕ່ຳຊ່ວຍຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມຂອງຂະບວນການທີ່ສະອາດ, ສະໜັບສະໜູນການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດຕໍ່ໂປຣໄຟລ໌ການແຜ່ກະຈາຍສານເສີມ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຟິມອົກໄຊດ໌ ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການສ້າງອະນຸພາກ ແລະ ການປົນເປື້ອນຂ້າມ.

ສຳລັບຂະບວນການ CVD, LPCVD, ແລະ PECVD, ແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຮູພຸນສູງມີບົດບາດສຳຄັນໃນເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ຕົວນຳແຜ່ນເວເຟີ, ແລະ ສ່ວນປະກອບພາຍໃນຫ້ອງທີ່ສຳຜັດກັບອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ ແລະ ອຸນຫະພູມສູງ. ການນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງວັດສະດຸຮັບປະກັນການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນທີ່ວ່ອງໄວ ແລະ ເປັນເອກະພາບ, ໃນຂະນະທີ່ໂຄງສ້າງທີ່ມີຮູພຸນຂອງມັນຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດດັກຈັບຜະລິດຕະພັນຂ້າງຄຽງທີ່ຕົກຕະກອນໄດ້, ຫຼຸດຜ່ອນການແຕກ ແລະ ການປ່ອຍອະນຸພາກໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານຂອງອຸປະກອນທີ່ຍາວນານ. ສິ່ງນີ້ປະກອບສ່ວນໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ໄລຍະເວລາການບຳລຸງຮັກສາທີ່ຍາວນານ, ແລະ ເພີ່ມເວລາເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນ.

ແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຮູພຸນສູງຂອງ Semixlab ແມ່ນຜະລິດພາຍໃຕ້ລະບົບຄວບຄຸມຄຸນນະພາບທີ່ເຂັ້ມງວດ, ພ້ອມດ້ວຍການຄຸ້ມຄອງຢ່າງລະອຽດກ່ຽວກັບການຄັດເລືອກວັດຖຸດິບ, ການເຮັດໃຫ້ບໍລິສຸດ, ແລະ ວິສະວະກຳໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກ. ເມື່ອຕ້ອງການອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ ຫຼື ການດຳເນີນງານໃນສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການຫຼາຍຂຶ້ນ, ຜະລິດຕະພັນນີ້ສາມາດເຂົ້າກັນໄດ້ກັບການເຄືອບປ້ອງກັນຂັ້ນສູງເຊັ່ນ SiC ຫຼື TaC. ໂດຍນຳໃຊ້ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນໃນການອອກແບບທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຄວາມສາມາດໃນການປຸງແຕ່ງ, ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ກ້າວໜ້າ, ວິທີແກ້ໄຂຂອງພວກເຮົາສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນຕາມຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງແພລດຟອມອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ໂຫນດຂະບວນການຂອງທ່ານ. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.