ຖ້ວຍກາໄຟທ໌ສາມກີບ

ຖ້ວຍກຣາໄຟທ໌ສາມກີບຂອງ Semixlab ຖືກອອກແບບມາສະເພາະສຳລັບລະບົບການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນຜລຶກດຽວ Czochralski (CZ) ທີ່ກ້າວໜ້າ. ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງ, ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຜລຶກ ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງຜລຶກ.

ໃນຂະບວນການ CZ, ຊິລິໂຄນໂພລີຄຣິສຕາລິນຈະລະລາຍໃນເຕົາອົບ quartz ທີ່ອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1420°C, ໃນຂະນະທີ່ເຕົາອົບ graphite ອ້ອມຂ້າງ ແລະ ອົງປະກອບເຂດຮ້ອນໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນທາງກົນຈັກ ແລະ ກຳນົດສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຮ້ອນ. ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງ graphite ແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ: ມັນຄວບຄຸມການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມແບບ radial ແລະ axial, ມີອິດທິພົນຕໍ່ພຶດຕິກຳການພາຄວາມຮ້ອນຂອງລະລາຍ, ແລະ ໃນທີ່ສຸດກໍ່ກຳນົດຮູບຮ່າງຂອງໜ້າຕ່າງຂອງແຂງ-ແຫຼວໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກ. ເຖິງແມ່ນວ່າການບິດເບືອນໂຄງສ້າງເລັກນ້ອຍ ຫຼື ການຜິດຮູບທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນກໍ່ສາມາດນຳໄປສູ່ການປ່ຽນແປງຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງຜລຶກ, ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອົກຊີເຈນ, ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ.

ຖ້ວຍກຣາໄຟທ໌ສາມກີບໃຊ້ໂຄງສ້າງທີ່ແບ່ງສ່ວນກັນ, ແບ່ງຮ່າງກາຍຂອງຖ້ວຍອອກເປັນສາມສ່ວນທີ່ຖືກເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ການອອກແບບນີ້ມີຈຸດປະສົງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນຮອບວົງທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເປັນເວລາດົນ ແລະ ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ຳໆ. ບໍ່ເຫມືອນກັບຖ້ວຍກຣາໄຟທ໌ແບບດຽວແບບດັ້ງເດີມ, ເຊິ່ງສາມາດສະສົມຄວາມກົດດັນຕາມໂຄງສ້າງວົງແຫວນທັງໝົດ, ໂຄງສ້າງສາມສ່ວນຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມການຂະຫຍາຍຕົວ ແລະ ການແຈກຢາຍຄວາມກົດດັນຄືນໃໝ່ໄດ້ໃນຈຸດເຊື່ອມຕໍ່ສະເພາະ. ຜົນໄດ້ຮັບແມ່ນການປັບປຸງສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການແຕກ, ແລະ ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວໃນສະພາບແວດລ້ອມເຕົາອົບ CZ.

ຈາກທັດສະນະວິສະວະກຳຄວາມຮ້ອນ, ການຮັກສາພາກສະໜາມອຸນຫະພູມທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ສົມມາດແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການຄວບຄຸມຮູບແບບການໄຫຼຂອງໂລຫະ ແລະ ຄວາມໂຄ້ງຂອງໜ້າຕ່າງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ. ເຕົາແກຣດກຣາໄຟດສາມກີບຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມສົມດຸນຄວາມຮ້ອນແບບລັດສະໝີໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນການຜິດຮູບ ແລະ ຮັກສາຄວາມສອດຄ່ອງທາງເລຂາຄະນິດຕະຫຼອດວົງຈອນການເຕີບໂຕ. ສິ່ງນີ້ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນເງື່ອນໄຂການດຶງຜລຶກທີ່ໝັ້ນຄົງ, ການຄວບຄຸມເສັ້ນຜ່າສູນກາງທີ່ຊັດເຈນກວ່າ, ແລະ ການຊຶມເຂົ້າຂອງອົກຊີເຈນທີ່ເປັນເອກະພາບຫຼາຍຂຶ້ນເຂົ້າໄປໃນຊິລິກອນທີ່ລະລາຍຈາກເຕົາແກຣດຄວອດ. ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນນີ້ມີຄວາມສຳຄັນໂດຍສະເພາະໃນການຜະລິດແທ່ງໂລຫະເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂະໜາດໃຫຍ່, ເຊິ່ງໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວມີການປ່ຽນສີຂອງອຸນຫະພູມທີ່ສັບສົນຫຼາຍກວ່າ ແລະ ການໂຫຼດກົນຈັກທີ່ສູງກວ່າຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງໂຄງສ້າງແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນເທົ່າທຽມກັນສຳລັບອົງປະກອບແກຣໄຟດ໌ຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳ. ຖ້ວຍກຣາໄຟດ໌ສາມກີບຖືກຜະລິດໂດຍໃຊ້ແກຣໄຟດ໌ທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ເມັດລະອຽດທີ່ມີປະລິມານສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນຂອງໂລຫະພາຍໃນຊ່ອງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ. ເຕັກນິກການປະມວນຜົນທີ່ກ້າວໜ້າຮັບປະກັນຄວາມທົນທານຂອງມິຕິທີ່ແໜ້ນໜາ ແລະ ຄວາມພໍດີລະຫວ່າງສ່ວນຕ່າງໆ, ຮັກສາການຈັດລຽງກົນຈັກ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນການຮົ່ວໄຫຼຄວາມຮ້ອນຢູ່ທີ່ຈຸດເຊື່ອມຕໍ່. ອີງຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການສະເພາະ, Semixlab ຍັງສາມາດປະສົມປະສານການເຄືອບປ້ອງກັນພື້ນຜິວ (ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TAC, ການເຄືອບຄາບອນ Pyrolytic) ເພື່ອເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງ ແລະ ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານ.

ຖ້ວຍກຣາໄຟທ໌ສາມກີບຂອງ Semixlab ແມ່ນການສະໜັບສະໜູນເຕັກໂນໂລຢີຜະລິດຕະພັນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສຳລັບການຜະລິດຊິລິໂຄນຜລຶກດຽວ CZ ທີ່ທັນສະໄໝ. ໃນຂະນະດຽວກັນ, Semixlab ມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະສະໜອງເຕັກໂນໂລຢີຊັ້ນນຳ ແລະ ວິທີແກ້ໄຂຜະລິດຕະພັນທີ່ກຳນົດເອງສຳລັບຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກເຄິ່ງຕົວນຳ. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.