ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນທີ່ລື່ນໄວ

ໃນຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳຂັ້ນສູງ, ການປະມວນຜົນດ້ວຍຄວາມຮ້ອນແບບໄວ (RTP) ມີບົດບາດສຳຄັນໃນການບັນລຸການຄວບຄຸມຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນສຳລັບການກະຕຸ້ນສານ dopant, ການສ້າງ silicide, ແລະ ການ annealing dielectric. ໃນຫົວໃຈຂອງທຸກໆລະບົບ RTA, Rapid Thermal Annealing Susceptor ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວເຊື່ອມຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ສຳຄັນລະຫວ່າງແຫຼ່ງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ແຜ່ນຊິລິໂຄນ, ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມສະເໝີພາບຂອງອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ. RTA Susceptor ຂອງ Semixlab ຖືກອອກແບບມາສຳລັບວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ໄລຍະສັ້ນ, ຮັບປະກັນການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນທີ່ສອດຄ່ອງ ແລະ ເຮັດຊ້ຳໄດ້ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມເຢັນຢ່າງໄວວາທີ່ພົບເລື້ອຍໃນເຕັກນິກການປະມວນຜົນດ້ວຍຄວາມຮ້ອນແບບໄວ (RTP) ຂັ້ນສູງ.

ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນກຣາໄຟທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ຂອງ Semixlab ແມ່ນຜະລິດຈາກກຣາໄຟທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນພິເສດ, ເຊິ່ງສະເໜີໃຫ້ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ ແລະ ມວນຄວາມຮ້ອນທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ ເພື່ອການຕອບສະໜອງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາ ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຊັກຊ້າທາງຄວາມຮ້ອນ. ຊັ້ນໃຕ້ດິນກຣາໄຟຖືກເຄືອບດ້ວຍຊັ້ນປ້ອງກັນຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ ເຊິ່ງຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງພື້ນຜິວ, ສະກັດກັ້ນການສ້າງອະນຸພາກ, ແລະ ປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ, ການຜຸພັງ, ແລະ ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ໃນຂະບວນການ RTP, ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນ RTA ມີບົດບາດສຳຄັນໃນການເຮັດໃຫ້ສະໜາມຄວາມຮ້ອນມີຄວາມໝັ້ນຄົງທົ່ວໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີ. ໂດຍການດູດຊຶມພະລັງງານລັງສີຢ່າງມີປະສິດທິພາບ ແລະ ປ່ອຍມັນຄືນຢ່າງເປັນເອກະພາບ, ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນຈະຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທັງພາຍໃນ ແລະ ລະຫວ່າງແຜ່ນເວເຟີ. ຄວາມເປັນເອກະພາບນີ້ແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການບັນລຸການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນກ່ຽວກັບຄວາມຕ້ານທານຂອງຟິມບາງໃນລະຫວ່າງການກະຕຸ້ນການຝັງໄອອອນ, ຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງເຟສໃນລະຫວ່າງການສ້າງຊິລິໄຊດ໌ໂລຫະ, ແລະ ປ້ອງກັນຄວາມກົດດັນຂອງຟິມທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີໃນລະຫວ່າງການอบດ້ວຍໄຟຟ້າ.

ເຄື່ອງຮັບຄວາມຮ້ອນ Wafer ຂອງ Semixlab ໄດ້ຮັບການປັບປຸງໃຫ້ເໝາະສົມກັບຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບແພລດຟອມອຸປະກອນ RTP ແລະ RTA ຫຼັກ, ຮອງຮັບທັງຂະໜາດ wafer 200 ມມ ແລະ 300 ມມ. ພື້ນຜິວເຄືອບ SiC ຂອງມັນສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງການປ່ອຍອາຍພິດຕ່ຳ ແລະ ສະຖຽນລະພາບການປ່ອຍອາຍພິດທີ່ດີເລີດໃນລະຫວ່າງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ຳໆ, ຊ່ວຍຮັກສາການປັບອຸນຫະພູມທີ່ແນ່ນອນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນຍ້ອນການປົນເປື້ອນ ຫຼື ການບຳລຸງຮັກສາ.

ຈາກທັດສະນະຂອງການຜະລິດ, ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນທີ່ລະລາຍໄວຂອງ Semixlab ແມ່ນອົງປະກອບຂະບວນການທີ່ສຳຄັນທີ່ມີອິດທິພົນຕໍ່ຄວາມສະເໝີພາບທາງໄຟຟ້າ, ອັດຕາຂໍ້ບົກຜ່ອງ, ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນໂດຍລວມ (OEE). ໂດຍການລວມເອົາວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບທີ່ໄດ້ຮັບການພິສູດແລ້ວ, ແລະ ການອອກແບບທີ່ເນັ້ນຂະບວນການ, Semixlab ສົ່ງມອບວິທີແກ້ໄຂຊັ້ນຮອງ RTA ທີ່ກ້າວໜ້າເຊິ່ງຮັບປະກັນປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ໝັ້ນຄົງ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ, ແລະ ບັນລຸຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການໃນໄລຍະຍາວ. ສິ່ງທີ່ສຳຄັນກວ່ານັ້ນ, Semixlab ມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະສະໜອງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄໝ ແລະ ວິທີແກ້ໄຂຕົວຮັບ RTA ທີ່ກຳນົດເອງສຳລັບຂະບວນການ RTP ຂອງເຄິ່ງຕົວນຳ. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.