ເຕົາອົບຮ້ອນດູດຝຸ່ນສຳລັບການຜູກມັດເມັດພັນໄປເຊຍກັນ SiC

ການຜູກມັດຂອງເມັດພັນດ້ວຍຜລຶກແມ່ນໜຶ່ງໃນຂະບວນການທີ່ສຳຄັນທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ. ໂດຍອີງໃສ່ລັກສະນະຂອງການຜູກມັດຂອງເມັດພັນດ້ວຍຜລຶກ, Semixlab ໄດ້ພັດທະນາອຸປະກອນກົດຮ້ອນແບບສູນຍາກາດພິເສດສຳລັບການຜູກມັດຂອງເມັດພັນດ້ວຍຜລຶກ. ອຸປະກອນນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງຕ່າງໆທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜູກມັດໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງການຜູກມັດຂອງເມັດພັນດ້ວຍຜລຶກ ແລະ ຄຸນນະພາບສຸດທ້າຍຂອງຜລຶກ.

Ⅰ. ການແນະນຳກ່ຽວກັບອຸປະກອນກົດຮ້ອນສູນຍາກາດເພື່ອຜູກມັດແກ່ນຜລຶກ

1. ໃຊ້ສຳລັບການຜູກມັດກັບຜລຶກເມັດພັນກ່ອນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ SiC;

2. ແກ່ນທີ່ຜູກມັດແລ້ວຮັກສາການຍຶດຕິດຢູ່ທີ່ 2300°C ໂດຍບໍ່ມີການແຍກອອກ, ບັນລຸການຍຶດຕິດທີ່ບໍ່ມີຟອງ 100% ດ້ວຍຄວາມຮາບພຽງສູງ ແລະ ໜ້າຜິວແຜ່ນແພທີ່ສະອາດບໍ່ມີການດູດຊຶມສິ່ງເຈືອປົນ;

3. ຖາດຄວາມຮ້ອນໃຊ້ຄວາມຮ້ອນແບບຕ້ານທານແບບແຜ່ນ, ຮັບປະກັນການແຈກຢາຍອຸນຫະພູມຢ່າງເປັນເອກະພາບ, ການເຮັດວຽກທີ່ປອດໄພ, ແລະ ການຈັດການທີ່ເປັນມິດກັບຜູ້ໃຊ້;

4. ເຊັນເຊີຄວາມດັນທີ່ຕິດຕັ້ງຢູ່ໃຕ້ຖາດສະແດງຄວາມດັນທີ່ໃຊ້ກັບຊິ້ນວຽກໄດ້ຢ່າງຊັດເຈນ.

II. ພາບລວມການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນເຄື່ອງກົດຮ້ອນສູນຍາກາດ Seed Crystal

ເຕົາອົບຮ້ອນດູດຝຸ່ນ Semixlab Seed Crystal ຖືກອອກແບບມາສຳລັບການກົດຮ້ອນດ້ວຍສູນຍາກາດຂອງຜລຶກເມັດຊິລິກອນຄາໄບ.

1. ຫ້ອງໂລຫະສອງຊັ້ນທີ່ລະບາຍຄວາມຮ້ອນດ້ວຍນ້ຳຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນອຸນຫະພູມໜ້າດິນຂອງເຕົາເຜົາໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ຫຼຸດຜ່ອນອັນຕະລາຍຈາກອຸນຫະພູມສູງ, ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ;

2. ມີຄວາມສາມາດໃນການໃຊ້ ແລະ ຮັກສາຄວາມກົດດັນໂດຍອັດຕະໂນມັດ, ການໂຫຼດເທື່ອລະກ້າວ, ແລະ ການຍົກຍ້າຍດ້ວຍການຄວບຄຸມອັດຕະໂນມັດ;

3. ການຕັ້ງຄ່າລະບົບສູນຍາກາດທີ່ຫຼາກຫຼາຍຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດເລືອກລະດັບສູນຍາກາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນໂດຍອີງໃສ່ຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການ;

4. ການແຈກຢາຍຄວາມກົດດັນທີ່ເປັນເອກະພາບ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມສູງ;

5. ການໃຊ້ແຮງດັນນຳໃຊ້ກົນໄກການຍູ້ກົນຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ເພື່ອການສົ່ງແຮງດັນທີ່ຖືກຕ້ອງ ແລະ ໝັ້ນຄົງ, ຮັບປະກັນການດຳເນີນງານທີ່ປອດໄພ ແລະ ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບສິ່ງແວດລ້ອມ;

6. ການເຊື່ອມຕໍ່ທົ່ວໄປລະຫວ່າງຫົວກົດດ້ານເທິງ ແລະ ແກນຍູ້ຮັບປະກັນຄວາມຂະໜານທີ່ປັບຕົວໄດ້ລະຫວ່າງຫົວເທິງ ແລະ ຖາດດ້ານລຸ່ມໃນລະຫວ່າງການກົດ, ຮັບປະກັນການແຈກຢາຍຄວາມດັນຢ່າງເປັນເອກະພາບ;

7. ຫົວກົດດ້ານເທິງປະກອບມີການໃຊ້ແຮງກົດດັນທີ່ຮອງຮັບເພື່ອການສົ່ງແຮງທີ່ລຽບງ່າຍ ແລະ ອ່ອນໂຍນໂດຍບໍ່ມີຜົນກະທົບ, ປ້ອງກັນການແຕກຫັກຂອງຊິ້ນວຽກ;

8. ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມທີ່ປະສົມປະສານເຂົ້າໃນການໂຕ້ຕອບຂອງແຜ່ນຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນກັບຕົວຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ, ເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມຄວາມຮ້ອນແລະການຄວບຄຸມແບບໂປຣແກຣມແມ່ນຍຳ;

9. ທັງພາເລັດ ແລະ ຫົວກົດດ້ານເທິງລ້ວນແຕ່ມີອຸປະກອນກັນຄວາມຮ້ອນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍຄວາມຮ້ອນ.

Ⅲ. ປະສິດທິພາບ ແລະ ຄຸນສົມບັດຂອງອຸປະກອນດູດຄວັນຮ້ອນ Semixlab Seed Crystal

1. ການສະກັດເອົາສູນຍາກາດເທື່ອລະກ້າວດ້ວຍອັດຕາການສູບທີ່ຄວບຄຸມ;

2. ຫ້ອງຂະໜາດໃຫຍ່ສຳລັບທ່າແຮງການຍົກລະດັບທີ່ພຽງພໍ;

3. ຫົວກົດທີ່ໝັ້ນຄົງດ້ວຍການເຮັດວຽກອັດຕະໂນມັດ;

4. ການຄວບຄຸມການເພີ່ມ ແລະ ການປ່ອຍຄວາມດັນດ້ວຍຄວາມຊັນຄວາມດັນອັດຕະໂນມັດ ແລະ ການຄວບຄຸມສູດ;

5. ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນດ້ວຍວົງຈອນອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມດັນທີ່ສາມາດຕັ້ງໂປຣແກຣມໄດ້;

6. ຕົວກໍານົດສູນຍາກາດ, ຄວາມດັນ, ແລະອຸນຫະພູມທີ່ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ສໍາລັບຂະບວນການຜູກມັດທີ່ຫຼາກຫຼາຍ;

7. ການຜູກມັດທີ່ໜາແໜ້ນໂດຍບໍ່ມີຟອງອາກາດ;

8. ອັດຕາການແຕກຫັກຕໍ່າຫຼາຍ—ເກືອບບໍ່ມີການແຕກຫັກທີ່ເກີດຈາກອຸປະກອນ;

9. ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້: ຮອງຮັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 6-12 ນິ້ວ;

10. ຄວາມດັນລົງສູງສຸດ: 1.6 T;

11. ສູນຍາກາດສຸດຍອດ: 5 Pa (ເຢັນ);

12. ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງອຸນຫະພູມເວທີຄວາມຮ້ອນ: <±3℃, σ<4 (ທີ່ 200℃);

13. ການເຫນັງຕີງຂອງຄວາມກົດດັນ: <0.5%.

ພາລາມິເຕີຂອງເຕົາອົບຮ້ອນສໍາລັບການຜູກມັດເມັດພັນ