ວົງແຫວນໜີບ 0200-15001

ວົງແຫວນໜີບ AMAT 0200-15001 ແມ່ນໜຶ່ງໃນອົງປະກອບໂຄງສ້າງທີ່ສຳຄັນໃນຫ້ອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳວັດສະດຸປະຍຸກ (AMAT). ມັນເປັນອົງປະກອບໜີບ/ບີບອັດເຊລາມິກອາລູມີນາ (Al₂O₃) ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ເຊິ່ງຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນໂມດູນຂະບວນການວາງຊັ້ນ ແລະ ການແກະສະຫຼັກ. ຄຸນຄ່າຫຼັກຂອງມັນບໍ່ໄດ້ຢູ່ທີ່ການມີສ່ວນຮ່ວມໂດຍກົງໃນປະຕິກິລິຍາ, ແຕ່ຢູ່ທີ່ການຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງຂອງຫ້ອງ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງສະພາບແວດລ້ອມຂອງຂະບວນການ.

1. ພາບລວມຂອງຜະລິດຕະພັນ ແລະ ຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸ (Al₂O₃)

● ຊື່ຜະລິດຕະພັນ: ວົງແຫວນໜີບ AMAT 0200-15001

● ໝວດໝູ່: ວົງແຫວນຍຶດເຊລາມິກຫ້ອງ / ສ່ວນປະກອບຍຶດຫ້ອງ

● ວັດສະດຸ: ເຊລາມິກອາລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (Al₂O₃)

2. ໜ້າທີ່ຫຼັກໃນອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ

ພາຍໃນໂຄງສ້າງຫ້ອງ AMAT, ວົງແຫວນ Clamp ນີ້ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເຮັດໜ້າທີ່ຂອງການຍັບຍັ້ງກົນຈັກ ແລະ ການຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ:

① ການຍຶດຕິດໂຄງສ້າງ ແລະ ການຍຶດຕິດຫ້ອງ

ໃຊ້ເພື່ອຕິດຕັ້ງອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນຂອງຫ້ອງຢ່າງປອດໄພ, ລວມທັງ:

●Quartz (ສ່ວນປະກອບ quartz)

●ຊັ້ນໃນ (ຊັ້ນໃນຂອງຫ້ອງ)

●ວົງແຫວນຂອບ (ໂຄງສ້າງວົງແຫວນຂອບ)

●ຫົວຝັກບົວ (ໂຄງສ້າງການແຈກຈ່າຍອາຍແກັສ)

ການໜີບທີ່ແມ່ນຍຳຊ່ວຍປ້ອງກັນການບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງໂຄງສ້າງທີ່ເກີດຈາກການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ ຫຼື ຄວາມກົດດັນຈາກສູນຍາກາດ.

② ການຄວບຄຸມຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງພລາສມາ

ຄວາມແມ່ນຍຳທາງເລຂາຄະນິດຂອງວົງແຫວນໜີບມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່:

●ສົມມາດຂອງການແຈກຢາຍສະໜາມໄຟຟ້າ

●ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພລາສມາສະໝ່ຳສະເໝີ

●ຄວາມສາມາດໃນການຄວບຄຸມຜົນກະທົບຂອບ

ນີ້ແມ່ນສິ່ງສຳຄັນໂດຍສະເພາະສຳລັບຂະບວນການທີ່ກ້າວໜ້າ (≤28 nm).

③ ການຄວບຄຸມອະນຸພາກ ແລະ ການຮັບປະກັນຜົນຜະລິດ

ສະຖຽນລະພາບຂອງໂຄງສ້າງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ແຮງສຽດທານ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຫຼຸດຜ່ອນ:

●ການສ້າງອະນຸພາກຈຸນລະພາກ

●ການປົນເປື້ອນຂອບແຜ່ນ

●ຄວາມຜັນຜວນຂອງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງ

3. ຮູບແບບຄວາມລົ້ມເຫຼວທົ່ວໄປ (ການວິເຄາະຄວາມລົ້ມເຫຼວ)

ອີງຕາມປະສົບການຂອງ Semixlab ໃນການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ປັບປຸງອຸປະກອນ, ຮູບແບບຄວາມລົ້ມເຫຼວທົ່ວໄປສຳລັບວົງແຫວນຍຶດ Al₂O₃ ປະເພດນີ້ລວມມີ:

① ການກັດເຊາະຂອງພລາສມາ

ການສຳຜັດກັບສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສປະຕິກິລິຍາໃນໄລຍະຍາວຈະນໍາໄປສູ່:

●ການຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ

●ການສີດວັດສະດຸ

●ການປ່ອຍອະນຸພາກເພີ່ມຂຶ້ນ

② ການແຕກຮອຍຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ

ເກີດຈາກການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາ (ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ):

●ການສ້າງ ແລະ ການຂະຫຍາຍພັນຂອງຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ

●ຄວາມແຂງແຮງຂອງໂຄງສ້າງຫຼຸດລົງ

●ຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການກະດູກຫັກທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນ

③ ການບิ่นຂອບ

ມັກພົບໃນກໍລະນີທີ່:

●ຄວາມກົດດັນໃນການຕິດຕັ້ງທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ

●ການຄວບຄຸມແຮງບິດທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງ

●ຜົນກະທົບທາງກົນຈັກ

④ ຄວາມລົ້ມເຫຼວໃນການລະບາຍອາຍພິດຂອງອະນຸພາກ

ການປ່ອຍອະນຸພາກ Al₂O₃ ຫຼັງຈາກການເຊື່ອມໂຊມຂອງພື້ນຜິວ:

●ອັດຕາຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງແຜ່ນເວເຟີເພີ່ມຂຶ້ນ

●ໜ້າຕ່າງຂະບວນການແຄບລົງ

⑤ ມິຕິລະຍະທາງ

ການປ່ຽນແປງໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກທີ່ເກີດຈາກການໂຫຼດຄວາມຮ້ອນໃນໄລຍະຍາວ:

●ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດລຽນຫຼຸດລົງ

●ການປະທັບຕາຫ້ອງທີ່ຊຸດໂຊມລົງ