Semiconductor Fused Quartz Boat

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນການປຸງແຕ່ງ Semiconductor Wafer

ເຮືອ quartz Fused ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor wafer, ຮັບໃຊ້ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ສະຫນັບສະຫນູນ wafers ໃນໄລຍະການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນໃນອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນການຜຸພັງ, ການແຜ່ກະຈາຍ, LPCVD, ແລະການຫມຸນ. ຄວາມບໍລິສຸດພິເສດຂອງເຂົາເຈົ້າ, inertness ສານເຄມີ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບການຮັກສາຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນໃນສາຍການຜະລິດ semiconductor ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານ.

1. ຂະບວນການອອກຊິເດຊັນແລະການແຜ່ກະຈາຍ

ໃນເຕົາຜຸພັງຄວາມຮ້ອນແລະການແຜ່ກະຈາຍ, ເຮືອ quartz fused ຖືກໃຊ້ເພື່ອຍຶດ wafers ຊິລິຄອນຢ່າງປອດໄພໃນການຈັດວາງ stack ຕັ້ງຫຼືແນວນອນ. ເຮືອເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງທົນກັບການສໍາຜັດກັບອຸນຫະພູມທີ່ສູງກວ່າ 1000 ° C ຊ້ໍາຊ້ອນໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິແລະຄວາມສົມບູນຂອງກົນຈັກ.

ເຮືອ quartz fused ຂອງ Semixlab ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຕ້ານທານທີ່ໂດດເດັ່ນຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນແລະການຜິດປົກກະຕິ, ຮັບປະກັນຊ່ອງຫວ່າງຂອງ wafer ທີ່ສອດຄ່ອງແລະການກະຈາຍການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ດີທີ່ສຸດໃນທົ່ວທໍ່ furnace. ນີ້ນໍາໄປສູ່ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ oxide ເປັນເອກະພາບແລະການແຜ່ກະຈາຍ dopant ທີ່ຊັດເຈນ.

2. LPCVD (ການຕົກຄ້າງຂອງອາຍເຄມີທີ່ມີຄວາມກົດດັນຕໍ່າ)

ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ LPCVD, ເຮືອ quartz fused ຖືກນໍາໃຊ້ເປັນອຸປະກອນໂຄງສ້າງເພື່ອຂົນສົ່ງແລະສະຫນັບສະຫນູນ wafers ພາຍໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ. ຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາສຸດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) ຂອງ Semixlab ຂອງຄວາມບໍລິສຸດສູງ quartz fused ຊ່ວຍປ້ອງກັນການຫຼົ່ນລົງຂອງອະນຸພາກແລະຄວາມຄຽດກົນຈັກ, ຊຶ່ງຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນອາດຈະນໍາໄປສູ່ການແຕກຫັກຂອງ wafer ຫຼືຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງຮູບເງົາ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ພື້ນຜິວພາຍໃນທີ່ລຽບແລະຂັດຂອງເຮືອ quartz ຂອງ Semixlab ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນໂດຍການປ້ອງກັນການສະສົມຂອງອະນຸພາກທີ່ບໍ່ຕ້ອງການ, ດັ່ງນັ້ນການຮັກສາສະພາບຫ້ອງທີ່ສະອາດສໍາລັບການຊຶມເຊື້ອຮູບເງົາບາງໆທີ່ມີຜົນຜະລິດສູງ.

3. Annealing ແລະ Thermal Stabilization

ໃນຂະບວນການຫມູນວຽນຫລັງການປູກຝັງແລະການໄດ້ຮັບ, ເຮືອ quartz ຕ້ອງທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມສອດຄ່ອງຂອງ wafer ທີ່ຊັດເຈນ. ເທກໂນໂລຍີການຜະລິດ quartz ຂັ້ນສູງຂອງ Semixlab ຮັບປະກັນວ່າເຮືອແຕ່ລະລໍາຮັກສາຄວາມທົນທານຂອງມິຕິທີ່ແຫນ້ນຫນາ (<0.1 ມມ), ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ wafer slip ແລະຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ດີທີ່ສຸດໃນທົ່ວ batch.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານວິຊາການ Semixlab

●ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນ

●ທົນທານຕໍ່ກັບ HF, HCl, ແລະບັນຍາກາດ oxidizing ທີ່ດີເລີດ

● ພື້ນຜິວທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ ແລະການປ່ອຍອະນຸພາກຈຸນລະພາກ

●ການອອກແບບທີ່ປັບແຕ່ງໄດ້ຮັບປະກັນເຖິງແມ່ນແຕ່ໄລຍະຫ່າງຂອງ wafer ແລະການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ

● ຍືດອາຍຸການໃຫ້ບໍລິການພາຍໃຕ້ການໝູນວຽນຄວາມຮ້ອນຊ້ຳໆ

ເຮືອ quartz fused ຂອງ Semixlab ໄດ້ຮັບການໄວ້ວາງໃຈໂດຍ semiconductor fabs ທົ່ວໂລກສໍາລັບການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຄວາມບໍລິສຸດ, ແລະຄວາມທົນທານ, ຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຜົນຜະລິດ wafer ດີກວ່າໃນຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງທີ່ສໍາຄັນ. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະຮ່ວມມືກັບເຈົ້າຕື່ມອີກ.

ສິ່ງທ້າທາຍທົ່ວໄປແລະການແກ້ໄຂ

Q1: Semixlab ຮັບປະກັນຄວາມທົນທານແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະຫນາດຂອງເຮືອ quartz fused ແນວໃດ?

A1: Semixlab ໃຊ້ຊິລິກາທີ່ປະສົມຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດທີ່ມີເນື້ອໃນ OH ໜ້ອຍທີ່ສຸດ ແລະໂຄງສ້າງຈຸລະພາກທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ຊັດເຈນ. ເຮືອ quartz ແຕ່ລະລໍາຜ່ານເຄື່ອງຈັກ CNC ຂັ້ນສູງແລະການຫມຸນດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງເພື່ອກໍາຈັດຄວາມກົດດັນພາຍໃນ, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິໃນໄລຍະຍາວເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການ gradients ຄວາມຮ້ອນທີ່ສຸດ.

Q2: Semixlab ສາມາດປັບແຕ່ງເຮືອ quartz ສໍາລັບຂະຫນາດ wafer ທີ່ແຕກຕ່າງກັນຫຼືການຕັ້ງຄ່າ reactor?

A2: ຢ່າງແທ້ຈິງ. Semixlab ໃຫ້ບໍລິການປັບແຕ່ງເຕັມຮູບແບບ, ລວມທັງການອອກແບບສໍາລັບລະບົບການປຸງແຕ່ງ wafer 6 ນິ້ວ, 8 ນິ້ວ, ແລະ 12 ນິ້ວ. ພວກເຮົາສາມາດປັບປ່ຽນເລຂາຄະນິດຂອງຊ່ອງ, ຄວາມຫນາຂອງຝາ, ແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນໂດຍອີງໃສ່ການແຜ່ກະຈາຍສະເພາະຫຼືຄວາມຕ້ອງການເຄື່ອງປະຕິກອນ LPCVD.

Q3: Semixlab ສະຫນັບສະຫນູນລູກຄ້າໃນການແກ້ໄຂບັນຫາຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຂະບວນການແນວໃດ?

A3: ທີມງານວິສະວະກໍາຂອງພວກເຮົາສະເຫນີໃຫ້ຄໍາປຶກສາດ້ານເຕັກນິກກ່ອນການຂາຍແລະການວິເຄາະການຈໍາລອງຄວາມຮ້ອນເພື່ອກໍານົດບັນຫາທີ່ອາດຈະເກີດຂຶ້ນເຊັ່ນ: ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ບໍ່ກົງກັນຫຼືເຂດຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ສະເຫມີກັນ. ພວກເຮົາຮ່ວມມືຢ່າງໃກ້ຊິດກັບວິສະວະກອນຂະບວນການເພື່ອສົ່ງອອກແບບເຮືອ quartz ທີ່ດີທີ່ສຸດທີ່ປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງ wafer ແລະການເຮັດຊ້ໍາຂອງຂະບວນການ.