ວົງແຫວນ Quartz Shadow 200 ມມ

ວົງແຫວນເງົາ Quartz 200 ມມ (ໝາຍເລກຊິ້ນສ່ວນ 0200-10445) ເປັນອົງປະກອບເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ອອກແບບມາສຳລັບອຸປະກອນປະມວນຜົນແຜ່ນເວເຟີ 200 ມມ. ມັນມີບົດບາດສຳຄັນໃນການປົກປ້ອງຂອບແຜ່ນເວເຟີ, ການຄວບຄຸມການແຈກຢາຍພລາສມາ, ແລະ ການຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງຫ້ອງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການແກະສະຫຼັກ ແລະ ການວາງແຜ່ນພລາສມາ.

ຜະລິດຈາກຫີນຄວດສ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ວົງແຫວນເງົານີ້ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງພລາສມາ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະລະດັບການປົນເປື້ອນຕໍ່າຫຼາຍ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການສູງ.

ທີ່ Semixlab, ພວກເຮົາສະໜອງອົງປະກອບ quartz ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕອບສະໜອງມາດຕະຖານຄວາມທົນທານດ້ານມິຕິ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ເຄັ່ງຄັດທີ່ຕ້ອງການສຳລັບອຸປະກອນຂະບວນການ semiconductor.

ພາບລວມຜະລິດຕະພັນ

ວົງແຫວນເງົາ Quartz 0200-10445 ຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ອ້ອມຂອບແຜ່ນເວເຟີພາຍໃນຫ້ອງປະມວນຜົນ. ມັນຖືກອອກແບບມາເພື່ອໃຫ້ມີເງົາທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ຂອງຂອບແຜ່ນເວເຟີ, ຊ່ວຍຮັກສາສະພາບຂະບວນການທີ່ສອດຄ່ອງກັນທົ່ວໜ້າຜິວແຜ່ນເວເຟີ.

ອົງປະກອບນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫ້ອງແກະສະຫຼັກ ແລະ ລະບົບປະມວນຜົນພລາສມາ, ບ່ອນທີ່ການຄວບຄຸມຂອບທີ່ຖືກຕ້ອງແມ່ນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການບັນລຸຜົນຜະລິດແຜ່ນເວເຟີສູງ ແລະ ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຂະບວນການ.

ລັກສະນະໂຄງສ້າງທົ່ວໄປ

ວົງແຫວນເງົາ Quartz 0200-10445 ຖືກອອກແບບດ້ວຍລັກສະນະໂຄງສ້າງທີ່ໄດ້ຮັບການປັບປຸງໃຫ້ດີທີ່ສຸດສຳລັບການເຊື່ອມໂຍງຫ້ອງເຄິ່ງຕົວນຳໂດຍສະເພາະ.

ເສັ້ນຜ່າສູນກາງພາຍໃນທີ່ກົງກັບແຜ່ນເວເຟີ: ເສັ້ນຜ່າສູນກາງດ້ານໃນໄດ້ຖືກອອກແບບຢ່າງແນ່ນອນເພື່ອໃຫ້ກົງກັບຂອບແຜ່ນ 200 ມມ, ຮັບປະກັນຕຳແໜ່ງທີ່ຖືກຕ້ອງ ແລະ ຜົນກະທົບຂອງເງົາທີ່ສອດຄ່ອງ.

ເລຂາຄະນິດເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ: ອົງປະກອບດັ່ງກ່າວແມ່ນຜະລິດດ້ວຍຄວາມທົນທານທີ່ເຄັ່ງຄັດເພື່ອຮັບປະກັນການຈັດລຽງທີ່ເໝາະສົມກັບຊິ້ນສ່ວນຂອງຫ້ອງອ້ອມຂ້າງ ແລະ ຮັກສາສະພາບຂະບວນການທີ່ໝັ້ນຄົງ.

ຮອຍຕໍ່ການຈັດລຽນ: ການອອກແບບຫຼາຍຢ່າງປະກອບມີຮອຍຕໍ່ ຫຼື ລັກສະນະການວາງຕຳແໜ່ງເພື່ອຮັບປະກັນທິດທາງການຕິດຕັ້ງທີ່ຖືກຕ້ອງພາຍໃນອຸປະກອນ.

ຄວາມໜາທີ່ດີທີ່ສຸດ: ຄວາມໜາຂອງວົງແຫວນຖືກຄວບຄຸມຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອໃຫ້ມີຄວາມສົມດຸນທີ່ເໝາະສົມລະຫວ່າງຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກ ແລະ ປະສິດທິພາບການປ້ອງກັນພລາສມາ.

ສໍາເລັດຮູບພື້ນຜິວລຽບ: ພື້ນຜິວທີ່ຂັດເງົາທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກ ແລະ ປັບປຸງຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງທີ່ສະອາດ.

ບົດບາດໃນອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ

ວົງແຫວນເງົາ Quartz ມີບົດບາດສຳຄັນໃນການຮັກສາສະພາບການປຸງແຕ່ງທີ່ໝັ້ນຄົງພາຍໃນຫ້ອງ plasma.

1. ການຄວບຄຸມຂະບວນການຂອບແຜ່ນເວເຟີ

ໃນລະຫວ່າງການແກະສະຫຼັກ ຫຼື ການວາງຊັ້ນພລາສມາ, ບໍລິເວນຂອບແຜ່ນແພອາດຈະປະສົບກັບການສຳຜັດກັບພລາສມາທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ. ວົງແຫວນເງົາໃຫ້ການປ້ອງກັນທີ່ຄວບຄຸມຂອງເສັ້ນຮອບຂອງແຜ່ນແພ, ປ້ອງກັນການແກະສະຫຼັກ ຫຼື ການວາງຊັ້ນຫຼາຍເກີນໄປຢູ່ຂອບ.

ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍປັບປຸງ:

● ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຂອບ wafer

● ການເຮັດຊ້ຳຂະບວນການໄດ້

● ຜົນຜະລິດຂອງອຸປະກອນ

2. ການປົກປ້ອງອົງປະກອບຂອງຫ້ອງ

ວົງແຫວນເງົາຍັງປົກປ້ອງອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນຂອງຫ້ອງດັ່ງກ່າວເຊັ່ນ:

● ກົນໄກການສັ່ນສະເທືອນໄຟຟ້າສະຖິດ (ESC)

● ເສົາຫຼືເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ

● ໜ້າຜິວຫ້ອງອ້ອມຂ້າງ

ໂດຍການສະກັດກັ້ນການສຳຜັດໂດຍກົງກັບ plasma ແລະ ການຕົກຕະກອນ, ມັນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສວມໃສ່ ແລະ ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຊິ້ນສ່ວນທີ່ສຳຄັນເຫຼົ່ານີ້.

3. ສະຖຽນລະພາບການແຈກຢາຍ Plasma

ຮູບຊົງວົງແຫວນຊ່ວຍຄວບຄຸມເປືອກພລາສມາໃກ້ກັບຂອບເວເຟີ, ເຊິ່ງປະກອບສ່ວນເຮັດໃຫ້ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພລາສມາເປັນເອກະພາບຫຼາຍຂຶ້ນ ແລະ ປັບປຸງການຄວບຄຸມຂະບວນການໃນທົ່ວເວເຟີ.

4. ການຫຼຸດຜ່ອນອະນຸພາກ

ໂດຍການຄວບຄຸມພາກພື້ນການຕົກຕະກອນ ແລະ ປົກປ້ອງພື້ນຜິວທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ວົງແຫວນເງົາຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການກໍ່ຕົວຂອງອະນຸພາກພາຍໃນຫ້ອງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຜົນຜະລິດສູງ.

ວັດສະດຸ ແລະ ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກ

ວົງແຫວນເງົາແມ່ນຜະລິດໂດຍໃຊ້ຫີນຄວດສ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (SiO₂), ເຊິ່ງເປັນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດທາງເຄມີ ແລະ ຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງມັນ.

ຄວາມຕ້ານທານຂອງພລາສມາສູງ:

ຫີນ Quartz ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບສະພາບແວດລ້ອມຂອງ plasma ທີ່ມີ fluorine ແລະ chlorine ເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກເຄິ່ງຕົວນໍາ. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານແລະປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງ.

ການປົນເປື້ອນຕໍ່າຫຼາຍ:

ຫີນ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງມີລະດັບສິ່ງເສດເຫຼືອຂອງໂລຫະທີ່ຕໍ່າຫຼາຍ, ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນໃນຫ້ອງຂະບວນການ ແລະ ຮັກສາຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນ wafer.

ຄວາມໝັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນສູງ:

ວັດສະດຸ Quartz ມີຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ ແລະ ສະຖຽນລະພາບໃນອຸນຫະພູມສູງ, ຊ່ວຍໃຫ້ວົງແຫວນເງົາສາມາດປະຕິບັດໄດ້ຢ່າງໜ້າເຊື່ອຖືພາຍໃຕ້ວົງຈອນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມເຢັນຊ້ຳໆໃນຫ້ອງ plasma.

Inertness ເຄມີທີ່ດີເລີດ:

Quartz ຍັງຄົງມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີໃນສະພາບແວດລ້ອມການປຸງແຕ່ງເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ຮຸນແຮງ, ຫຼຸດຜ່ອນການເຊື່ອມໂຊມ ແລະ ການສ້າງອະນຸພາກ.

ເຄື່ອງຈັກຄວາມແມ່ນຍໍາ:

ດ້ວຍຂະບວນການເຄື່ອງຈັກ ແລະ ການຂັດເງົາທີ່ກ້າວໜ້າ, ຫີນ quartz ສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິທີ່ແໜ້ນໜາ ແລະ ການສຳເລັດຮູບໜ້າດິນທີ່ລຽບນຽນ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບເງື່ອນໄຂການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີທີ່ໝັ້ນຄົງ.