0200-09911 ແຫວນປົກ Quartz

ແຫວນປິດ Quartz AMAT 0200-09911 ເປັນອົງປະກອບ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ວິສະວະກຳທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ເຊິ່ງຖືກອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນລະບົບການແກະສະຫຼັກ plasma. ມັນເຮັດໜ້າທີ່ເປັນວົງແຫວນປ້ອງກັນ ແລະ ຄວບຄຸມຂະບວນການທີ່ຕິດຕັ້ງຢູ່ພາຍໃນຫ້ອງແກະສະຫຼັກ, ໂດຍສະເພາະໃນແພລດຟອມປະມວນຜົນແຜ່ນ wafer ຂະໜາດ 200 ມມ.

ຜະລິດຈາກຫີນຄວດສ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນພິເສດ, ສ່ວນປະກອບນີ້ແມ່ນໄດ້ຮັບການປັບປຸງໃຫ້ດີທີ່ສຸດສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ຮຸນແຮງ ໂດຍມີລັກສະນະດັ່ງນີ້:

● ການສຳຜັດກັບພລາສມາພະລັງງານສູງ

● ອາຍແກັສເຄມີທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ (ເຊັ່ນ: ສານເຄມີທີ່ມີຟລູອໍຣີນເປັນພື້ນຖານ)

● ເງື່ອນໄຂການໝູນວຽນຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ

ທີ່ Semixlab Technology, ຜະລິດຕະພັນນີ້ແມ່ນຜະລິດດ້ວຍການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດຕໍ່:

● ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ (ການປົນເປື້ອນຂອງໂລຫະຕໍ່າ)

● ຄວາມທົນທານຂອງມິຕິ (ສຳຄັນສຳລັບການຄວບຄຸມຂະບວນການຂອບ)

● ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວ (ຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກ)

ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບທີ່ສອດຄ່ອງໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຂັ້ນສູງ.

ຮູບແບບຄວາມລົ້ມເຫລວທົ່ວໄປ

ໃນຖານະທີ່ເປັນອົງປະກອບທີ່ໃຊ້ໄດ້ ແລະ ໃຊ້ງານພາຍໃຕ້ສະພາບ plasma ທີ່ຮຸນແຮງ, ວົງແຫວນ Quartz Cover Ring ແມ່ນຂຶ້ນກັບກົນໄກການເສື່ອມສະພາບຫຼາຍຢ່າງ:

1. ການກັດເຊາະທີ່ເກີດຈາກພລາສມາ

● ການຫຍາບຂອງພື້ນຜິວຍ້ອນການລະເບີດຂອງໄອອອນ

● ການສູນເສຍວັດສະດຸເທື່ອລະກ້າວທີ່ປ່ຽນແປງຮູບຮ່າງ

ຜົນກະທົບ: ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການແກະສະຫຼັກ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງ

2. ການຕົກຕະກອນທາງເຄມີ ແລະ ການປົນເປື້ອນ

● ການສະສົມໂພລີເມີ ຫຼື ຜະລິດຕະພັນຮ່ວມຢູ່ເທິງໜ້າດິນ

● ການລອກອອກ ຫຼື ການລອກອອກໃນລະຫວ່າງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ

ຜົນກະທົບ: ການສ້າງອະນຸພາກ ແລະ ການປົນເປື້ອນຂອງແຜ່ນເວເຟີ

3. ການແຕກຂອງຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ

● ຮອບວຽນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມເຢັນຊ້ຳໆເຮັດໃຫ້ເກີດຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ

● ການແຜ່ກະຈາຍຂອງຮອຍແຕກນໍາໄປສູ່ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງໂຄງສ້າງ

ຜົນກະທົບ: ການແຕກຫັກຢ່າງກະທັນຫັນ ແລະ ການຢຸດເຮັດວຽກໂດຍບໍ່ໄດ້ວາງແຜນໄວ້

4. ການສ້າງອະນຸພາກ

● ຫີນ quartz ທີ່ເກົ່າແກ່ເຮັດໃຫ້ເກີດການແຕກຫັກຂະໜາດນ້ອຍ

● ການເສື່ອມສະພາບຂອງພື້ນຜິວປ່ອຍອະນຸພາກເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງ

ຜົນກະທົບ: ການສູນເສຍຜົນຜະລິດ ແລະ ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຂໍ້ບົກຜ່ອງ

ເປັນຫຍັງຕ້ອງເລືອກເທັກໂນໂລຢີ Semixlab?

ທີ່ Semixlab Technology, ພວກເຮົາລວມເອົາຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານຂະບວນການ semiconductor ຢ່າງເລິກເຊິ່ງກັບຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດ quartz ທີ່ກ້າວໜ້າເພື່ອສົ່ງມອບ:

● ວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ສຳລັບການປຸງແຕ່ງທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ

● ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເພື່ອຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງ OEM ທີ່ແນ່ນອນ

● ປະສິດທິພາບຕະຫຼອດຊີວິດທີ່ດີທີ່ສຸດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການເປັນເຈົ້າຂອງ (CoO)

● ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຢ່າງເຂັ້ມງວດສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານໂຮງງານຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ

ຊິ້ນສ່ວນທົດແທນຂອງພວກເຮົາແມ່ນໄດ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕອບສະໜອງ ຫຼື ເກີນກວ່າສະເປັກຂອງ OEM, ຮັບປະກັນການເຊື່ອມໂຍງທີ່ລຽບງ່າຍ ແລະ ປະສິດທິພາບທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມການແກະສະຫຼັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການສູງ.

ຕຳແໜ່ງໃນອຸປະກອນ ແລະ ພາລະບົດບາດໜ້າທີ່

ຕຳ ແໜ່ງ ຕິດຕັ້ງ

ແຫວນປົກ Quartz ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນຕິດຕັ້ງ:

● ອ້ອມຮອບພື້ນທີ່ຂອບແຜ່ນເວເຟີ

● ຢູ່ໃນ ຫຼື ໃກ້ກັບຂອບເຂດຂອງສະກູໄຟຟ້າສະຖິດ (ESC)

● ພາຍໃນເຂດການສຳຜັດກັບພລາສມາຂອງຫ້ອງແກະສະຫຼັກ

ມັນເຮັດວຽກເປັນສ່ວນໜຶ່ງຂອງການປະກອບຄວບຄຸມຂອບ, ເຮັດວຽກຮ່ວມກັບອົງປະກອບຕ່າງໆເຊັ່ນ: ວົງແຫວນໂຟກັສ ແລະ ວົງແຫວນເງົາ.

ຟັງຊັນຫຼັກ

1. ການປົກປ້ອງຫ້ອງ ແລະ ອົງປະກອບ

ວົງແຫວນເຮັດໜ້າທີ່ເປັນສິ່ງກີດຂວາງການເສຍສະລະ, ປົກປ້ອງອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນ (ເຊັ່ນ ESC ແລະຝາຫ້ອງ) ຈາກ:

● ການຖິ້ມລະເບີດ plasma ໂດຍກົງ

● ການກັດກ່ອນທາງເຄມີ

● ການສະເປຣດເຕີຣິງທີ່ເກີດຈາກໄອອອນ

ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອົງປະກອບຂອງຫ້ອງທີ່ມີມູນຄ່າສູງໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

2. ການຄວບຄຸມຂອບພລາສມາ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ

ຮູບຊົງເລຂາຄະນິດທີ່ຖືກອອກແບບມາ (ເຊັ່ນ: ໂປຣໄຟລ໌ແບບຂັ້ນໄດ ແລະ ລັກສະນະທີ່ມີຮອຍບ່າ) ຊ່ວຍ:

● ຄວບຄຸມການແຈກຢາຍຂອງເປືອກພລາສມາໃກ້ກັບຂອບແຜ່ນເວເຟີ

● ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຜົນກະທົບຂອງຂອບ

● ປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການຕັດແກະສະຫຼັກ ແລະ ການຄວບຄຸມຂະໜາດທີ່ສຳຄັນ (CD)

ນີ້ແມ່ນສິ່ງສຳຄັນໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການໂອນຍ້າຍຮູບແບບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.

3. ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ ແລະ ການຄຸ້ມຄອງຜະລິດຕະພັນຮ່ວມ

ແຫວນປົກຫຸ້ມປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນ:

● ການຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສຢູ່ແຄມແຜ່ນເວເຟີ

● ຫຼຸດຜ່ອນການສະສົມໂພລີເມີໃນພາກພື້ນທີ່ບໍ່ຕ້ອງການ

● ສະພາບຫ້ອງທີ່ໝັ້ນຄົງໃນຂະບວນການທີ່ຍາວນານ

ສິ່ງນີ້ສະໜັບສະໜູນໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳ ແລະ ການປັບປຸງຜົນຜະລິດ.