0200-10243 ວົງແຫວນເງົາ 150 ມມ

1. ພາບລວມຂອງຜະລິດຕະພັນ

ວົງແຫວນເງົາ AMAT 0200-10243 ຂະໜາດ 150 ມມ ເປັນອົງປະກອບບໍລິໂພກ quartz ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ເຊິ່ງຖືກອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນລະບົບປະມວນຜົນແບບ semiconductor ຂະໜາດ 150 ມມ, ໂດຍສະເພາະໃນຫ້ອງແກະສະຫຼັກ ແລະ ຫ້ອງ CVD.

ຜະລິດຈາກຫີນຄວດສ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ວົງແຫວນເງົານີ້ຖືກອອກແບບມາໃຫ້ທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມຂອງພລາສມາທີ່ຮຸນແຮງ ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິ ແລະ ລະດັບການປົນເປື້ອນຕໍ່າ. ມັນຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະເພື່ອໃຫ້ເໝາະສົມກັບແພລດຟອມວັດສະດຸປະຍຸກ, ຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ ແລະ ການເຊື່ອມໂຍງຂະບວນການທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື.

ທີ່ Semixlab Technology, ພວກເຮົາສະໜອງແຫວນເງົາທົດແທນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງພ້ອມດ້ວຍການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດຕໍ່ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເຄື່ອງຈັກ, ແລະ ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຂັ້ນສູງ.

2. ຕຳແໜ່ງໃນອຸປະກອນ ແລະ ພາລະບົດບາດໜ້າທີ່

ວົງແຫວນເງົາຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ອ້ອມຂອບນອກຂອງແຜ່ນເວເຟີພາຍໃນຫ້ອງຂະບວນການ, ປະກອບເປັນການໂຕ້ຕອບທີ່ສຳຄັນລະຫວ່າງຂອບແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມພລາສມາອ້ອມຂ້າງ.

ຕຳແໜ່ງປົກກະຕິ:

● ອ້ອມຮອບແຜ່ນເວເຟີເທິງຫົວຈັບໄຟຟ້າສະຖິດ (ESC) ຫຼື ຕົວຮັບ

● ຕັ້ງຢູ່ພາຍໃນເຂດການສຳຜັດກັບພລາສມາ

● ຕັ້ງຢູ່ລະຫວ່າງຂອບແຜ່ນແພ ແລະ ຝາຫ້ອງ

ພາລະບົດບາດໜ້າທີ່ໃນລະບົບ:

● ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຊັ້ນຂອບເຂດທາງດ້ານຮ່າງກາຍ ແລະ ຂະບວນການ

● ມີອິດທິພົນຕໍ່ການແຈກຢາຍຂອງພລາສມາ ແລະ ພຶດຕິກຳຂອງສະໜາມໄຟຟ້າຂອບ

● ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນອົງປະກອບປ້ອງກັນການເສຍສະລະຈາກການສຳຜັດກັບພລາສມາໂດຍກົງ

ໃນອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ກ້າວໜ້າ, ເຖິງແມ່ນວ່າການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນສະພາບຂອບກໍ່ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການໂດຍລວມ, ເຮັດໃຫ້ວົງແຫວນເງົາເປັນອົງປະກອບສຳຄັນໃນສະຖາປັດຕະຍະກຳການຄວບຄຸມຂະບວນການ.

3. ໜ້າທີ່ຫຼັກ ແລະ ຜົນກະທົບຂອງຂະບວນການ

ວົງແຫວນເງົາ AMAT 0200-10243 ມີບົດບາດສຳຄັນໃນການຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຂະບວນການ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຜົນຜະລິດ, ແລະ ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ.

ການປົກປ້ອງຂອບ

● ປົກປ້ອງຂອບແຜ່ນແພຈາກການຖິ້ມລະເບີດ plasma ໂດຍກົງ

● ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເສຍຫາຍຂອງຂອບ, ຮອຍຫຍັບ ແລະ ຮູບແບບການແກະສະຫຼັກທີ່ຜິດປົກກະຕິ

ການເພີ່ມປະສິດທິພາບການແຈກຢາຍພລາສມາ

● ປັບຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພລາສມາທ້ອງຖິ່ນໃກ້ກັບຂອບເວເຟີ

● ປ້ອງກັນການກັດກ່ອນຂອບ ຫຼື ການຕົກຕະກອນຫຼາຍເກີນໄປ

ການປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບ

● ປັບປຸງອັດຕາການກັດກ່ອນ ແລະ ຄວາມໜາຂອງຟິມໃຫ້ສອດຄ່ອງກັນທົ່ວແຜ່ນເວເຟີ

● ຫຼຸດຜ່ອນເຂດຍົກເວັ້ນຂອບ

ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ

● ດັກຈັບຜະລິດຕະພັນ ແລະ ອະນຸພາກຂອງຂະບວນການ

● ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນທີ່ໄປເຖິງໜ້າຜິວເວເຟີທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ

ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ

● ຮັກສາເງື່ອນໄຂຂະບວນການທີ່ເຮັດຊ້ຳໄດ້ໃນຫຼາຍຮອບວຽນ

● ຮອງຮັບການຄວບຄຸມທີ່ເຂັ້ມງວດກວ່າຕໍ່ຄຸນສົມບັດຂອງ CD (ມິຕິທີ່ສຳຄັນ) ແລະ ຟີມ

4. ຮູບແບບຄວາມລົ້ມເຫຼວທົ່ວໄປ ແລະ ການພິຈາລະນາການທົດແທນ

ເນື່ອງຈາກການສຳຜັດກັບພລາສມາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ອຸນຫະພູມສູງ, ແລະ ອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ວົງແຫວນເງົາຈຶ່ງມີການເສື່ອມສະພາບເທື່ອລະກ້າວ. ການເຂົ້າໃຈກົນໄກຄວາມລົ້ມເຫຼວແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.

ຮູບແບບຄວາມລົ້ມເຫຼວທົ່ວໄປ:

① ການກັດເຊາະຂອງພລາສມາ

ການສູນເສຍວັດສະດຸພື້ນຜິວທີ່ເກີດຈາກການລະເບີດຂອງໄອອອນ

ນຳໄປສູ່ການປ່ຽນແປງມິຕິ ແລະ ພຶດຕິກຳຂອງ plasma ທີ່ປ່ຽນແປງ

② ການກັດກ່ອນທາງເຄມີ

ປະຕິກິລິຍາກັບອາຍແກັສທີ່ຮຸນແຮງ (ເຊັ່ນ: ສານເຄມີທີ່ມີຟລູອໍຣີນເປັນພື້ນຖານ)

ຜົນໄດ້ຮັບໃນການຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ການອ່ອນເພຍຂອງໂຄງສ້າງ

③ ການສ້າງອະນຸພາກ

ຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ ຫຼື ການເຊື່ອມໂຊມຂອງພື້ນຜິວສາມາດປ່ອຍອະນຸພາກອອກມາໄດ້

ເພີ່ມຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຜົນຜະລິດ

④ ການສະສົມຂອງຊັ້ນວາງ

ການສະສົມຂອງຜະລິດຕະພັນຮ່ວມຂອງຂະບວນການ (ເຊັ່ນ: ສານຕົກຄ້າງຂອງໂພລີເມີ)

ປ່ຽນແປງເງື່ອນໄຂຂະບວນການໃນທ້ອງຖິ່ນ ແລະ ການແຈກຢາຍຂອງ plasma

⑤ ຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການແຕກ

ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ຳໆອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການແຕກຫັກຂອງກະດູກຂະໜາດນ້ອຍ

ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສົມບູນຂອງກົນຈັກຕາມການເວລາ

ຜົນກະທົບຂອງຄວາມລົ້ມເຫຼວ:

● ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ

● ການປ່ຽນແປງຂອງ Edge CD ແລະ ຄວາມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ

● ຜົນຜະລິດຂອງແຜ່ນເວເຟີຫຼຸດລົງ

● ການເລື່ອນລອຍຂອງຂະບວນການ ແລະ ການຫຼຸດຜ່ອນການເຮັດຊ້ຳ

● ຄວາມຖີ່ຂອງການບຳລຸງຮັກສາຫ້ອງເພີ່ມຂຶ້ນ

ທີ່ Semixlab Technology, ພວກເຮົາແກ້ໄຂບັນຫາເຫຼົ່ານີ້ຜ່ານ:

● ການເລືອກວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ

● ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເພື່ອຄວາມທົນທານຂອງມິຕິທີ່ແໜ້ນໜາ

● ການປິ່ນປົວພື້ນຜິວທີ່ດີທີ່ສຸດເພື່ອເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານຂອງ plasma

● ວິທີແກ້ໄຂການເຄືອບຂັ້ນສູງທາງເລືອກ (ເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC) ສຳລັບອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກ

ກຳລັງຊອກຫາທາງເລືອກທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ ຫຼື ການຍົກລະດັບປະສິດທິພາບບໍ?

ເທັກໂນໂລຢີ Semixlab ສະເໜີວິທີແກ້ໄຂວົງແຫວນເງົາທີ່ຖືກອອກແບບມາ ແລະ ທາງເລືອກໃນການເຄືອບຂັ້ນສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງຂະບວນການຂອງທ່ານ. ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາມື້ນີ້ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳຂອງທ່ານ.