0200-09074 ປ່ອງຢ້ຽມເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Quartz

1. ພາບລວມຂອງຜະລິດຕະພັນ

ປ່ອງຢ້ຽມເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Quartz AMAT 0200-09074 ເປັນອົງປະກອບ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາສຳລັບອຸປະກອນປະມວນຜົນແບບ semiconductor, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນລະບົບ CVD (Chemical Vapor Deposition) ແລະລະບົບ etch ທີ່ຕ້ອງການການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນ.

ໃນຖານະທີ່ເປັນຕົວເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ສຳຄັນລະຫວ່າງລະບົບຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຫ້ອງຂະບວນການ, ປ່ອງຢ້ຽມເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຖ່າຍໂອນພະລັງງານຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາການໂດດດ່ຽວຢ່າງເຂັ້ມງວດລະຫວ່າງອາຍແກັສຂະບວນການ ແລະ ອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນພາຍນອກ.

ທີ່ Semixlab Technology, ປ່ອງຢ້ຽມເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ quartz ຂອງພວກເຮົາແມ່ນຜະລິດໂດຍໃຊ້ວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງພິເສດ, ປະສົມປະສານກັບເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວທີ່ຄວບຄຸມເພື່ອຮັບປະກັນການປົນເປື້ອນຕໍ່າ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານໃນສະພາບແວດລ້ອມ semiconductor ທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການສູງ.

2. ຕຳແໜ່ງໃນອຸປະກອນ

ປ່ອງຢ້ຽມເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Quartz ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນຕິດຕັ້ງລະຫວ່າງແຫຼ່ງຄວາມຮ້ອນພາຍນອກ (ເຊັ່ນ: ໂຄມໄຟ IR ຫຼືເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນແບບຕ້ານທານ) ແລະຫ້ອງຂະບວນການພາຍໃນ.

ການຕັ້ງຄ່າປົກກະຕິ:

● ຕັ້ງຢູ່ຂ້າງເທິງ ຫຼື ຂ້າງລຸ່ມເຂດປະມວນຜົນເວເຟີ

● ຕັ້ງຢູ່ໃນເສັ້ນທາງລັງສີຄວາມຮ້ອນໂດຍກົງ

● ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນກຳແພງກັ້ນທີ່ປິດສະໜິດລະຫວ່າງ:

ໂມດູນຄວາມຮ້ອນ (ພາຍນອກ)

ຫ້ອງຂະບວນການ (ພາຍໃນ)

ບົດບາດດ້ານໂຄງສ້າງ:

● ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນອິນເຕີເຟດສົ່ງຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ໂປ່ງໃສ

● ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງຫ້ອງພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດ ຫຼື ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຄວບຄຸມໄດ້

ການວາງຕຳແໜ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອົງປະກອບສຳຄັນທີ່ມີອິດທິພົນຕໍ່ທັງການສົ່ງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ.

3. ໜ້າທີ່ຫຼັກ ແລະ ຜົນກະທົບຂອງຂະບວນການ

ປ່ອງຢ້ຽມເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Quartz AMAT 0200-09074 ປະຕິບັດໜ້າທີ່ສຳຄັນຫຼາຍຢ່າງທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ຄຸນນະພາບຂອງຟິມ, ແລະປະສິດທິພາບຂອງຜົນຜະລິດ.

✔ ການສົ່ງພະລັງງານຄວາມຮ້ອນ

● ເຮັດໃຫ້ສາມາດສົ່ງຜ່ານລັງສີອິນຟາເຣດ (IR) ຈາກເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນໄປຫາແຜ່ນເວເຟີໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ

● ຮອງຮັບການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແຜ່ນເວເຟີທີ່ຊັດເຈນໃນລະຫວ່າງການວາງຫຼືການແກະສະຫຼັກ

✔ ການສົ່ງຜ່ານ IR ສູງຂອງ quartz ຮັບປະກັນການສູນເສຍພະລັງງານໜ້ອຍທີ່ສຸດ ແລະ ປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ໝັ້ນຄົງ

✔ ການຄວບຄຸມຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີທາງຄວາມຮ້ອນ

ປະກອບສ່ວນໃຫ້ການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນຢ່າງເປັນເອກະພາບທົ່ວໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີ

ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ສາມາດນໍາໄປສູ່:

● ການປ່ຽນແປງຄວາມໜາຂອງຟິມ

● ຂະບວນການບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ

✔ ການແຍກຂະບວນການ

ແຍກລະບົບຄວາມຮ້ອນອອກຈາກອາຍແກັສໃນຂະບວນການທີ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງກາຍະພາບ

ປ້ອງກັນ:

● ການໄຫຼວຽນຂອງອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ

● ການປົນເປື້ອນຂອງອົງປະກອບເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ

✔ ການຫຼຸດຜ່ອນມົນລະພິດ

● ຫີນ Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການປ່ອຍສິ່ງປົນເປື້ອນໃນອຸນຫະພູມສູງ

● ພື້ນຜິວລຽບຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດ ແລະ ການສະສົມຂອງອະນຸພາກ

✔ ການປັບປຸງຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ

● ຮັກສາສະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ສອດຄ່ອງກັນໃນຫຼາຍໆຮອບວຽນຂອງຂະບວນການ

● ຮອງຮັບອັດຕາການຕົກຕະກອນຊ້ຳໆ ແລະ ຄຸນສົມບັດຂອງຟິມ

4. ຮູບແບບຄວາມລົ້ມເຫຼວທົ່ວໄປ ແລະ ການພິຈາລະນາກ່ຽວກັບການບຳລຸງຮັກສາ

ເນື່ອງຈາກການສຳຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ແລະ ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ, ປ່ອງຢ້ຽມເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ quartz ຈຶ່ງມີການເສື່ອມສະພາບເທື່ອລະກ້າວ. ການເຂົ້າໃຈກົນໄກຄວາມລົ້ມເຫຼວແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການປັບປຸງຍຸດທະສາດການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍຜົນຜະລິດ.

① ການແຕກຂອງຄວາມຮ້ອນ

ເກີດຈາກການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາໃນລະຫວ່າງວົງຈອນຂະບວນການ

ນຳໄປສູ່:

● ຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ

● ການອ່ອນເພຍຂອງໂຄງສ້າງ ຫຼື ການແຕກຫັກ

② ການແຍກທາດອອກເປັນກ້ອນ (ການເກີດຜລຶກຫີນຄວດ)

ການສຳຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງເປັນເວລາດົນເຮັດໃຫ້ quartz ສູນເສຍໂຄງສ້າງທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງຂອງມັນ

ຜົນໄດ້ຮັບໃນ:

● ຄວາມໂປ່ງໃສທາງສາຍຕາຫຼຸດລົງ

● ປະສິດທິພາບການສົ່ງສັນຍານ IR ຕ່ຳກວ່າ

③ ການສະສົມຂອງຊັ້ນວາງ

ການສະສົມຂອງຜະລິດຕະພັນຮ່ວມຂອງຂະບວນການ (ເຊັ່ນ: ຟິມ, ໂພລີເມີ) ເທິງໜ້າດິນ

ການປ່ຽນແປງ:

● ຄຸນສົມບັດທາງດ້ານແສງ

● ປະສິດທິພາບການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນ

④ ການກັດກ່ອນທີ່ເກີດຈາກສານເຄມີ ແລະ ພລາສມາ

ການສຳຜັດກັບອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ (ເຊັ່ນ: ສານເຄມີທີ່ມີຟລູອໍຣີນເປັນສ່ວນປະກອບ, NH₃)

ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ການເສື່ອມສະພາບຂອງວັດສະດຸ

⑤ ການສ້າງອະນຸພາກ

ຜົນໄດ້ຮັບຈາກ:

●ການເສື່ອມສະພາບຂອງພື້ນຜິວ

● ການແຕກຂອງຈຸນລະພາກ

● ການລອກຟິມ

ຜົນກະທົບຂອງຄວາມລົ້ມເຫລວ

● ອຸນຫະພູມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ

● ການປ່ຽນແປງຄວາມໜາຂອງຟິມ

● ຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງອະນຸພາກທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ

● ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຂອງຂະບວນການ

● ຄວາມຖີ່ຂອງການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ເວລາຢຸດເຮັດວຽກທີ່ສູງຂຶ້ນ

ເທັກໂນໂລຢີ Semixlab ໃຫ້ບໍລິການແກ້ໄຂບັນຫາປ່ອງຢ້ຽມເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ quartz ທີ່ດີທີ່ສຸດດ້ວຍ:

● ວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼາຍ ສຳລັບການປົນເປື້ອນໜ້ອຍທີ່ສຸດ

● ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ຄວາມທົນທານທີ່ເຄັ່ງຄັດ ເພື່ອຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງລະບົບທີ່ສົມບູນແບບ

● ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວທີ່ດີຂຶ້ນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການຕົກຕະກອນ ແລະ ການຍຶດຕິດຂອງອະນຸພາກ

● ວິທີແກ້ໄຂການເພີ່ມປະສິດທິພາບຕະຫຼອດຊີວິດທາງເລືອກໂດຍອີງໃສ່ເງື່ອນໄຂຂອງຂະບວນການ

ເທັກໂນໂລຢີ Semixlab ສະເໜີວິທີແກ້ໄຂປ່ອງຢ້ຽມເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ quartz ທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ມີປະສິດທິພາບສູງ ເຊິ່ງຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງທ່ານ. ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາມື້ນີ້ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການຂອງທ່ານ.